ATS150机械轴承，螺旋驱动线性级

描述

设计特点

  • 长寿命直线导轨轴承系统
  • 超细的分辨率
  • 积分风箱waycovers
  • 低调简洁的设计
  • 亚微米精度
  • 可选配高精度线性编码器

ATS150系列电机驱动的线性级提供高分辨率和可重复性要求的半导体晶圆测试和制造，自动化显微镜检查系统和精密微加工应用。

构造特点

ATS150系列采用特殊铸造铝合金加工而成，具有高的强度重量比和长期稳定性。基础是一个盒子设计，提供了非凡的刚度和稳定性。

ATS150系列采用预装的精密地滚珠丝杆，以消除齿隙，其螺母有雨刷，以防止污染，并在整个阶段保持高精度。高质量，预装双轴承用于消除轴向发挥。

所有的ATS150系列级结合线性运动指南(LMG)轴承提供高负荷能力和高刚度。LMG设计提供了一个紧凑的阶段，在整个行程中提供连续的车厢支持和良好的悬臂负载能力。轴承卡车上的整体式雨刷有助于确保舞台运行寿命。高度精确的光学限位开关和终端停止也是标准。

整体风箱式阀盖保护传动和轴承系统免受污染。金属表面保护与一个有吸引力的明确阳极氧化完成。可提供公制(标准)和英制安装和螺栓孔型式。

线性编码器

精密非接触式线性编码器是一种选择。编码器安装在内部的阶段，保护它免受外部污染物和碎片。

马达和驱动

包括所有ATS150系列的阶段是Aerotech的BMS系列无刷旋转电机。这款电机具有无刷电机的所有优点——高加速度，无刷磨损和低加热——但却没有齿轮，运动极其平稳和准确。Aerotech生产广泛的匹配驱动器和控制器，提供一个完全集成和优化的运动解决方案。

规范

ATS150规范

模型 ats150 - 100 ats150 - 150 ats150 - 200 ats150 - 250
旅行 100毫米 150毫米 200毫米 250毫米
驱动系统 超精密地滚球螺杆/无刷伺服电机(BMS60-A-D25-E1000H)
总线电压 高达160伏直流电
连续流 一个pk 最高可达2.3 A
一个rms 最高1.6 A
反馈 非接触式旋转编码器(1000线)
决议 2毫米/牧师领导 0.5µm @ 4000步/转速电动机分辨率
4毫米/牧师领导 1.0µm @ 4000步/转速电动机分辨率
LN线性编码器 0.001µm - 0.2µm N/A N/A
最大的旅行速度(1) 2毫米/牧师领导 115毫米/秒
4毫米/牧师领导 230毫米/秒
最大负载(2) 水平 45.0公斤
垂直 25.0公斤
一边 25.0公斤
精度 滚珠螺杆 校准(3) ±1.0µm
标准 + 2,4µm + 2,5µm + 2,8µm + 2,-10µm
LN 校准(3) ±1.0µm N/A N/A
标准 ±5.0µm N/A N/A
重复性(双向) 滚珠螺杆 校准(3) ±0.5µm
标准 ±1.0µm
LN ±0.5µm N/A N/A
直线度、平面度 微分 HALSF 1µm / 25毫米
标准 2µm / 25毫米
最大
偏差		 HALSF ±1.0µm ±1.5µm ±2.0µm ±3.0µm
标准 ±2.0µm ±3.0µm ±4.0µm ±5.0µm
俯仰和偏航 8弧秒 10弧秒 12弧秒 14弧秒
名义阶段体重 更少的汽车 6.2公斤 6.8公斤 6.9公斤 7.4公斤
与运动 7.3公斤 7.9公斤 8.0公斤 8.5公斤
建设 铝制机身/舞台及工作台;清晰的阳极电镀完成
  1. 过大的占空比可能会影响精度。
  2. 载荷规格为单轴系统，基于滚珠丝杆和轴承寿命2500公里(1亿英寸)的旅行。
  3. 可与航空技术控制器。
  4. 规格为单轴系统测量桌面以上25毫米。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
  • ATS150

维

订购信息

ATS150系列机械轴承螺杆驱动直线工作台

旅游(必需)

选项 描述
-100年 100毫米
-150年 150毫米
-200年 200毫米
-250年 250毫米

真空制备(必需)

选项 描述
高压 高真空准备至106托

直接线性反馈(需要)

选项 描述
e1 高精度增量式线性编码器;1 Vpp
    线性编码器选项仅适用于100毫米和150毫米的行程

桌面(必需)

选项 描述
-TT1 桌面与米制尺寸安装模式和孔
-TT2 桌面与英语尺寸安装模式和孔

滚珠丝杆(必需)

选项 描述
-BS1 2 mm/rev精密地滚珠丝杆
-BS2 4 mm/rev精密地滚珠丝杆

电动机(可选)

选项 描述
m1 BMS60伺服电机w/2500线TTL编码器
平方米 BMS60伺服电机w/2500线TTL编码器及抱闸
m3 BMS60伺服电机w/1000线1 Vpp编码器
m4 BMS60伺服电机w/1000线1 Vpp编码器及抱闸
m5 BM75伺服电机w/2500线TTL编码器
m6 BM75伺服电机w/2500线TTL编码器及抱闸
m7 BM75伺服电机w/1000线1 Vpp编码器
m8 BM75伺服马达w/1000线1 Vpp编码器和抱闸
m9 SM60步进电机，SM60- cn1 - vt2
m10 SM60步进电机w/抱闸，SM60- cn1 - vt2 - bk

监听(可选)

选项 描述
-FB1 用于。250英寸直径轴NEMA 23电机的折叠式组件
-FB2 用于。250英寸直径轴NEMA 23电机的折叠背衬组件/制动器

运动方向(可选)

选项 描述
2 底部电缆出口，可选方向
3 左侧电缆出口，标准方向
4 顶部电缆出口，可选方向
5 右侧电缆出口，可选方向
-8 右侧折叠，标准朝向
-12年 左侧可折叠，可选方向

限制(必需)

选项 描述
-LI1 闭合限位开关;9针D连接器
-LI2 闭合限位开关;飞行引导
李 常开限位开关;9针D连接器
合谷 常开限位开关;飞行引导

耦合(可选)

选项 描述
cp1 0.250英寸直径轴的联轴节
-CP2 0.375英寸直径轴的联轴节

计量(可选)

选项 描述
pl1 计量学，未用性能图校准
-PL2 使用性能图进行计量、校准(HALAR)

计量- HALSF(可选)

选项 描述
-PL5 度量衡，水平/垂直直线度校正(HALSF)

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望获得系统的定制集成支持，请咨询Aerotech。

选项 描述
助教 集成测试系统
将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。

附件(作为单独的行项目订购)

选项 描述
ALIGN-NPA Non-precision XY组装
ALIGN-NPAZ 非精密XZ或YZ组装
ALIGN-PA10 XY组装;10弧秒正交性。短行程级对准到7微米内的正交角。
ALIGN-PA10Z 带l形支架的XZ或YZ总成;10角秒正交性。短行程级对准到10微米内的正交角。
ALIGN-PA5 XY组装;5弧秒正交性。短行程级对准到3微米内的正交性。
ALIGN-PA5Z 带l形支架的XZ或YZ总成;5弧秒正交性。短行程级对准到5微米内的正交角。
HDZ2 英文直角左括号;只适用于ATS150-100及ATS150-150
HDZ2M 公制直角l形支架;只适用于ATS150-100及ATS150-150