平面HDX -两轴超精密平面空气轴承工作台

Aerotech在半导体制造等高科技领域提供超精密定位系统的悠久历史，使关键运动技术的持续开发和改进成为可能。在这些技术的基础上，Aerotech开发了PlanarHDX，市场上最先进的商用平面空气轴承平台。PlanarHDX采用fea优化的碳化硅结构和优化的空气轴承补偿技术设计，在保持无与伦比的几何特性和定位精度的同时，提供了最高的动态性能。

视图PlanarHDX

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