PlanarDLA两轴机械，轴承直接驱动阶段，光圈
描述
设计特点
- 集成，低轮廓，XY，直线电机阶段与明确的孔径
- 优良的几何性能（直行到±0.5μm时，平坦度为±1.25微米）
- 为高动态应用程序优化
- 速度2米/秒和加速度至2g
- 电缆综合管理
- 大的选择 - 九种型号在旅游和准确性
艾特航空的平面国防后勤局- 系列阶段提供了一个清晰的孔径，高动态，并且在一个紧凑的，薄型封装特殊几何性能。这些阶段是应用范围从基本双面需要高动力学和微米级的直线LED晶片处理，以准静态光学计量，其中高精确度和精确的几何性能是必要的。无论应用，平面的国防后勤局被设计成满足各种应用的需要与可配置选项的阵列。
极其精确的舞台设计
的平面国防后勤局XY设计提供无与伦比的平面几何性能的应用中，直线度和平直度的运动是至关重要的。高精度滚子轴承、精加工的表面和非接触通过轴直接传动线性马达驱动的center-of-stiffness导致定位阶段特殊几何公差(±0.5µm平直度和平整度±1.25µm)。
的平面国防后勤局结构的元件是为了高动态和为最苛刻的动态应用高刚度最优化。通过这种优化设计，平面国防后勤局实现高伺服带宽的同时，最大限度地提高光圈可用性，并保持整体高度最低。能够达到2米/秒速度和2克加速度，平面国防后勤局能够导致优越工艺产量高通量，高准确度的处理，和所有权的总成本低。
非接触直接传动技术
只有非接触式，直驱技术提供高速，再加上免维护，使用寿命长准确定位。在平面的心脏国防后勤局是Aerotech专有的直接驱动技术。这种驱动技术允许无与伦比的性能相比，其他竞争的螺旋和直线电机设计。
所有的平面国防后勤局每个轴都有一个或两个电机，可以根据特定的应用和工艺对每个轴进行优化。有了两个电机，产生的驱动力通过摩擦和刚度的中心作用，导致优越的几何性能和精度，而一个电机每轴提供了一个更经济的选择，如果不需要高吞吐量和最严格的定位性能。
多种电缆管理选择
平面上的标准电缆管理系统国防后勤局被集成到舞台并延长使用寿命和性能进行了优化。几种标准的选项可用于附加的伺服轴，空气/真空线真空吸盘或其他过程气动。
极端的定位性能
的平面国防后勤局有三种定位性能选项。在系统级设计不仅包括机械定位在几十年的经验为依托，也是软件和电子，艾特公司开发的先进技术，推动精密的信封。高性能-PLUS和 - 超选项可用来使精度和直线度值下降到±500 nm和正交至5微弧度。
规范
机械规格
| 平面国防后勤局-150XY | 平面国防后勤局-250XY | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| pl1 | -PL3（1,2） | -PL4（1,2） | pl1 | -PL3（1,2） | -PL4（1,2） | |||
| 旅行 | 150毫米×150毫米 | 250毫米x250毫米 | ||||||
| 准确性(2) | 单电机 | ±5.0µm | ±0.7µm | ±0.7µm | ±6.0µm | ±0.8微米 | ±0.8微米 | |
| 双电机 | ±4.0μm的 | ±0.4微米 | ±0.4微米 | ±5.0µm | ±0.5µm | ±0.5µm | ||
| 双向可重复性 | 单电机 | ±0.5µm | ±0.5µm | |||||
| 双电机 | ±0.25微米 | ±0.25微米 | ||||||
| 分辨率(最小增量运动)(3) | 3.0纳米 | 3.0纳米 | ||||||
| 平直度 | 上轴 | -M1或-M3电机 | ±1.5µm | ±1.5µm | ±0.7µm | ±2.0微米 | ±2.0微米 | ±0.7µm |
| -M2或-M4电机 | ±1.0µm | ±1.0µm | ±0.5µm | ±1.5µm | ±1.5µm | ±0.5µm | ||
| 下轴 | -M1或-M2电机 | ±2.5微米 | ±2.5微米 | ±0.7µm | ±3.25微米 | ±3.25微米 | ±0.7µm | |
| -M3或-M4电机 | ±2.0微米 | ±2.0微米 | ±0.5µm | ±2.75微米 | ±2.75微米 | ±0.5µm | ||
| 平整度 | ±1.25微米 | ±1.75微米 | ||||||
| 沥青 | 39µrad(8弧秒) | 58微弧度（12弧秒） | ||||||
