Nmark AGV-HP（O）精度高，热稳定振镜
描述
设计特点
- 最高精度的扫描仪可达到个位数，微米级精度的视野
- 光学反馈技术显著提高了热稳定性
- 当与Aerotech的Nmark GCL控制器一起使用时，>24位的最佳分辨率
- 大范围的光圈和焦距
- 多种镜面处理选择，适用于各种激光波长
极致的精度和稳定性
用于AGV-HP扫描仪系统的高重复性和热稳定性反馈传感器可以在视场范围内校准到个位数、微米级的精度(见下图)。由于位置传感器的热增益漂移性能极低，复杂的高密度激光加工应用需要很长时间才能完成，因此在整个加工过程中，将保持微米级特征放置精度的一致性。同样，高吞吐量的应用程序将保持一致的部件到部件的质量，而不必在部件之间重新校准。为了获得最高水平的热稳定性，AGV-HP扫描仪可配备水冷却装置，以稳定设备在不同负载、环境温度变化或输入孔径上的束削情况下的工作温度。
实时过程的可见性
可以实时捕获并分析AGV-HP(O)镜的位置。通过直接访问扫描仪的位置，用户不再需要编写延迟参数来补偿伺服系统中的滞后和跟踪误差。该工艺可在零件打标前进行优化，节省时间，减少材料浪费。激光的状态也可以根据位置和速度标准进行控制，进一步降低了编程的复杂性。
高级编程功能
该AGV-HP（O）利用所有Aerotech的先进的运动和PSO（位置同步输出）已经为传统的基于伺服激光加工应用开发的能力。轮廓功能，诸如加速度限制可以用来自动降低在急转弯或小半径速度最小化过冲。激光可以基于与PSO反射镜的位置反馈，以确保一致光斑交叠作为扫描器改变速度被触发。查看的艾特航空的无限场（IFOV）功能完美地结合伺服和扫描仪运动整个伺服阶段的整个行程延长了扫描仪的标记功能，消除了可能发生在更传统的举动，暴露出重复过程的拼接错误。
设计选择
AGV-HP(O)系列可提供10mm、14mm、20mm和30mm的输入孔径，并可直接从Aerotech配备F-Theta或telecentric镜头。用户还可以直接从Aerotech提供间隔环的可信供应商处获得聚焦光学元件，以确保通过光学元件的反射不会损坏扫描镜。支持广泛的紫外、可见、红外和二氧化碳波长的镜面涂层。优化的超快激光涂层也可用。
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Galvo校准文件转换器(GCFC) -使用GCFC创建新的，优化现有的，或转换第三方校准文件与Nmark的CLS和操作位SSaM。
此外，白皮书使用带有Nmark CLS的振镜校准文件转换器概述了创建新校准表所需的步骤，以及如何合并Nmark CLS的校准表。
你可能对Aerotech最近的网络直播感兴趣，结合扫描和伺服系统的精度。
简介:线性和旋转致动器通常被用来扩展标示头扫描仪/电流计的有效工作区。该演讲将讨论调整，缩放，旋转，及拼接引起的误差和对最终零件质量的综合影响。先进的纠错，路径规划，以及激光触发技术，帮助减少这些错误也将呈现。
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规范
机械规范
| 模型 | AGV10HP (O) | AGV14HP (O) | AGV20HP (O) | AGV30HP (O) | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学性能 | ||||||
| 光束孔径 | 10毫米 | 14毫米 | 20毫米 | 30毫米 | ||
| 最大扫描角度 | ±20° | |||||
| 梁位移 | 13.0毫米 | 18.0毫米 | 25.1毫米 | 35.7毫米 | ||
| 反馈分辨率 | 0.007µrad(26位) | |||||
| 抖动(最小增量运动)(2) | 0.2µradRMS | |||||
| 精度 | 50µrad pk-pk | |||||
| 重复性(3) | 0.4µradRMS | |||||
| 增益误差 | 0.05 mrad |
|||||
| 非线性 | 0.005% | |||||
| 动态性能 | ||||||
| 跟踪误差 | 0µsec | |||||
| 峰值加速度(4、5) | 288000米/秒2 | 224000米/秒2 | 80000米/秒2 | 56000米/秒2 | ||
| 连续的加速度(4、6) | 75200米/秒2 | 56000米/秒2 | 20800米/秒2 | 19200米/秒2 | ||
| 定位的速度(4) | 75米/ s的 | 75米/ s的 | 50米/秒 | 50米/秒 | ||
| 标记速度(4、7、8) | 5米/秒 | 5米/秒 | 5米/秒 | 5米/秒 | ||
| 跳跃和稳定时间，1毫米移动(4、9) | 270年µsec | 270年µsec | 450年µsec | 700年µsec | ||
| 稳定性 | ||||||
| 长期漂移(3) | 抵消 | 10µrad / 12小时 | ||||
| 15µrad / 24小时 | ||||||
