ABRT400空气轴承直接驱动旋转舞台
描述
设计特点
- 准确度：<0.6微弧度（<0.12弧秒）
- 最小增量步骤：0.035微弧度（0.007弧秒）
- 重复性：<0.4微弧度（<0.08弧秒）
- 轴向运动误差：<50纳米同步;<10纳米异步
- 径向误差运动：<75纳米同步;<10纳米异步
空气轴承旋转轴大师
该ABRT400是Aerotech的的心脏μARC角度和旋转装置校准系统。所述ABRT400是具有纳米级别的错误运动性能有很大的旋转空气支承轴。这种高精确度的空气支承主动轴是用钢建造的，以紧密地匹配μARC的周围花岗石结构的CTE。空气轴承配备有非影响旋转接头和滑环通过真空或空气和电气服务于待测设备。
的ABRT400可以用作在高准确性的角度标准测量机，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。
产品规格
旋转式空气轴承阶段比较
| 模型 | ABRT260 | ABRT400 | ABRT400 |
|---|---|---|---|
| 性能版 | 标准 | 标准 | 高精确度 |
| 准确性 | 19.4微弧度（4弧秒） | 9.7微弧度（2弧秒） | 0.6微弧度（0.12弧度秒） |
| 重复性 | <4.9微弧度（<1弧秒） | <4.9微弧度（<1弧秒） | 0.4微弧度（0.08弧度秒） |
| 轴向误差运动（同步） | <100nm的 | <100nm的 | <50纳米 |
| 径向误差运动（同步） | <150纳米 | <250nm的 | <75纳米 |
| 倾斜误差运动（同步） | <2.4微弧度（<0.5弧秒） | <2.4微弧度（<0.5弧秒） | <0.5微弧度（<0.1弧秒） |
| 轴向误差运动（异步） | <20纳米 | <20纳米 | <10纳米 |
| 径向误差运动（异步） | <20纳米 | <20纳米 | <10纳米 |
| 倾斜误差运动（异步） | 0.19微弧度（0.04弧度秒） | 0.19微弧度（0.04弧度秒） | 0.05微弧度（0.01弧度秒） |
| 负载量，轴向 | 69公斤 | 110公斤 | 200公斤 |
| 负载容量径向 | 10公斤 | 90公斤 | 50公斤 |
| 滑环 | 可选的 | 可选的 | 可选的 |