PlanarHDX二轴，碳化硅，平面空气轴承级
描述
设计特点
- 先进的碳化硅结构，高动态和超精密的运动性能
- 速度达到1.5米/秒，加速度达到5克
- 专利反应-大规模设计，使快速周转和移动和解决时间
- 主动和被动隔离系统选项
- 编码器或激光干涉仪反馈
- 直线电机具有改进的热管理
- 先进的控制解决方案提供了增强的吞吐亚博登录平台量
Aerotech在半导体制造等高科技领域提供超精密定位系统的悠久历史，使关键运动技术得以不断发展和改进。在这些技术的基础上，Aerotech开发了Planar公司HDX最先进的商用平面气浮平台在市场上。使用FEA优化的碳化硅结构设计和优化空气轴承补偿技术中，平面HDX提供最高的动态性能，同时保持无与伦比的几何特征和定位精度。
超精密的设计
平面HDX结构元件一直在使用陶瓷的高级碳化硅具有特定刚度（弹性模量/密度）比铝高五倍和热膨胀大约五倍降低的系数而设计的。具有FEA优化的结构沿着所述所得材料使得在不牺牲动态跟踪，几何性能，或热稳定性高通量运动（1.5米/秒的扫描速度和5g峰值加速度与有效载荷高达20公斤）。
利用近50年的空气轴承和精密运动系统设计经验，Aerotech开发了一种新的空气轴承补偿策略，增加刚度和负载能力，以满足高动态要求的应用。在关键轴承元件上使用经过验证的空气-空气预压，可以改善真空预压设计的周转和沉降时间。
专有的反作用物质设计显着地减少在被转移到隔离系统或客户的结构（光学系统，传感器等）的步骤轴载物台引起的力。通过减少这些动态的力量，移动和结算的时间减少和流程提高了生产率。
根据应用要求，制作平面HDX是可用的被动或主动隔离系统。如Z-尖端倾斜或Z-θ设计以及定制晶片加载/卸载机构和晶片卡盘附加轴是可用的。机焊件，复杂的花岗岩基部结构或外壳也可以设置。
高精度反馈
作为一个标准的产品，平面HDX每个轴上都有低膨胀的玻璃天平。比例和读头位置的选择，以尽量减少阿贝和热引起的误差。对于精度要求最高的应用，Aerotech可以提供激光干涉仪反馈，在工作点安装集成的晶片夹盘或工件夹具。在编码器和干涉仪反馈系统中，材料和安装方法都进行了优化，以提供高动态运行，同时最小化热引起的精度误差。
非接触直接传动技术
在平面的心脏HDX是Aerotech的BLM和BLMH线性电动机，其采用压机设计用于超平滑运动无铁心。无论是步进扫描轴使用多个马达驱动的中心附近-的质量，以提供特殊的纵/横的直线度和最小的角度误差。马达被热隔离，并且为高占空比应用可以是水冷却到减少因电机发热热误差。
先进的机电一体化解决方案
的Aerotech生产不仅机械元件，而且电子和定位系统的控制元件。在此过程中，关键的驱动和软件控制功能可以紧密地耦合到机械，不仅提供了一站式的解决方案，而且还能够与无与伦比的性能一个完整的机电一体化的解决方案。许多先进的控制功能，如定向增益调度，迭代学习控制，并作为发展与艾特航空控制和机械特定的应用程序的结果谐波消除存在。
艾特航空的ETM（增强吞吐量模块）选项有助于提高高动态运动系统如Planar的定位性能HDX通过直接测量机座不需要的运动，并将其反馈给控制器。通过与动态控制工具箱和Aerotech控制器协同工作，ETM显著提高了移动和稳定时间和轮廓性能，增加了现有和新机器的吞吐量，并大大降低了帧运动对伺服系统的影响。
规范
机械规范
| 平面HDX450 - 450 | 平面HDX-600-600 | 平面HDX750 - 750 | ||
|---|---|---|---|---|
| 旅行(1) | 450毫米x450毫米 | 600毫米x600毫米 | 750毫米x750毫米 | |
| XY准确性(2、3) | ±100nm的 | |||
| 双向可重复性(3) | ±15nm的 | |||
| 平直度 | 每450毫米200nm的 | |||
| 平整度 | 每450毫米300纳米 | |||
| 沥青/转 | 10微弧度每450毫米（2弧秒） | |||
| 偏航 | 5µrad(1角秒)/ 450毫米 | |||
| XY正交性 | <2微弧度（0.4弧秒） | |||
| 最大速度(4) | X轴（工序） | 1.0米/秒 | ||
| Y轴（扫描） | 1.5米/ s的 | |||
| 峰值加速度(4) （额定负荷） |
X轴(步骤) | 3克（29米/秒2) | ||
| Y轴（扫描） | 5克(49米/秒)2) | |||
| 均方根加速度(4) （额定负荷） |
X轴(步骤) | 1.1 g (10.8 m/s)2) | ||
| Y轴（扫描） | 1.2 g(12.8米/秒2) | |||
| 额定载荷 (保持动态规格) |
20公斤 | |||
| 最大有效载荷（4,5） | 40公斤 | |||
