描述

设计特点

• 低姿态的空间意识应用
• 非接触直接传动
• 高可重复性
• 积分气动平衡
• 易于配置与WaferMaxT多轴应用

WaferMaxZ代表了一个重要的突破，在一个紧凑的封装中实现了高精度组件的垂直对齐。其优越的非接触式直线电机驱动采用高精度编码器直接位置反馈。当与Aerotech的MXH乘法器相结合时，它除了提供高速和精度外，还提供亚纳米级的纳米分辨率。

优越的机械设计

轴承元件是交叉滚子风格，最大的平滑度和可靠性。这些安装在一个优化的基础和楔总成刚度和低质量/惯性，提高动态性能。

WaferMaxZ的所有关键元件都被选择在24/7的工业环境中工作，与螺旋或压电立式工作台不同，WaferMaxZ不需要维护，可以保证多年的无故障运行。

无刷直驱

为了最大化定位性能，WaferMaxZ采用了Aerotech公司的blmuco系列无刷无槽直线电机。该电机具有无刷直接驱动电机的所有优点——无刷磨损、无齿轮传动、高加速度和高速度。由于它是一个无槽，无铁的设计，有零齿槽，这意味着绝对没有扭矩波动。这使得WaferMaxZ理想的轮廓运动，平滑的扫描速度或精确的增量步骤。

准确的定位

性能保证与精度线性编码器，结果0.8纳米的分辨率。电机和高性能线性编码器直接耦合，以提高精度。

灵活的配置

Aerotech制造广泛的伺服放大器和先进的控制器，提供一个完整的，集成的软件包。

规范

WaferMaxZ规范

1. 需要Aerotech控制器。
2. 如果需要倒立操作，请咨询工厂。
3. 每一阶段认证。
4. 垂直或平行于楔形方向测量的。
5. 可能有更高的最大负载。详情请与工厂联系。
6. 规格是每轴测量25毫米以上的桌面上没有一个有效载荷。性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。

维

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订购信息

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。