描述

设计特点

• 充分的六度定位自由在一个最小化的足迹设计
• 清晰的孔径允许更多的过程工具访问
• 低轮廓和开放进入安装位置
• 直接电容反馈机制使纳米级定位成为可能
• 噪音低，定位稳定性好
• 高刚度的动态移动和毫秒级步进和解决型材
• 协调轴定位利用Aerotech强大的运动控制器亚博微信vip群
• 应用程序包括高级装配和粘接、样品定位等