麦斯卡林光掩模对准系统
描述
设计特点
- 三轴光掩模对准台
- 标准接口6或8英寸口罩
- 集成真空槽用于面罩固定
- 低轮廓,易于集成到光学系统
- 直接传动无刷伺服电机
介绍
Aerotech公司的MaskAlign系列stage是一种高性能的光刻标对准系统,旨在满足先进半导体和平板书写系统的严格要求。MaskAlign集成了专有的驱动技术,并提供一流的速度、分辨率、准确性和重复性。
掩模对准和保留
MaskAlign有一个内置的校准系统,以最小的努力保证适当的面具放置。当两个定位机构将掩模推到最终位置时,用固定销来设定掩模的位置。一旦掩模正确对齐,一个完整的真空通道将掩模固定到位。所有这些特性确保了在写入过程中适当的掩码对齐和保持。
非接触直接传动
只有非接触直接驱动技术提供必要的大规模生产精密仪器的可靠,精确和高速的定位。X和Y轴采用Aerotech的无刷电机线性对于非齿槽,非接触式的,高性能的定位。的θ轴使用基于Aerotech的世界级的线性电动机的专有曲动马达。这个完整的直接驱动解决方案能够确保一个强大的系统提供尽可能高的性能。
精密定位
紧凑的集成设计比堆叠系统有内在的优势-因为整体高度减少了,所以阿贝误差的影响。但即使是一个紧凑的设计,MaskAlign仍然提供高达150毫米的xy运动和20度的theta运动。
MaskAlign还使用了一个非常灵活的电缆管理系统(CMS)。水平CMS允许更大的弯曲半径,显著增加电缆寿命,同时最小化总整体高度。这个系统还使所有的互连变得非常简单和直接。这是实现与一个单一的支架,保持所有电气和气动连接器在一个方便的位置。
稳健设计
艾特航空拥有设计和构建的运动控制和定位组件的悠久历史,以及完整的定位系统。亚博微信vip群这方面的知识应用到我们每一个部件和系统,导致该是为了在生产环境中持续发挥稳定的设计。
灵活的配置和定制的设计
Aerotech生产各种各样的伺服放大器和先进的控制器提供一个完整的、集成的包。此外,定制系统按客户规格进行常规设计、制造、测试和认证。
规范
MaskAlign规范
MaskAlign 100 | 轴1(X) 上线性轴 |
轴2(Y) 低线性轴 |
轴3(θ) |
---|---|---|---|
旅行 | 100mm(上轴) | 100mm(下轴) | 20度 |
孔径 | 120mm正方形,中间行程为XY级;70毫米正方形,XY级在行程的范围内 | ||
准确性(1) | ±1µm | ±1μm的 | ±1.5弧秒 |
可重复性(1) | ±0.5µm | ±0.5µm | ±0.5弧秒 |
平直度 | ±1.5µm | ±1.5µm | N/A |
平整度 | ±1.5µm | ±1.5µm | N/A |
音高(弧秒) | ±4弧秒 | ±4弧秒 | N/A |
偏航(弧秒) | ±4弧秒 | ±4弧秒 | N/A |
最大负载 | 2公斤 | ||
XY正交性 | 5弧秒 | ||
移动质量 | 8.8公斤 | 14.6公斤 | NA |
阶段质量 | 19公斤 |
- 数值与Aerotech控制和校准。
MaskAlign 150 | 轴1(X) 上线性轴 |
轴2(Y) 低线性轴 |
轴3(θ) |
---|---|---|---|
旅行 | 150毫米(上轴) | 150毫米(下轴) | 20度 |
孔径 | 170mm正方形,中间行程为XY级;70毫米正方形,XY级在行程的范围内 | ||
电机类型 | blmuc - 111 a(单电机) | blmuc - 143 a(单电机) | 自定义blmuc - 111 a(曲线) |
准确性(1) | ±1µm | ±1µm | ±1.5弧秒 |
可重复性(1) | ±0.5µm | ±0.5µm | ±0.5弧秒 |
平直度 | ±2.5µm | ±2.5µm | N/A |
平整度 | ±2.5µm | ±2.5µm | N/A |
音高(弧秒) | ±6弧秒 | ±6弧秒 | N/A |
偏航(弧秒) | ±6弧秒 | ±6弧秒 | N/A |
最大负载 | 5公斤 | ||
XY正交性 | 5弧秒 | ||
移动质量 | 9.2公斤 | 15.7公斤 | N/A |
阶段质量 | 22公斤 |
- 数值与Aerotech控制和校准。
维
订购信息
麦斯卡林光掩模对准系统
MaskAlign 100面具翻译
选项 | 描述 |
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MaskAlign | 直驱XYT掩模对准阶段 |
旅游(必需)
选项 | 描述 |
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-100年 | 100毫米XY行进 |
-150年 | 150毫米的XY行程 |
限制(必需)
选项 | 描述 |
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-LI1 | 行程限位开关常闭端(标准) |
-LI2 | 行程限位开关的常开端 |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
选项 | 描述 |
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助教 | 集成 - 测试的系统 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和记录(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
tac | 集成——作为组件进行测试 测试和集成单独的项目作为离散的组成部分,一起运输。这通常用于备件、替换部件或将不一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。 |