高动态平面空气轴承子系统
描述
设计特点
- 平面XY空气轴承系统产生极低的出平面几何误差与最小的俯仰,滚动,偏航,直线度误差
- 高功率输出直线电机被放置在重心附近,以优化系统在动态应用中的最大吞吐量
- 安装在几个z轴仪器级是理想的,可以在一个平台上进行串行处理
- 完全集成和对齐系统采用刚性花岗岩结构
- 经过深思熟虑设计的电缆管理系统,为客户加工电缆和软管留有空间
- 被动隔离和钢焊件设计,以保持运动规格在精密制造应用
- 在钢焊接件是控制面板的运动驱动,输入输出设备,安全电路,和交流/直流电源
- 示例应用程序包括玻璃划线、显示处理、平面部件检查等