MaskAlign光掩膜直系统

描述

Aerotech的MaskAlign系列阶段是一个高性能的光掩模对准系统旨在满足先进半导体和平板书写系统的严格要求。该MaskAlign采用专有的驱动技术，并提供最佳的一流的速度，分辨率，精度和可重复性。

该MaskAlign有一个内置的校准系统，保证以最小的努力妥善安置面膜。固定销用于设置在掩模位置，同时两个定位机构推掩模到其最终位置。一旦掩模正确地对准，积分真空通道保持在适当位置的掩模。所有这些功能确保在写作过程中适当的掩模对准和保留。

只有非接触直接驱动技术提供必要的大规模生产精密仪器的可靠，精确和高速的定位。X和Y轴采用Aerotech的无刷直线电机对于非齿槽，非接触式的，高性能的定位。的θ轴使用基于Aerotech的世界级的线性电动机的专有曲动马达。这个完整的直接驱动解决方案能够确保一个强大的系统提供尽可能高的性能。

紧凑的集成化设计具有超过堆叠系统的固有优点 - 由于整体高度降低，所以是阿贝误差的影响。但是，即使具有紧凑的设计，仍然MaskAlign提供高达XY运动150毫米和202θ度的运动。

该MaskAlign还采用了非常灵活的电缆管理系统（CMS）。水平CMS允许更大的弯曲半径，而在同一时间最小化整体总高度显著增加电缆的使用寿命。该系统还使得所有互连非常简单明了。这是通过，保持所有电气和气动连接器在一个方便的位置的单一托架来实现的。

艾特航空拥有设计和构建的运动控制和定位组件的悠久历史，以及完整的定位系统。亚博微信vip群这方面的知识应用到我们每一个部件和系统，导致该是为了在生产环境中持续发挥稳定的设计。

的Aerotech制造广泛范围的伺服放大器和先进的控制器提供完整的，集成的软件包。此外，自定义系统常规设计，制造，测试和认证的客户要求的规格。

MaskAlign 100	轴1（X）上直线轴	轴2（Y）下直线轴	轴3（西塔）
旅行	100毫米（上轴）	100毫米（低级轴）	20度
光圈	120毫米平方与在中间行程XY载物台;70mm见方与XY载物台在行程的程度
准确性^（1）	±1微米	±1μm的	±1.5弧秒
重复性^（1）	±0.5微米	±0.5微米	±0.5弧秒
直线	±1.5微米	±1.5微米	N / A
平整度	±1.5微米	±1.5微米	N / A
间距（弧秒）	±4弧秒	±4弧秒	N / A
偏航（弧秒）	±4弧秒	±4弧秒	N / A
最大负载	2公斤
XY正交	5弧秒
移动质量	8.8公斤	14.6公斤	NA
级质谱	19公斤

MaskAlign 150	轴1（X）上直线轴	轴2（Y）下直线轴	轴3（西塔）
旅行	150毫米（上轴）	150毫米（低级轴）	20度
光圈	170毫米平方与在中间行程XY载物台;70mm见方与XY载物台在行程的程度
电机类型	BLMUC-111-A（单马达）	BLMUC-143-A（单马达）	习惯BLMUC-111-A（曲线）
准确性^（1）	±1微米	±1微米	±1.5弧秒
重复性^（1）	±0.5微米	±0.5微米	±0.5弧秒
直线	±2.5微米	±2.5微米	N / A
平整度	±2.5微米	±2.5微米	N / A
间距（弧秒）	±6弧秒	±6弧秒	N / A
偏航（弧秒）	±6弧秒	±6弧秒	N / A
最大负载	5公斤
XY正交	5弧秒
移动质量	9.2公斤	15.7公斤	N / A
级质谱	22公斤

选项	描述
MaskAlign	直驱XYT掩模对准阶段

选项	描述
-100	100毫米XY行进
-150	XY行程为150毫米

选项	描述
-LI1	行程限位开关的常闭端（STANDARD）
-LI2	行程限位开关的常开端

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。

选项	描述
μ-TAS	集成 - 测试的系统测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC	集成 - 测试的组件测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。