描述

设计特点

• 运动子系统设计成将客户的电气设备安装在连续旋转的旋转轴上
• 集成低噪声滑环，通过旋转阶段传递电信号
• 不锈钢力学，提高稳定性和重复性在一段较长的时间内
• 高精度空气轴承垂直工作台，减少整个工作台行程的几何误差
• 直接驱动旋转工作台和直线电机垂直工作台，用于高分辨率定位
• 集成气动平衡，支持垂直方向直线电机和客户负载
• 低噪声线性放大器，使客户的设备的测量隔离
• 应用包括计量和检验