ABRS空气轴承直接驱动旋转台

描述

Aerotech公司的ABRS系列回转式空气轴承工作台在极低姿态下提供了优越的角度定位、速度稳定性和误差运动性能。ABRS的设计是为了满足晶圆检测、高精度计量、x射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造的严格要求。

所述ABRS系列的设计直接驱动旋转台已经被优化到阶段高度最小化。该阶段的低剖面的降低了系统的有效工作高度，最大限度地减少“的叠层结构”相关的错误。除了低的总高度，ABRS系列提供了可用于产品馈通件，激光束传输，电缆的间隙或应用特定要求的通光孔径。

所述ABRS设计的特征在于用于高刚度和承载能力大的空气轴承面，产生不仅具有优良的轴向和径向误差运动但优秀倾斜误差运动，以及。将所得面误差运动是显著优于其他旋转空气支承表和主轴，大大有益于需要特殊的平面性能的应用。

为了最大限度地提高定位的性能，ABRS系列采用Aerotech的S系列无槽无刷电机。电机采用了先进的磁路设计以产生具有最小的热产生高扭矩输出。无槽设计本质上是零齿槽效应和转矩脉动免费。这使得ABRS阶段适用于需要低或高的速度平稳扫描速度的应用程序。

光学编码器是ABRS的标准配置。当与Aerotech的反馈乘法器和控制相结合时，小于0.03弧秒的分辨率是可以实现的。亚博登录平台

ABRS的自定义版本可用于速率表和惯性制导试验台应用。

模型		ABRS150MP	ABRS200MP	ABRS250MP	ABRS300MP
宽度		150毫米	200毫米	250毫米	300毫米
桌面直径		128.1毫米	178.1毫米	228.1毫米	278.1毫米
高度		80毫米	90毫米	100毫米	110毫米
光圈		8毫米	20毫米	35毫米	75毫米
总旅行		360°连续
母线电压		80 VDC	340 VDC
基本编码器分辨率		3600线/转	8192线/转	11840线/转	18000线/转
最大速度^（1）		300转	300转	500转	500转
精度^（2）		±3弧秒	±2弧秒
双向重复性		<2弧秒	<1个弧秒
最大负荷^（3）	轴向	8公斤	31公斤	66公斤	97公斤
	径向	4公斤	15公斤	36公斤	51公斤
	倾斜	3 n - m	10 n - m	28 n - m	45 N-m的
轴向误差运动（同步）		<175纳米	< 100海里
径向误差运动（同步）		<450nm的	< 250海里
倾斜误差运动（同步）		<9.7微弧度（<2.0弧秒）	<3.4微弧度 (< 0.7弧秒)	<2.4微弧度（<0.5弧秒）	<2.4微弧度（<0.5弧秒）
轴向误差运动(异步)		<20纳米
径向误差运动（异步）		<20纳米
倾斜误差运动(异步)		<0.4微弧度（<0.08弧秒）	<0.3微弧度（<0.06弧秒）	<0.2微弧度（<0.04弧秒）	<0.2微弧度（<0.04弧秒）
运营压力^（5）		80psig的（5.5巴）+ 0psig下（0.0巴）/ - 10 PSIG（0.7巴）
空气消耗量^（6）		<56.6 SLPM（<2 SCFM）
惯性	卸载	3850公斤毫米²	13800公斤毫米²	39100年kg-mm²	102000年kg-mm²
总质量		4.8公斤	9.1公斤	15.6公斤	24.5公斤
材料		铝
完成		硬涂层（62级洛氏硬度）

选项	描述
e1	增量编码器，1 Vpp
e2	增量式编码器，TTL，X50插

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。

选项	描述
μ-TAS	集成—作为系统进行测试测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC	集成 - 测试的组件测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。