ATS100机械轴承，丝杠驱动的直线运动平台
描述
设计特点
- 长寿命直线运动导引轴承系统
- 超精细分辨率
- 积分风箱waycovers
- 低调的紧凑型设计
- 包括无刷，无槽电机
在ATS100系列马达驱动的线性阶段提供对半导体晶圆测试和制造，自动显微镜检查系统和微加工精度应用所需的高的分辨率和可重复性。
杰出的建筑特点
ATS100串联级是从一个特殊的铸造铝合金加工，以提供高的强度 - 重量比和长期稳定性。所述碱为箱设计，其提供优异的刚度和稳定性。
ATS100系列级采用预装的精密地滚珠丝杆消除齿隙，其螺母有刮水器，以防止污染，并在整个级的使用寿命内保持高精度。高质量，预装双轴承用于消除轴向发挥。
所有的ATS100系列平台集成了线性运动指南（LMG）轴承提供高负载能力和高刚度。的LMG设计提供了具有连续滑架支承在整个行程和良好的悬臂负载能力的小型的阶段。在轴承货车积分雨刷帮助确保舞台的旅行生活。高度精确的光学限位开关和端部挡块也是标准。
整体风箱式阀盖保护传动和轴承系统免受污染。金属表面保护与一个有吸引力的明确阳极氧化完成。可提供公制(标准)和英制安装和螺栓孔型式。
高精确度
在ATS100设置在紧凑的包装精密性能标准。与-PL2选项，ATS100能够亚微米的精度和0.3μm的令人印象深刻的可重复性。
马达和驱动
包括在ATS100系列阶段是Aerotech的BMS系列无刷旋转电机。这款电机具有无刷电机的所有优点——高加速度，无刷磨损和低加热——但却没有齿轮，运动极其平稳和准确。Aerotech生产广泛的匹配驱动器和控制器，提供一个完全集成和优化的运动解决方案。
选项
标准配置包括用于多轴组装和真空准备的精密直角支架6托。
产品规格
ATS100规格
| 模型 | ats100 - 050 | ATS100-100 | ats100 - 150 | ATS100-200 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 150毫米 | 200毫米 | ||
| 最高行驶速度（1） | 100毫米/秒 | |||||
| 最大负载（2） | 水平 | 25.0公斤 | ||||
| 垂直 | 10.0公斤 | |||||
| 一边 | 10.0公斤 | |||||
| 精度 | 校准（3） | ±0.5微米 | ±0.5微米 | ±0.75微米 | ±1.0μm的 | |
| 标准 | ±2.0µm | ±3.0μm的 | ±5.0微米 | ±6.0微米 | ||
| 重复性(双向) | 校准（3） | ±0.3µm | ||||
| 标准 | ±0.7微米 | |||||
| 直度 | 微分 | HALSF | 为1.0μm/ 25mm以上 | |||
| 标准 | 为2.0μm/ 25mm以下 | |||||
| 最大 偏差 |
HALSF | ±0.5微米 | ±1.0µm | ±1.5微米 | ±1.75µm | |
| 标准 | ±1.0μm的 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±3.0µm | ||
| 俯仰和偏航 | 5弧秒 | 8弧秒 | 10弧秒 | 12弧秒 | ||
| 名义阶段体重 | 少电机 | 1.6公斤 | 1.8公斤 | 1.9公斤 | 2.1公斤 | |
| 与运动 | 2.7公斤 | 2.9公斤 | 3.0公斤 | 3.2公斤 | ||
| 施工 | 全铝车身/舞台和表;本色阳极氧化处理完成 | |||||
- 过度的占空比可能会影响舞台的准确性。
- 载荷规格为单轴系统，基于滚珠丝杆和轴承寿命2500公里(1亿英寸)的旅行。
- 可与航空技术控制器。
- 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
-
ATS100悬臂荷载图 
外形尺寸
订购信息
ATS100系列机械轴承丝杠驱动的直线运动平台
旅游（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -050年 | 50毫米 |
| -100 | 100毫米 |
| -150年 | 150毫米 |
| -200 | 200毫米 |
真空制备（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 高压 | 高真空准备至106托 |
桌面（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -TT1 | 桌面与米制尺寸安装模式和孔 |
| -TT2 | 桌面与英语尺寸安装模式和孔 |
电机（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -M1 | BMS60伺服电机w/2500线TTL编码器 |
| -M2 | BMS60伺服马达瓦特/ 2500行TTL编码器和保持制动器 |
| -M3 | BMS60伺服电机w/1000线1 Vpp编码器 |
| -M4 | BMS60伺服电机w/1000线1 Vpp编码器及抱闸 |
| -M5 | BM75伺服电机W / 2500线编码器TTL |
| -m6 | BM75伺服马达瓦特/ 2500行TTL编码器和保持制动器 |
| -M7 | BM75伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器 |
| -M8 | BM75伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器和保持制动器 |
| -M9 | SM60步进电机，SM60- cn1 - vt2 |
| m10 | SM60步进电机w/抱闸，SM60- cn1 - vt2 - bk |
返送（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -FB1 | 用于。250英寸直径轴NEMA 23电机的折叠式组件 |
| -FB2 | 折返试剂盒瓦特/制动器0.250英寸直径的轴23 NEMA马达 |
汽车方向（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 2 | 底部电缆出口，可选方向 |
| 3 | 左侧的线缆出口，标准方向 |
| 4 | 顶部电缆出口，可选定向 |
| 5 | 右侧电缆出口，可选方向 |
| -8 | 右侧折叠，标准朝向 |
| -12 | 左侧折返，可选定向 |
限制（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -LI1 | 常闭限位开关，9针连接器d |
| -LI2 | 闭合限位开关;飞行引导 |
| -LI3 | 正常开启限位开关，9脚D型连接器 |
| -LI4 | 正常开启限位开关，飞线 |
耦合(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CP1 | 耦合为0.250英寸直径的轴 |
| -CP2 | 耦合为0.375英寸直径的轴 |
安装板（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| mp1 | 安装板，度量 |
| mp2 | 安装板,英语 |
计量（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL1 | 计量学，未用性能图校准 |
| -PL2 | 使用性能图进行计量、校准(HALAR) |
计量 - HALSF（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL5 | 度量衡，水平/垂直直线度校正(HALSF) |
集成（必需）
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望获得系统的定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| μ-TAS | 集成测试系统 测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |
附件（排序为一个独立的项目）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| ALIGN-NPA | Non-precision XY组装 |
| ALIGN-NPAZ | 非精密XZ或YZ组件 |
| ALIGN-PA10 | XY组装;10弧秒正交性。短行程级对准到7微米内的正交角。 |
| ALIGN-PA10Z | 带l形支架的XZ或YZ总成;10弧秒的正交性。对准在10微米正交的短行程阶段。 |
| ALIGN-PA5 | XY组装;5弧秒正交性。短行程级对准到3微米内的正交性。 |
| ALIGN-PA5Z | 带l形支架的XZ或YZ总成;5弧秒正交性。短行程级对准到5微米内的正交角。 |
| HDZ1 | 英文直角左括号;对于ATS100-050和ATS100-100只 |
| HDZ1L | 英文直角左括号;对于ATS100-150和ATS100-200只 |
| HDZ1M | 公制直角L形托架;对于ATS100-050和ATS100-100只 |
| HDZ1LM | 公制直角L形托架;对于ATS100-150和ATS100-200只 |