| 到位抖动（直播）(6) | ±2.5纳米（Z），±5纳米（X和Y） | |||
| 典型的步骤和固定时间(额定负载和被动隔离);在750mm x 600mm系统上测量，±100nm固定窗 | 25mm台阶- x轴:150ms;轴:115毫秒 | |||
| 100毫米步骤 - X轴：245毫秒;Y轴：190毫秒 | ||||
| 300mm阶跃x轴:450 ms;轴:380毫秒 | ||||
| 系统工作压力(7) | 550千帕±35千帕 | |||
| 耗气量（8） | 130 SLPM | |||
| 材料 | 碳化硅陶瓷，花岗岩 | |||
| 平均故障间隔 | > 40000个小时 | |||
- 其他定制旅游可按要求提供。
- XY精度超过450毫米×450 mm范围测量。指定线性编码器选项。工厂能提供激光干涉仪反馈。
- 结果高度依赖于环境和占空比。温度稳定性<0.1°C必需的。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器
- 最大负载可能受到所需规格的限制。
- 在位置抖动报告为峰峰值。高度依赖于隔离制度和环境条件上。
- 为了防止低压空气轴承，推荐绑到运动控制器ESTOP输入直列压力开关。亚博微信vip群
- 空气供应必须保持清洁，干燥至-15℃露点，并过滤到0.25微米或更好。建议在氮气纯度为99.9％。
电气规格
| 平面HDX | |
|---|---|
| 驱动系统 | 无刷伺服电机线性 |
| 反馈 | 玻璃/微晶玻璃™线性编码器 (可用激光干涉仪选项) |
| 最大总线电压 | 340 VDC |
推荐的控制器
| 平面HDX | ||
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | Npaq 6 u NDRIVE HLE Ndrive HPe |
维
-
PlanarHDX 
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订购信息
平面HDX系列
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 平面HDX | 的平面HDX系列是由先进的碳化硅陶瓷制造的两轴，超高性能，空气轴承台，高动态和超精密的运动性能。包括陶瓷空气轴承台与花岗岩基地和电缆管理。 |
阶段和旅行
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 平面HDX450 - 450 | 金刚砂,平面空气轴承;平面HDX450 - 450 |
| 平面HDX-600-600 | 金刚砂,平面空气轴承;平面HDX-600-600 |
| 平面HDX750 - 750 | 金刚砂,平面空气轴承;平面HDX750 - 750 |
反馈(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -E1 | 增量编码器的玻璃，1个VPP输出 |
| -E2 | 高精度增量编码器的玻璃，1个VPP输出 |
| -E3 | 高精度低膨胀玻璃的增量编码器，1个VPP输出 |
| -E4 | 高精度/分辨率低膨胀玻璃的增量编码器，1个VPP输出 |
| -E5 | 激光干涉仪反馈 |
反应产物（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -R M | 反作用物质设计，步骤轴 |
电机冷却(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -厕所 | 水冷却上的所有直线电机 |
孤立系统(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -ISO1 | 主动隔振系统 |
| -ISO2 | 被动隔振系统 |
电缆管理(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMSxxxx | 电缆管理客户空气线，若干辅助连接器，附加轴等工厂联系了解详情。 |
性能等级（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL4 | 超高精度的2D性能 |
集成(必需)
| 以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。 | |
| 助教 | 集成 - 测试的系统 测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。 |