| 获得 | 10 ppm / 24小时 | |||||
| 热漂移 | 抵消 | µrad / 10°C | ||||
| 获得 | 为1ppm /℃ | |||||
| 机械规范 | ||||||
| 重量 | 4.0公斤 | 4.3公斤 | 5.0公斤 | 5.8公斤 | ||
| 材料 | 铝（黑色阳极氧化处理和蓝色颜料） | |||||
| MTBF（平均故障间隔时间） | 20000年 | |||||
注:
1.除非另有说明，所有角度均为光学角度。
2.没有-AC空气冷却选项。
3.初始3小时预热后，环境温度变化<±0.5℃。
4.f = 160mm f - theta目标的典型性能。
5.根据电机的最大额定电流。
6.根据电机的额定均方根电流选择-WC水冷却;在没有水冷却的情况下，最大持续加速度为该值的70%。
7.可实现与<1％的速度误差超过移动的连续速度部分。
8.标记速度取决于允许的跟踪误差。
9.移动距离控制在1%以内。
10.所有规格每个轴，除非另有说明。
电气规格
| 模型 | AGV10HP (O) | AGV14HP (O) | AGV20HP (O) | AGV30HP (O) |
|---|---|---|---|---|
| 驱动系统 | 无刷直接驱动电机的Galvano | |||
| 反馈 | 非接触式旋转编码器 | |||
| 最大总线电压 | 40±直流 | |||
| 限位开关 | 软件只限制 | |||
| 首页开关 | 在中心 | |||
维
订购信息
Nmark AGV-HP(O)检流计扫描仪
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| AGV10HP (O) | 2轴振镜扫描器，用10毫米直径的束孔和积分高精度反馈 |
| AGV14HP (O) | 二轴电流计扫描仪与14毫米直径的光束孔径和积分高精度反馈 |
| AGV20HP (O) | 二轴电流计扫描仪与20毫米直径的光束孔径和积分高精度反馈 |
| AGV30HP (O) | 2轴振镜扫描器，用30毫米直径的束孔和积分高精度反馈 |
住房类型(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| - | 封闭的扫描仪外壳（AGVxxHP） |
| O | 开放式扫描仪外壳(AGVxxHPO) |
辐射入口（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -BE1 | 右侧激光束入射(标准) |
| -BE2 | 左侧激光束进入 |
镜面镀膜波长(要求)
| 选项 | AGV10HP (O) | AGV14HP (O) | AGV20HP (O) | AGV30HP (O) |
| -W1 | - | - | 10.6µm波长涂层 | |
| -W26 | Durable-Silver涂布镜子,450 nm - 10.6µm | - | - | - |
| -W3 | 1552纳米波长涂层 | - | ||
| -W4 | 1064纳米波长的涂层 | |||
| -W5 | 1030nm波长涂层 | - | ||
| -W6 | 532纳米波长的涂层 | - | ||
| -W7 | 515nm波长涂层 | - | ||
| -W8 | 355纳米波长的涂层 | - | ||
| -W9 | - | 波长为343纳米的涂层 | - | |
| -W10 | 1064、532和355纳米三波段涂层 | - | ||
| -W11 | 1030、515和343纳米三波段涂层 | - | - | |
注意:
- 定制的涂料。详情请与工厂联系。
- -W2（耐用品银）选项仅适用于AGV10HP（O）-BE1。
- -W4 (1064 nm)选项不适用于AGV30HP(O)-BE2。
- -W9 (343 nm)和-W11 (1030/515/343 nm)选项不支持-BE2。
- AGV20HP(O)-BE2仅适用于-W1 (CO2)、-W4 (1064 nm)和-W6 (532 nm)选项。
- 有限的运行功率。
F-Theta镜头(可选)(1、2)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 起立 | 看到下表标准的选择 |
安装板(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 国会议员 | 安装板 |
注：-mp选项仅适用于封闭的扫描仪外壳（AGVxxHP）模型。
空气冷却(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| - ac | 空气冷却 |
注:空气冷却只适用于封闭的外壳型号。
水冷（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -厕所 | 水的冷却 |
注：水冷只在封闭的外壳型号。