| 卷 | 39µrad(8弧秒) | 58微弧度（12弧秒） | ||||||
| 偏航 | 单电机 | 39µrad(8弧秒) | 49微弧度（10弧秒） | |||||
| 双电机 | 29微弧度（6弧秒） | 39µrad(8弧秒) | ||||||
| 正交性 | 97年µrad (20秒弧) |
24微弧度 （5弧秒） |
5µrad (1角秒) |
97年µrad (20秒弧) |
24微弧度 （5弧秒） |
5µrad (1角秒) |
||
| 最高速度(4) | 1.5米/ s的 | 2.0米/秒 | ||||||
| 最大加速度 (无载Upper-Axis)(4) |
1.0 g (-M1或-M3电动机) 2.0 g (-M2或-M4电机) |
1.0 g (-M1或-M3电动机) 2.0 g (-M2或-M4电机) |
||||||
| 最大压力-连续，1.4 bar (20 psi)空气冷却 | 上轴 | 47n (-M1或-M3电动机) 94 N (-M2或-M4电机) |
120 N（-M1或-M3马达） 240n (-M2或-M4电机) |
|||||
| 下轴 | 120 N（-M1或-M2马达） 240n (-M3或-M4电机) |
250n (-M1或-M2电动机) 500 N（-M3或-M4马达） |
||||||
| 负载能力(5) | 横 | 20公斤 | 30公斤 | |||||
| 移动质量 | 上轴 | 4.3公斤（-M1或-M3马达） 4.5公斤（-M2或-M4马达） |
6.9公斤（-M1或-M3马达） 7.2 kg (-M2或-M4电机) |
|||||
| 下轴 | 18.1公斤（-M1马达） 20.0 kg (-M2电机) 18.5 kg (-M3电机) 20.6 kg (-M4电机) |
33.7公斤（-M1马达） 38.1公斤（-M2马达） 34.6 kg (-M3电机) 39.0公斤（-M4马达） |
||||||
| 级质谱(6) | 30公斤-36公斤 | 60 kg - 67公斤 | ||||||
| 材料 | 黑色阳极电镀铝 | |||||||
| MTBF（平均故障间隔时间） | 30000小时 | |||||||
- 该-PL3和-PL4选项需要使用艾特航空控制器。
- 为-PL1和-PL3选项规格是每轴线测量25毫米桌面的上方。对于-PL4规格XY测量25毫米桌面的上方。
- 双电机专用。联系工厂安排单台电机。
- 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
- 轴上加载的方向列出。
- 级质谱是电机配置的函数。
| 平面国防后勤局-330XY | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| pl1 | -PL3（1,2） | -PL4（1,2） | |||
| 旅行 | 330毫米x330毫米 | ||||
| 准确性(2) | 单电机 | ±8µm | ±1微米 | ±1微米 | |
| 双电机 | ±6μm的 | ±0.7µm | ±0.7µm | ||
| 双向可重复性 | 单电机 | ±0.5µm | |||
| 双电机 | ±0.25微米 | ||||
| 分辨率(最小增量运动)(3) | 3海里 | ||||
| 平直度 | 上轴 | -M1或-M3电机 | ±2.5微米 | ±2.5微米 | ±0.8微米 |
| -M2或-M4电机 | ±2.0微米 | ±2.0微米 | ±0.6µm | ||
| 下轴 | -M1或-M2电机 | ±4.0μm的 | ±4.0μm的 | ±0.8微米 | |
| -M3或-M4电机 | ±3.5µm | ±3.5µm | ±0.6µm | ||
| 平整度 | ±2.5微米 | ||||
| 沥青 | 68年µrad(弧秒14日) | ||||
| 卷 | 68年µrad(弧秒14日) | ||||
| 偏航 | 单电机 | 58微弧度（12弧秒） | |||
| 双电机 | 49微弧度（10弧秒） | ||||
| 正交性 | 97年µrad (20秒弧) |
24微弧度 （5弧秒） |
5µrad (1角秒) |
||
| 最高速度(4) | 2.0米/秒 | ||||
| 最大加速度（空载，上轴）(4) | 1.0 g (-M1或-M3电动机) 2.0 g (-M2或-M4电机) |
