使用带有Nmark SSAM的Galvo校准文件转换器

校准扫描仪视图通常是一个迭代过程，其中将一系列标记放置在基板上，并且使用这些标记的位置来创建校准文件，并重复该过程以达到最终的系统精度。标记和测量序列的每次迭代都必须将新的测量值与当前校准表组合以创建新的校准表。当表格的分辨率相同时，可以将值彼此直接添加。当要组合的表中的标记的密度不相等时，必须应用算法以通过更高分辨率数据来插入较低分辨率数据。

AerotechGalvo校准文件转换器（GCFC）应用程序可用于在校准过程中合并测量数据。要合并的表的测量分辨率不必匹配，因为亚博登录平台GCFC会插入下分辨率表的校正值以匹配更高分辨率表的校正值。

此应用笔记将概述创建新校准表所需的过程以及如何合并Nmark SSAM的校准表。

校准文件创建过程

在通过手动测量过程中创建表时，用户通常将通过标记低分辨率网格（例如，3 x 3）来开始，测量网格的放置精度并使用测量的数据来创建校准表。校准表被激活，测量网格尺寸增加（例如，5×5）。重复该序列，直到在扫描仪的整个工作区域上获得所需的结果。

对于自动化电极精度测量的应用，网格间距可以以更高的分辨率（例如，33 x 33）开始，因为该过程不需要在网格中的每个位置手动测量放置误差。

手动文件创建过程

第1步：创建一个新文件

应使用奇数行和列创建表。这样做，以便有校正值，通过扫描仪的原点（x = 0，y = 0）。要创建新文件，请从“文件”菜单中选择“新建”。

将显示“校准文件类型”窗口（图1）。选择所需的行数和列。该表可以具有不同数量的行和列。在将结果保存到GCAL文件之前，GCFC应用程序将将表大小插入到65 x 65。

在所有位置中的校正值将显示一个表：

第2步：设置缩放（可选）

缺省情况下，所有位置和校正值都显示在计数中，其中-32768至32767是扫描仪中镜子的全尺寸位移。可以改变缩放以反映用于位置和校正值的用户单元。从“选项”菜单中选择“更改单位”项以显示应用程序单位对话框（图3）。应将“每单位计数”值设置为与A3200 CountsperUnit轴参数相同的值。该比例因子用于显示网格上的测量位置。应用单元设置允许校正单元与测量单元不同。可以设置为反映mm的“每单位计数”，可以为微米设置校正刻度。这允许以更直观的用户单位而不是扫描仪计数将数据输入到表中。

无论用于缩放位置显示和校正显示的值如何，CSV和GCAL值始终存储在保存文件时计数。

第3步：创建更正表

默认情况下，将假定表元素为“纠正”，并且始终存储在CSV或GCAL文件中作为校正。校正是添加到命令位置的值以到达所需位置。

位置_修改的=位置_命令+惩教值

也可以输入/显示为“错误”。从命令位置中减去该值以达到所需位置。

位置_修改的=位置_命令- 错误

“校正”与“错误”的设置通过“查看”菜单上的“显示值”菜单项完成。

指定了校正字段类型后，通过双击所需的表元素并在值中键入该值，将值输入到表中。图4是填充校正值的示例3 x 3表。

通过从文件菜单中选择“保存”或“另存为”菜单项，将表作为“3×3.CSV”保存为“3×3.CSV”。文件类型设置为“CSV”。

步骤4：创建和激活GCAL校正文件

要创建GCAL文件，请从“文件”菜单中选择“另存为”菜单项，将类型设置为“Aerotech校准文件（* .gcal）”并输入文件名（图5）。

GCFC将自动将该表插值到65 x 65分辨率表。将更新显示屏以显示此插值的结果（图6）。

创建和保存文件后，需要在控制器上激活它。使用“loadcalfile”命令在A3200运动程序中激活GCAL文件。有关使用此命令的其他信息，请参阅A3200帮助文件。确保修改用于创建网格测试模式的有氧程序程序以在继续之前使用新创建的GCAL文件。

第5步：创建更高的分辨率表

在激活新的GCAL文件后，以更高的分辨率标记新网格模式。对于此示例，我们从3 x 3开始，第二个模式将增加到5 x 5（有关创建新校正表的说明，请参阅第1步）。标记并测量5 x 5模式并根据步骤3中定义的进程创建新表。将此表保存为CSV文件。

步骤6：合并3 x 3和5 x 5表

我们现在有两个CSV文件，一个在3 x 3，另一个处于5×5.创建5 x 5时，3 x 3校正表是活动的，所以需要合并5 x 5表中的校正值那些来自3 x 3表。通过在“文件”菜单上选择“合并文件”菜单项来合并表。GCFC中当前打开的文件将与所选文件合并。使用GCFC中的“5×5.CSV”文件打开，选择“3x3.csv”以通过单击“合并文件”菜单项来合并。合并操作的结果如图8所示。将此文件保存为新的CSV文件“5x5merged.csv”，以便它可用于创建新的GCAL文件并用于后续合并操作。

第7步：根据需要重复

重复步骤3到6，增加每次迭代的表大小，直到获得所需的结果。

自动校准过程

GCFC可以导入包含自动测量过程结果的CSV文件（逗号分隔值）。例如，相机可以获取由扫描仪在基板上进行的标记，测量放置精度并将结果直接存储到CSV文件中。CSV文件可以通过GCFC转换为GCAL文件以供SSAM使用。

创建CSV文件时，请注意CSV文件中的校正元素的顺序与网格视图不同;轴0位置将顶部增加到底部到底部，轴1位置向右增加（图9）。

打开CSV文件时，用户必须将“校准文件类型”数据指定为“SSAM校准文件”（图10）。

打开CSV文件后，数据可以使用“文件”菜单的“另存为”选项保存为2D校准文件，其中文件类型设置为“gcal”。