性能等级（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL0 | 标准的性能等级 |
| -PL9 | 超性能等级 |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成 - 测试的系统 测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是，也可能不是更大系统的一部分。 |
镜头安装适配器（被排序为单独的行项目）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| LM10HP-XXX | AGV10HP(O)镜头安装适配器;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
| LM14HP-XXX | AGV14HP(O)镜头安装适配器;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
| LM20HP-XXX | 用于AGV20HP(O)的镜头安装适配器;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
| LM30HP-XXX | 用于AGV30HP(O)的镜头安装适配器;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
F-Theta镜头(可选)(1、2)
| 波长 | 焦距 | AGV10HP (O) | AGV14HP (O) | AGV20HP (O) | AGV30HP (O) |
| 10.6µm | 100毫米 远心 |
- | - | 10.6µm波长 100毫米焦距 38.6 x 38.6毫米FOV 远心 (l1) |
- |
| 160毫米 | - | - | 10.6µm波长 160毫米焦距 76.0 x 76.0毫米FOV Non-Telecentric (l2) |
- | |
| 255毫米 | - | - | 10.6µm波长 255毫米焦距 163.8 x 163.8毫米FOV Non-Telecentric (l3) |
10.6µm波长 255毫米焦距 104.4 X104.4毫米FOV Non-Telecentric (l1) |
|
1552纳米 |
100毫米 远心 |
1552纳米波长 100毫米焦距 55.2 x 55.2 mm FOV 远心 (l1) |
1552纳米波长 100毫米焦距 49.4 x 49.4毫米 远心 (l3) |
- | - |
| 163毫米远心 | 1552纳米波长 163毫米焦距 93.8 x 93.8毫米FOV 远心 (l2) |
1552纳米波长 163毫米焦距 93.8 x 93.8毫米FOV 远心 (l4) |
- | - | |
| 1064海里 | 100毫米 | 波长1064nm 100毫米焦距 66.9 x 66.9 mm FOV Non-Telecentric (l3) [3] |
波长1064nm 100毫米焦距 37.0 X37.0毫米FOV Non-Telecentric (l5) [3] |
- | - |
| 100毫米远心的 | 波长1064nm 100毫米焦距 69.8 x 69.8毫米FOV 远心 (l4) [3] |
波长1064nm 100毫米焦距 61.6 X61.6毫米FOV 远心 （-L6）[3] |
波长1064nm 100毫米焦距 44.0 x 44.0毫米FOV 远心 (l4) |
- | |
| 160毫米 | 波长1064nm 160毫米焦距 107.6 x 107.6 mm FOV Non-Telecentric (l5) [3] |
波长1064nm 160毫米焦距78.4 x 78.4毫米FOV Non-Telecentric (地级)[3] |
- | - | |
| 163毫米 | - | - | 波长1064nm 163毫米焦距 72.4 x 72.4 mm FOV Non-Telecentric (l5) [3] |
- | |
| 163毫米远心 | 波长1064nm 163毫米焦距 92.0 x 92.0毫米FOV 远心 (16种) |
波长1064nm 163毫米焦距 85.2 x 85.2 mm FOV 远心 （-L8） |
波长1064nm 163毫米焦距 71.6 x 71.6 mm FOV 远心 (16种) |
- | |
| 170毫米 | - | 波长1064nm 170毫米焦距 110.8 x 110.8毫米FOV Non-Telecentric (-L9) [3] |
- | - | |
| 200毫米 | - | - | - | 波长1064nm 200毫米焦距 68.0 X68.0毫米FOV Non-Telecentric (l2) [3] |
|
| 255毫米 | - | - | 波长1064nm 255毫米焦距 154.2 x 154.2 mm FOV Non-Telecentric (地级)[3] |
