AGV5D五轴激光微细加工岁差扫描仪

描述

设计特点

  • 非常适合与多种商用飞秒激光器的使用
  • 光学选择为了兼容1030纳米，1064纳米，515纳米，或532种纳米波长的
  • 水和空气冷却功能，以最大限度的稳定性和稳定的性能随着时间的推移
  • 产生精确的特征用最大的激光加工精度可供甚至包括功能比的视图扫描仪的领域大
  • 人性化功能简化集成到一台机器，系统或子系统
  • 辅助气体压力最高至200psig改善的高纵横比特征的处理
所述AGV5D五轴激光微加工的进动扫描器是用于生成精确的孔，槽的轮廓，并与完全定义的横截面的其它几何形状的最快，最灵活和严格的解决方案。它使您能够拍摄整个精密微细加工过程的控制，从激光，到扫描头，工件的定位。
主要应用
  • 医疗设备制造
    • 介入心血管植入物
    • 海波管
  • 微电子加工
    • 探针卡
    • 微孔
  • 汽车部件的制造
    • 喷油嘴
  • 激光微加工系统

束操纵自由和5度

Aerotech的AGV5D五轴激光微加工进动扫描器操纵在五个自由度（DOF）的激光束：
  • 的视场之内点放置（2- DOF）
  • 点聚焦深度（1-DOF）
  • 进动角度（2-DOF）
AGV5D产生极为精确的孔，槽和用户定义的几何形状，同时保持横截面的精确控制。

一个控制器，用于所有运动

通过与使用的Aerotech控制器运动的其它轴协调，AGV5D提供以产生功能比其视场更大，同时保持最高的加工质量的独特能力。不管运动平台是否由伺服电机或步进电机的阶段，压电纳米定位，或六足的，艾特是协调与其他运动轴的进动扫描器，从而产生最大的激光加工精度可能的唯一供应商。

基于G代码的编程接口使您能够采取控制和打造自己的轨迹的能力。可替代地，与特征参数和几何形状定义的函数可用于编程简单。用户可访问的诊断工具，加快工艺开发和优化。

简单灵活的集成

AGV5D是可用的最灵活的多轴激光微加工溶液。安装在壳体的前表面和后表面的接口，具有多向光束输入，输入光束的简化输送沿。在所述壳体的下侧附加运动学安装特征允许重复拆卸和AGV5D的重新安装，从而最小化用于将输入光束的重新对准的需要。可选光束对准模块提供一种简单的机制，通过该用户可以设置和调整输入光束对准和偏振。

AGV5D也提供了很大的灵活性，用户，很容易与不同范围的商用飞秒激光器的整合。这是通过可调节的软件参数成为可能，使用户以补偿激光特性如光束发散，直径和质量，这往往激光源之间变化。对于某些相对快速和简单的调整，用户可以设置AGV5D与激光是最适合他们的工艺要求，并能轻松更换一个激光器另一个。

优化工业用

像所有的艾特航空产品，AGV5D是专为在生产环境中的长期耐久性。水和空气冷却机制调节AGV5D内的温度梯度，从而减轻热漂移误差。外壳被密封，并且包括空气吹扫，以帮助保持光学部件无污染物，大大减少损坏的风险。

您的一站式精密运动控制合作伙伴亚博微信vip群

自1970年以来，世界各地的客户都通过过程的每一步依赖于Aerotech的信任支持：从系统的布局和设计，到外的现成的设置和支持，把你的程序在运动中，并保持其移动。

艾特航空是每一个运动挑战的唯一供应商提供解决方案。亚博登录平台从精密机械和机电一体化设备，对国家的最先进的振镜扫描仪和光处理技术，以精干的，用户友好的控制软件和硬件，您实现更高的精度和质量与艾特因为所有组件无缝集成，并通过一个控制器协调。
切割例子
堆叠鱼片 在320微米厚的氮化硅圆形，直壁的孔，直径100微米 在320微米厚的氮化硅圆形，直壁的孔，直径100微米 方形，直壁孔，100微米平方英寸320微米厚的氮化硅 直壁槽，在1mm厚的镍 - 钛合金250微米直径的 圆形的，直壁孔，在1mm厚的氮化硅250微米直径的 方形，直壁孔，250微米平方英寸1mm厚的不锈钢

