晶圆检验和计量
增强最先进的晶片处理系统。
我们为薄膜测量，光亚博登录平台学晶片检测，电子束检测，显微镜和掩模/掩模检查提供解决方案。
最通用的定位解决方案亚博登录平台
我们拥有50多年的经验，设计标准串口堆叠晶圆级，低调集成XY级和晶圆检测市场的平面空气轴承解决方案。亚博登录平台当标准系统不起作用时，我们可以为您的确切需求构建自定义解决方案。
最终的精确度
我们的平面空气轴承溶液与激光干涉测量仪结合，最亚博登录平台大限度地减少了晶片平面误差和ABBE偏移。具有先进控制器的先进的碳化硅解决方案可提供高晶片/亚博登录平台小时吞吐量的纳米级定位。
洁净室制造业
我们以最高级别的清洁度运行，用于下一代晶圆加工。我们的温控，ISO级别6洁净室设施与ISO等级5个细胞特定功能确保了我们定位解决方案的高品质，可靠的制造。亚博登录平台
