ABL9000两轴空气轴承直接驱动线性阶段
描述
设计特点
- 所有轴全部预紧
- 双直线电机驱动Y轴
- 旅行至1.2米乘1.2米
- 线性编码器或激光干涉仪反馈
- 主动偏航控制
艾特航空具有工程的历史悠久,制造了世界上最高性能的运动系统直接解决客户的关键应用需求。这些努力有助于实现在许多行业,包括半导体,医疗和军事/航空关键技术。这种广泛的历史和经验,在ABL9000空气轴承运动平台的发展已经达到了高潮。设计,以满足晶片,平板显示器,和光学检查和制造的严格要求,ABL9000设置的性能的新标准。
空气轴承设计
所述ABL9000既包含垂直和水平表面上的活性预载荷。相对的薄膜压力维持轴承标称间隙公差。这样的设计,除了可在一较大的表面积分配负载大空气支承面,导致具有优异的硬度的阶段,是理想的重或偏载。
专有的制造技术导致具有非常卓越的几何特征的阶段。空气轴承具有最大化性能固有平均效应。该薄膜将填充小表面空隙,并允许其它不规则性。这种特性的产率优异的俯仰,滚转,偏航,平直度和平面度的规格。
直线电机驱动
后面这个阶段的驱动力是Aerotech的BLM系列无刷线性伺服电机。艾特航空的悠久历史和作为电机制造商的经验体现在这个最新的设计。所述BLM利用无铁心动子,这意味着存在零齿槽和没有吸引力,从而导致运动的无与伦比的平滑度。能够产生高的力和速度,则BLM表示功率和性能的最佳组合。
零维护
我们完全非接触式空气轴承,非接触式直线电机驱动器和非接触反馈装置确保年内免维护操作在预期的艾特航空设备的卓越性能。因为活动元件之间没有机械接触,所以ABL9000经历随时间的性能没有磨损或减少。使用寿命几乎是无限的,并因为没有润滑性 - 只有清洁,干燥的气体 - 空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。
电缆管理
我们仔细优化了电缆的弯曲半径,以保证多年无故障运行。在出现故障的异常情况下,艾特航空的模块化设计使得电缆更换快捷方便用最少的停机时间。为了便于集成到最终系统,我们包括所有客户所需的电缆,空气软管等,在我们的CMS束。两端都完全连接器连接于简单地集成到客户的机器。
产品规格
ABL9000规格
规格 | ABL9000-0300-0300 | ABL9000-0500-0500 | ABL9000-0750-0750 | ABL9000-1000-1000 | ABL9000-1200-1200 | |
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旅行(1) | 300毫米×300毫米 | 500毫米×500mm的 | 750毫米X750毫米 | 千毫米X千毫米 | 1200毫米X1200毫米 | |
母线电压(2) | 高达160 VDC | |||||
反馈 | 非接触式线性编码器 | |||||
最高行驶速度(3) | 500毫米/ s的 | |||||
最大加速度 | 将1克(无负载) | |||||
最大负载(4) | 30.0公斤 | 125.0公斤 | ||||
准确性(5) | 高精度线性编码器反馈 | ±0.5微米 | ±0.75微米 | ±0.85微米 | ±1.0μm的 | ±1.25微米 |
激光干涉仪反馈 | 标准±10ppm的;补偿 ±1.5ppm的(6) |
联系,了解详细的艾特航空应用工程师 | ||||
重复性(5) | ±0.1μm的 | ±0.2微米 | ||||
直度 | 最大偏差 | ±0.5微米 | ±1.5微米 | ±2.0微米 | ±2.5微米 | ±3.0微米 |
俯仰/滚动/偏航 | 2弧秒 | 3.5弧秒 | 4.5弧秒 | 5.5角秒 | 6弧秒 | |
级质谱 | 320公斤 | 690公斤 | 3200公斤 | 4130公斤 | 5200公斤 | |
移动质量 | 桥 | 9.5公斤 | 35.0公斤 | |||
龙门 | 44公斤 | 57公斤 | 120公斤 | 130公斤 | 140公斤 | |
正交 | 2弧秒 | 3弧秒 | 3.5弧秒 | 4弧秒 | 5弧秒 | |
运营压力(7) | 551.6千帕+ 0,-34千帕 | |||||
耗气量(8) | 45 SLPM(1.6 SCFM) | 85 SLPM(3.0 SCFM) | ||||
材料 | 铝 | |||||
完 | 硬涂层(62级洛氏硬度) |
- 旅游可以定制以满足特定的应用需求。其他旅行选择咨询艾特。
- 80 VDC总线限制标准带状电缆。高达320 VDC是具有圆形电缆。
- 基于阶段能力最大速度;最大应用速度可由系统的数据速率和系统分辨率的限制。
- 根据承载能力最大负载;最大应用负载可通过加速度要求的限制。
- 可用Aerotech控制器和校准。
- 需要环境补偿。
- 为了保护空气轴承对下压,绑运动控制器ESTOP输入直列压力开关建议。亚博微信vip群
- 空气供应必须保持清洁,干燥至0°F露点,并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9%的氮气推荐。
- 的规格是对于单轴系统,测量25毫米桌面的上方。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。