ABL3600空气轴承直接驱动开架直线工作台
描述
设计特点
- 大光圈
- 所有轴上的全预载
- 双线性电机驱动的X轴和Y轴
- 高精度非接触式线性编码器
ABL3600双轴、大口径、开架、空气承载台，满足了扫描显微镜、掩模和晶片检测的独特需求。
设计和施工
高刚度空气轴承和双线性电机驱动轴的组合提供了一个性能卓越的XY开框架级。ABL3600代表了在传统机械轴承开架阶段性能的主要升级。
与所有的Aerotech空气轴承系统一样，专有的制造技术用于生产具有无与伦比的几何特性的级，包括直线度、平整度、节距、滚度和偏航。ABL3600是在Aerotech公司最先进的生产设备中制造的，具有传统方法无法达到的严格公差。
无刷线性伺服电动机
所述ABL3600采用了高功率线性马达，以满足最苛刻的应用的需要。这导致了一个阶段，所有的直接驱动机制的优势：零间隙，不饱和，卓越的加速度，零摩擦和杰出的伺服刚度。许多应用要求只能与一个线性电动机驱动来满足运动的极端稳定性。由于传动系具有零摩擦，没有再循环的元素，所述ABL3600是理想的扫描，成像或任何其他应用程序的精度。
高精度线性编码器反馈
标准的反馈装置是一个高分辨率，非接触式，线性编码器。这种非接触式编码器提供了特殊的重复性和稳定的一系列工作条件。数字和模拟输出版本都是可用的。
电缆管理
多年的研究已经形成了业界公认的最好的电缆管理系统(CMS)。我们精心优化电缆弯曲半径，只使用最高质量的电缆，确保多年无故障运行。在不太可能发生的故障情况下，Aerotech的模块化设计使电缆更换快速简单，停机时间最少。为了便于集成到最终系统中，我们在CMS包中包括了所有客户所需的电缆、空气软管等。两端完全连接，以便简单地集成到客户的机器中。
自定义设计
Aerotech已经设计和制造了定制的高性能系统，以满足客户的需求和各种应用程序的规格。我们可以借鉴超过35年的运动控制和定位系统的经验，为您的应用提供亚博微信vip群理想的解决方案。
规范
ABL3600规范
| 基本模型 | ABL36025 | |
|---|---|---|
| 旅行 | 250毫米x250毫米 | |
| 驱动系统 | 线性无刷伺服电机(下轴:BLM-142-A;顶部轴:blm - 142 a) | |
| 总线电压 | 高达160伏直流电 | |
| 连续电流(桥式和龙门式) | 一个PK | 直到3.10 A |
| 一个rms | 直到2.19 A | |
| 反馈 | 非接触式线性编码器 | |
| 决议 | 0.001µm - 0.2µm | |
| 最大的旅行速度(1) | 200毫米/秒 | |
| 最大线加速度 | 0.25 g(空载) | |
| 最大负载(2) | 横 | 30.0公斤 |
| 准确性(3) | LN | ±1µm |
| 可重复性(3) | ±0.2µm | |
| 平直度 | 最大偏差 | ±0.5µm |
| 平面度 | 最大偏差 | ±1µm |
| 沥青/转 | 3弧秒 | |
| 偏航 | 0.5弧秒 | |
| 标称阶段重量（包括整体花岗岩底座） | 1105公斤 | |
| 移动质量 | 上轴 | 37.3公斤 |
| 下轴 | 96.5公斤 | |
| 正交性 | 5弧秒 | |
| 操作压力(4) | 60 psi (+0， -5 psi) | |
| 空气消耗量(5) | 66 SLPM (2.3 SCFM) | |
| 材料 | 铝 | |
| 完 | 硬涂层(62洛氏硬度) | |
- 基于阶段能力最大速度;最大应用速度可由系统的数据速率和系统分辨率的限制。
- 基于承载能力的最大负荷;最大的应用程序负载可能会受到加速度要求的限制。
- 可与航空技术控制器和HALAR校准选项。
- 为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。亚博微信vip群
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
- 需要真空预加载。
- 规格为单轴系统，测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。