||||
| 最大压力-连续，1.4 bar (20 psi)空气冷却 | 上轴 | 173 N (-M1或-M3电动机) 346 N (-M2或-M4电机) |
|||
| 下轴 | 302 N (-M1或-M2电动机) 604n (-M3或-M4电机) |
||||
| 负载能力(5) | 横 | 50公斤 | |||
| 移动质量 | 上轴 | 13.4 kg (-M1或-M3电动机) 14.0 kg (-M2或-M4电机) |
|||
| 下轴 | 57.0公斤（-M1马达） 65.3 kg (-M2电机) 58.1 kg (-M3电机) 66.5 kg (-M4电机) |
||||
| 级质谱(6) | 93公斤- 109公斤 | ||||
| 材料 | 黑色阳极电镀铝 | ||||
| MTBF（平均故障间隔时间） | 30000小时 | ||||
- 该-PL3和-PL4选项需要使用艾特航空控制器。
- 为-PL1和-PL3选项规格是每轴线测量25毫米桌面的上方。对于-PL4规格XY测量25毫米桌面的上方。
- 双电机专用。联系工厂安排单台电机。
- 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
- 轴上加载的方向列出。
- 级质谱是电机配置的函数。
电气规格
| 平面国防后勤局 | |
|---|---|
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
| 反馈 | 非接触式线性编码器 |
| 最大总线电压 | 340 VDC |
| 限位开关 | 5 V,穆 |
| 首页开关 | 近中心XY旅行 |
推荐的控制器
| PlanarDLA | ||
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | Ndrive CP NDRIVE HLE/Ndrive HPe Npaq |
| 合奏 | 乐团CP 整体对待/合奏HPe |
-
PlanarDLA地块 
维
订购信息
平面国防后勤局二轴机械轴承直驱带孔工作台
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 平面国防后勤局-150XY | 线性马达XY工作台瓦特/清除孔;150毫米×150毫米行程 |
| 平面国防后勤局-250XY | 线性马达XY工作台瓦特/清除孔;250毫米×250毫米行程 |
| 平面国防后勤局-330XY | 线性马达XY工作台瓦特/清除孔;330毫米X 330毫米行程 |
电机（必需）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| m1 | 1个电机下部轴，1个电机上上轴 |
| 平方米 | 1个电机在下轴，2个电机在上轴 |
| m3 | 2个电机上下轴，1个电机上上轴 |
| m4 | 2个电机在下轴，2个电机在上轴 |
反馈(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -E1 | 增量编码器，1 Vpp上下轴 |
| -E2 | 增量编码器，0.1微米TTL在上轴，1 VPP上下轴 |
| -E3 | 增量编码器，1 VPP在上轴，0.1微米TTL上下轴 |
| -E4 | 增量编码器，0.1微米TTL上上部和下部轴 |
电缆管理(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMS1 | 用于空气/真空管道的电缆管理 |
| -CMS2 | 用于空气/真空管路和三轴电机/反馈的电缆管理 |
性能等级（必填）*
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| pl1 | 基本性能 |
| -PL3 | 高精度性能，PLUS |
| -PL4 | 超高精度的2D性能，超 |
-
*注:-PL3和-PL4性能等级需要Aerotech控制器。
集成(必需)
| 以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。 | |
| 助教 | 集成 - 测试的系统 测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。 |