波长1064nm 255毫米焦距 91.6 x 91.6毫米FOV Non-Telecentric (l3) [3] |
|
| 500毫米 | - | - | - | 波长1064nm 焦距500毫米 233.2 x 233.2 mm FOV Non-Telecentric (l4) |
|
| 1030纳米 | 100毫米远心的 | 1030纳米波长 100毫米焦距 41.6 x 41.6毫米FOV 远心 (地级) |
1030纳米波长 100毫米焦距 34.8 x 34.8毫米FOV 远心 (l10) |
- | - |
| 163毫米远心 | 1030纳米波长 163毫米焦距 92.0 x 92.0毫米FOV 远心 （-L8） |
1030纳米波长 163毫米焦距 85.0 X85.0毫米FOV 远心 (不断化解) |
- | - | |
| 532海里 | 100毫米 | 532纳米波长 100毫米焦距 57.2 x 57.2 mm FOV Non-Telecentric (-L9) [3] |
- | - | - |
| 100毫米远心的 | 532纳米波长 100毫米焦距 64.6 X64.6毫米FOV 远心 (l10) [3] |
532纳米波长 100毫米焦距 57.0 x 57.0毫米FOV 远心 (-L12) [3] |
- | - | |
| 160毫米 | 532纳米波长 160毫米焦距 107.0 x 107.0毫米FOV Non-Telecentric （-L11）[3] |
532纳米波长 160毫米焦距 77.2 X77.2毫米FOV Non-Telecentric (-L13) [3] |
- | - | |
| 163毫米远心 | 532纳米波长 163毫米焦距 79.6 x 79.6毫米FOV 远心 (-L12) |
532纳米波长 163毫米焦距 66.0 x 66.0毫米FOV 远心 （-L14） |
- | - | |
| 170毫米 | - | 532纳米波长 170毫米焦距 103.8 x 103.8毫米FOV Non-Telecentric (课时)[3] |
- | - | |
| 255毫米 | - | - | 532纳米波长 255毫米焦距 148.0 X148.0毫米FOV Non-Telecentric (18)[3] |
- | |
| 515纳米 | 100毫米远心的 | 515纳米波长 100毫米焦距 41.4 x 41.4 mm FOV 远心 （-L13） |
515纳米波长 100毫米焦距 34.6 x 34.6 mm FOV 远心 （-L16） |
- | - |
| 163毫米远心 | 515纳米波长 163毫米焦距 79.2 X79.2毫米FOV 远心 （-L14） |
515纳米波长 163毫米焦距 65.8 x 65.8毫米FOV 远心 （-L17） |
- | - | |
| 355海里 | 53毫米远心的 | 355纳米波长 53毫米焦距 17.2 x 17.2毫米FOV 远心 （-L15） |
355纳米波长 53毫米焦距 8.2×8.2毫米FOV 远心 （-L18） |
- | - |
| 100毫米远心的 | 355纳米波长 100毫米焦距 51.6 x 51.6 mm FOV 远心 （-L16） |
- | - | - | |
| 160毫米 | 355纳米波长 160毫米焦距 92.4 x 92.4 mm FOV Non-Telecentric （-L17） |
- | - | - | |
| 163毫米远心 | 355纳米波长 163毫米焦距 80.8 x 80.8毫米FOV 远心 （-L18） |
355纳米波长 163毫米焦距 74.6 x 74.6 mm FOV 远心 （-L19） |
- | - | |
| 255毫米 | 355纳米波长 255毫米焦距 143.0 x 143.0 mm FOV Non-Telecentric （-L19） |
355纳米波长 255毫米焦距 119.4 x 119.4毫米FOV Non-Telecentric (方面) |
- | - | |
| 343纳米 | 53毫米远心的 | - | 343纳米波长 53毫米焦距 8.0 x 8.0 mm FOV 远心 (-L21) |
- | - |
| 163毫米远心 | - | 343纳米波长 163毫米焦距 74.0 x 74.0毫米FOV 远心 (戏) |
- | - | |
| 255毫米 | - | 343纳米波长 255毫米焦距 118.4 x 118.4毫米FOV Non-Telecentric (-L23) |
- | - |
注:
- 假设输入光束直径等于扫描头入口孔径1/e2高斯配置文件
- 报告的场大小是基于零束晕实现的最小值。
- 不建议使用短脉冲激光器（PS和飞秒脉冲持续时间）使用f-θ透镜。对于那些与短脉冲激光兼容的镜头选择，请咨询工厂。
- 定制的涂料。详情请与工厂联系。