平面两轴，机械轴承，直线直接驱动级
描述
设计特点
- 集成，低姿态，XY，直线电机级
- 优秀的几何性能(±0.4µm平直度;平面度±1µm)
- 防蠕变，精密交叉滚子轴承
- 大的选择 - 九种型号在旅游和准确性
Aerotech的平面DL-系列级提供了卓越的几何和动态性能在一个紧凑，低调的包。各种行程和性能选项使这一阶段的理想应用从表面轮廓测量到LED晶圆片划片。
高级舞台设计
平达DLXY设计允许在平直度和运动的平坦度是关键的应用行业领先的平面几何性能。高精度防蠕动交叉滚子轴承，精密机械加工的表面和艾特线性电动机通过中心刚度-轴结果与特殊的几何公差的定位台驱动。
平达DL结构元件被用于高动态和高刚性为最苛刻的动态应用进行了优化。能够实现1m / s的速度和1.5g的加速度，所述平面的DL能够导致优越加工产量和所有权的总成本低的高通量，高准确度的处理。与使用再循环轴承竞争力的产品，在该设计中使用的抗蠕变交叉滚子轴承允许平滑运动制造用于具有挑战性的扫描应用程序这是一个理想的解决方案阶段。
非接触直接驱动技术
只有非接触式，直接驱动技术，提供高速和准确的定位与免维护操作和长使用寿命。在平面的中心DL是艾特航空专有的直接驱动技术。该驱动技术允许无与伦比的性能相比其他竞争螺杆型和线性马达设计。
平达DL-200XY和-300XY阶段都可用每轴线的一个或两个电动机，从而允许特定的应用程序和进程每个单独的轴的优化。无论选择马达的数量的，所产生的驱动力作用，通过摩擦和刚度导致优越几何性能和精度的中心。
集成线缆管理
在平面的电缆管理系统DL被集成到舞台并延长使用寿命和性能进行了优化。附加标准选项可用于额外伺服轴或空气/真空线真空吸盘或其他过程气动。
至尊定位性能
平达DL有三种定位性能选项。在系统级设计不仅包括机械定位在几十年的经验为依托，也是软件和电子，艾特公司开发的先进技术，推动精密的信封。高性能-PLUS和 - 超选项可用来使精度和直线度值下降到±400 nm和正交下降到1弧秒。
产品规格
机械规范
| 平面DL-100年xy | 平面DL-200年xy | 平面DL-300XY | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 性能等级 | -PL1 | -PL3（1） | -PL4（1） | -PL1 | -PL3（1） | -PL4（1） | -PL1 | -PL3（1） | -PL4（1） | |
| 旅行 | 100毫米×100毫米 | 200毫米×200mm的 | 300毫米x300毫米 | |||||||
| 精度 | ±3 微米 |
±0.4 微米 |
±0.4 微米 |
±4 微米 |
±0.5 微米 |
±0.5 微米 |
±5 微米 |
±0.75 微米 |
±0.75 微米 |
|
| 双向重复性（2） | ±0.1μm的 | |||||||||
| 决议 （最小增量运动） |
3纳米 | |||||||||
| 直线 | ±1µm | ±0.4µm | ±1.5微米 | ±0.5微米 | ±2微米 | ±0.75微米 | ||||
| 平面度 | ±1µm | ±1.5微米 | ±2微米 | |||||||
| 球场 | 12弧秒 | 15弧秒 | 18弧秒 | |||||||
| 滚 | 12弧秒 | 15弧秒 | 18弧秒 | |||||||
| 偏航 | 6弧秒 | 8弧秒 | 10弧秒 | |||||||
| 正交 | 20弧秒 | 5弧秒 | 1个弧秒 | 20弧秒 | 5弧秒 | 1个弧秒 | 20弧秒 | 5弧秒 | 1个弧秒 | |
| 最大速度 | 500毫米/ s的 | 750毫米/ s的 | 千毫米/ s的 | |||||||
| 最大加速度 (无载;上轴) |
1.5 g(空载) | 将1.0克（X1马达） 1.5 g (x2电机) |
将1.0克（X1马达） 1.5 g (x2电机) |
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| 最大力量(连续) | 26 N | 31 N (x1电机) 62 N（X2马达） |
78 N (x1电机) 156 N（X2马达） |
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| 装载能力（3） | 水平 | 15公斤 | 20公斤 | 30公斤 | ||||||
| 移动质量 | 上轴 | 2.9公斤 | 6.3公斤（-M1或-M3马达） 7.4公斤（-M2或-M4马达） |
16.3 kg (-M1或-M3电动机) 19.1 kg (-M2或-M4电机) |
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| 较低的轴 | 8.4公斤 | 16.8 kg (-M1电机) 17.8公斤（-M2或-M3马达） 19.0 kg (-M4电机) |
45.0公斤（-M1马达） 48.1公斤（-M2或-M3马达） 50.9 kg (-M4电机) |
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| 阶段质量（4） | 11公斤 | 23-25公斤 | 53-63公斤 | |||||||
| 材料 | 黑色阳极氧化铝 | |||||||||
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | |||||||||
- -PL3和-PL4选项需要使用Aerotech控制器。
- 可重复性规范假设反馈分辨率为20nm或更低。
- 在轴线的载荷进行定向上市。
- 级质量是马达结构的函数。
- 规格-PL1和-PL3的选择是每个轴测量25毫米以上的桌面。-PL4的规格是XY测量在桌面上方25毫米。
电气规格
| 平面DL-100年xy | 平面DL-200年xy | 平面DL-300XY | |
|---|---|---|---|
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电机 | ||
| 反馈 | 非接触线性编码器 | ||
| 最大总线电压 | 340 VDC | ||
| 限位开关 | 5 V，常闭 | ||
| 家里的开关 | XY移动的中心附近 | ||
推荐控制器
| 多轴 | A3200 | NDRIVE CP Ndrive对待/HPE Npaq |
| 系综 | 合奏CP 乐团HLE/HPE |
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| 单轴 | 独奏者 | 独奏者CP 独奏者对待/HPE |
-
PlanarDL负荷曲线 
外形尺寸
订购信息
平面DL二轴机械轴承直接驱动线性级
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 平面DL-100年xy | 两轴机械轴承的直接驱动线性阶段，100×100毫米行程 |
| 平面DL-200年xy | 两轴机械轴承的直接驱动线性阶段，200×200mm的行程 |
| 平面DL-300XY | 两轴机械轴承的直接驱动线性阶段，300×300毫米行程 |
电机(要求)-平面不适用DL-100年xy
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -M1 | 1上轴电机;电机位于下轴 |
| -M2 | 上轴2台电机;电机位于下轴 |
| -M3 | 1上轴电机;下轴有两个电机 |
| -M4 | 上轴2台电机;下轴有两个电机 |
反馈（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| e1 | 增量编码器，1 VPP上上部和下部轴 |
| e2 | 增量式编码器,0.1µm数字RS422上层轴,1 Vpp低轴 |
| e3 | 增量式编码器,1 Vpp上层轴,0.1µm数字RS422低轴 |
| e4 | 增量式编码器,0.1µm数字RS422上下轴 |
电缆管理（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMS1 | 电缆管理用于空气/真空线 |
| -CMS2 | 电缆管理用于空气/真空管线和第三轴电动机/反馈 |
性能等级(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL1 | 基本性能 |
| -PL3 | 高精度的性能,再加上 |
| -PL4 | 超高精度2D性能 |
-
注:-PL3和-PL4性能等级需要Aerotech控制器。
集成（必需）
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望获得系统的定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| μ-TAS | 集成测试系统 将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |