硅片夹

描述

设计特点

  • 固定卡盘200，300，和450毫米晶片，中间掩模和平板显示器
  • 饰面的各种包括硬涂层和无电镍
  • 10米微米的平坦度（基于标准的300毫米晶圆卡盘）
  • 定制设计可用

为了简化系统开发和降低成本，艾特航空制造和集成精度高，定制工程夹头。定制设计包括用于200个至300mm硅晶片卡盘，以及其他基材如标线片和平板显示器。Aerotech的行业领先的制造能力产生真空吸盘用10米微米的平坦度（基于标准的300毫米晶圆卡盘）。调平机构和晶片装载/卸载设备可以集成到设计中。此外，我们经验丰富的工程技术人员可与几乎任何机器人手臂配置设计的卡盘接口。对于快速发展和高精确度在降低系统成本，呼叫艾特航空为您定制的集成解决方案夹头。

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外形尺寸

订购信息

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