描述

设计特点

• 低姿态的空间意识应用
• 直接驱动，无刷，无槽伺服电机
• 直接耦合，高精度旋转编码器
• 25毫米孔径
• 可选真空旋转接头

Aerotech的WaferMaxT旋转台是用于需要在低高度封装高性能应用的理想选择。最初设计用于精确晶片检查的要求，WaferMaxT已应用于多种应用。标准25毫米孔允许容易地贯通的其中需要有限的旋转真空管线。如果连续旋转是必要的，可选的单或双端口旋转接头可以结合。桌面包括一个标准的安装图案，其允许容易晶片卡盘安装。

优越的机械设计

角接触轴承用于最大限度地提高性能方面的摆动，力矩刚度和旋转摩擦。一个厚壁，精密地面轴进一步减少摆动。

电缆管理是不可或缺的电机电源和反馈连接器轻而易举。因为WaferMaxT是一个自包含的单元，它可以被容易地集成到多级堆叠。可以提供一个高度可靠的解决方案要么一个服务环路或集成的Aerotech电缆管理系统（CMS）。

无刷直驱

为了最大化定位性能，WaferMaxT采用了Aerotech公司的s系列无刷无槽电机。该电机具有无刷直接驱动电机的所有优点-无刷磨损，无齿轮传动保持和高加速度和高速度。由于这是一个无槽，无铁的设计，有零齿槽，这意味着绝对没有扭矩波纹。这使得WaferMaxT理想的应用需要突出的轮廓运动，平滑的扫描速度或精确的增量步骤。低惯性和零反冲使晶圆片理想的解决方案，应用需要频繁的方向变化。

准确的定位

性能是保证与10,000行每转编码器，结果0.065弧秒的分辨率。还有一个2048行选项。电机和高性能旋转编码器直接耦合到一个共同的轴。

灵活的配置

Aerotech生产广泛的伺服放大器和先进的控制器，以提供一个完整的，集成的软件包。

规范

WaferMaxT规范

1. 可用Aerotech控制器。
2. 最大负载是相互排斥的。
3. 规格为单轴系统，测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。

维

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订购信息

WaferMaxT直接驱动旋转工作台，孔径25毫米

反馈

WaferMaxT选项

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望获得系统的定制集成支持，请咨询Aerotech。