AGV-SPO高性能单枢轴点检流计

描述

设计特点

  • 的视野比传统的二维扫描仪简化较大场的较大的部件的处理
  • 最小光斑的失真超过视图最小化的整个场处理的最高品质的激光加工部位变化
  • 空气和水冷却选项提供了热稳定性和改善的长期精度
  • 的镜表面处理许多选择用于各种激光波长的
Aerotech的AGV-SPO单支点振镜扫描器提供了传统的双镜电流计扫描仪的替代方案。从流行的AGV-HPO扫描器衍生,所述AGV-SPO使得能够视图关键激光微加工应用更大的场和降低的点的失真。

大视场以最少现货失真

独特的光学设计有效地控制了光束入射光瞳是用于X和Y扫描仪的运动相一致,增加了扫描仪系统的有效数值孔径。这种设计使得能够直接的视场更大的对于给定的焦距,并降低整个工作区域斑点畸变。这些优点意味着,AGV-SPO能够处理较大的部件更快的速度和更大的一致性。

设计配置

该AGV-SPO可与选择的光学涂层和聚焦光学器件的支持各种常用的激光波长和焦距。为了支持其它的需要,可以艾特根据要求定制的光学元件和光学安装特征提供AGV-SPO。该AGV-SPO可以用空气冷却的反射镜,水冷电机,或两者进行配置。这些活性冷却特征有助于保持加工面的精度所造成的激光以及攻击性运动曲线的热扰动的存在。

高级编程功能

该AGV-SPO利用所有Aerotech的先进的运动和位置同步输出(PSO)已经与传统的振镜和伺服级激光加工应用开发的能力。轮廓功能,诸如加速度限制可以用来自动降低在急转弯或小半径速度最小化过冲。激光可以基于与PSO反射镜的位置反馈,以确保一致光斑交叠作为扫描器改变速度被触发。

查看的艾特航空的无限场(IFOV)功能完美地结合伺服和扫描仪运动整个伺服阶段的整个行程范围扩展扫描仪的标记功能,消除了可能发生在更传统的举动,暴露出重复过程的拼接错误。

网站情节和标题AGV14SPO

产品规格

机械规格

模型 AGV14SPO
光学性能
束孔径 14毫米
最大扫描角度 ±20°
梁位移 35毫米
抖动(最小增量运动)(2) 0.3微弧度RMS
准确性 50微弧度峰峰值
重复性(3) 0.6微弧度RMS
增益误差 0.05毫弧度
非线性 0.005%
动态性能
跟踪误差 0微秒
峰值加速度(4,5) 60000米/ s的2
连续加速(4,6) 20000米/ s的2
定位速度(4) 50m / s的
处理速度(4,7,8) 5米/ S5
跳跃和稳定时间为1毫米移动(4,9) 700微秒
稳定性
长期漂移 抵消 10微弧度/ 12小时
15微弧度/ 24小时
获得 为10ppm / 24小时
热漂移 抵消 20微弧度/℃
获得 为1ppm /℃
机械规格
重量 5.1公斤
材料 铝(黑色阳极氧化处理和蓝色颜料)
MTBF(平均故障间隔时间) 20000

笔记:
除非另有说明1.所有角度是光学
2.在不空气冷却选项
3.初始3小时的预热,环境温度变化后<±0.5度
4. F =160毫米F-Theta物镜典型性能
5.基于最大额定电流的电动机的
6.根据额定电流有效值在用水冷却选项电机;最大连续加速度是该值的70%,无水冷却
7.可实现与<1%的速度误差超过移动的连续速度部分
8.打标速度取决于可允许的跟踪误差
9.结算到移动距离的1%以内
10.所有规格每个轴,除非另有说明

电气规格

模型 AGV14SPO
驱动系统 无刷直接驱动电机的Galvano
反馈 非接触式旋转编码器
最大总线电压 ±40伏直流电
限位开关 光限位开关和软件极限值
首页开关 在中心

外形尺寸

订购信息

AGV-SPO高性能单枢轴点振镜,孔径为14mm

镜面涂层的波长(必需的)

选项 描述
-W001 10.6微米波长涂层
-W004 波长1064nm涂层
-W006 波长532nm涂层
-W008 波长355nm涂层
-W009 343纳米波长涂层

注:其他波长可用;与厂家咨询。

F-θ透镜(可选)

选项 描述
-Lxx 多种的f-theta透镜具有不同的焦距和波长的组合可用;与厂家来电咨询

风冷(可选)

选项 描述
-AC 气冷

水冷(可选)

选项 描述
-厕所 水冷

性能等级(必填)

选项 描述
-PL0 标准性能等级

集成(必需)

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。

选项 描述
μ-TAS 集成 - 测试的系统
测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。