产品规格

AGV5D规格

模型 AGV5D
光学规格
激光波长（1） 1030纳米，1064纳米
515纳米，532纳米
最大激光脉冲能量（2） 400μJ（λ= 1030纳米，1064纳米）
350μJ（λ= 515纳米，532纳米）
最小激光脉冲长度 250个FS（3）
平均功率 ≤100瓦
目的焦距 55毫米
最小聚焦光斑直径（4） 为15μm（λ= 1030纳米，1064纳米）
为7μm（λ= 515纳米，532纳米）
输入光束直径（1 / e的2） 2.3毫米推荐
2.8毫米最大（5）
偏振 圆形或线性（6）
机械规格
轴 5总：现货定位（X，Y）;聚焦（Z）;进动（A，B）
视场（7） Ø2毫米
ž对焦范围 2毫米（儿童）
4毫米（手动调整）
从喷嘴工作距离 截至4毫米（8）
最大岁差角（7） ±9°
（18°全锥角）
定位分辨率 40nm的（X，Y）
30纳米（Z）
0.004毫弧度（A，B）
重复定位精度 0.1微米（X，Y）
为0.1μm（Z）
0.15毫弧度（A，B）
孔径精度 <0.2微米
进频率（9） 高达800赫兹
最大对焦速度 130毫米/ s的
吹扫气（10） 氮，至多5 PSIG
工艺辅助气体 用户可选择的，最多至200psig
冷却 水冷式发动机和空气冷却的光学（11）
块 31公斤
电气规格
驱动系统 直接驱动无刷电机
反馈 非接触式光学编码器
最大总线电压 ±40伏直流电
限位开关 光限位开关和软件极限值
首页开关 在中心

笔记：
1.对于其它波长咨询工厂。
2.有效为2毫米（1 / E2）和较大的输入光束的直径。接触工厂如果输入光束直径小于2毫米。
3.为了避免损坏光学，最小激光脉冲长度不应小于250个飞秒。为了获得最佳聚焦点的质量，建议400个fs的最小脉冲长度。
4.直径被表示为1 / e2和假定M2 = 1.2的输入端的光束质量。示值假设2.3毫米（1 / e的2）输入光束直径。
5.入口光束直径超过最大值可导致的视图和/或最大旋进角领域的降低。
6.要求-AM2对准模块的选项，或可选地，外部客户提供的偏振光学器件。
7.最大行进列出了指定的输入光束的直径和是互斥的。工厂能提供详细的工作容积大小。
8.工作距离从喷嘴将限制最大进动角度大于3.25毫米。
9.进动频率是取决于入射角和特征直径的角度。
10.如果使用氮，它必须是纯度为99.99％，并过滤到0.25微米。如果使用压缩空气，必须将其过滤，以0.25微米，干燥至0°F露点和无油。
11.水和空气冷却的输入位于所有AGV5D模型标准。推荐使用的这些冷却功能，但不是在所有用例严格要求。

外形尺寸

订购信息

AGV5D激光扫描头

波长（必填）

选项 描述
-W004 1064纳米
-W005 1030纳米
-W006 532纳米
-W007 515纳米

联系工厂额外的谱线

辐射入口（必填）

选项 描述
-BE1 右侧激光束进入
-BE2 左侧的激光束入口

对准模块（可选）

选项 描述
-AM1 具有可调节转向反射镜机构，用于输入光束对准光束对准模块
-AM2 具有可调节转向反射镜机构，用于输入光束对准，和半波和四分之一波片偏振调整光束对准模块。

集成（必需）

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。

选项 描述
μ-TAS 集成 - 测试的系统
测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。