ATX115SL/SLE机械轴承,螺旋驱动线性级
描述
设计特点
- 行程长度可达150毫米防蠕变交叉滚子轴承
- 可选中心安装线性编码器直接位置反馈
- 通用的功能和选项使方便地集成到更大的机器或使用作为一个独立的定位轴
- 真空和洁净室兼容的版本
- 可与ThermoComp®在不断变化的环境中可靠的性能
卓越的运动性能
设有防蠕动交叉滚子轴承和一个精密研磨,细间距滚珠丝杠,所述ATX115SL / SLE拥有优良的几何性能和最小角度误差的运动。与最多至150mm标称行程中,ATX115SL / SLE提供优越的最小递增步长和定位稳定性相比,利用循环球轴承其他阶段。这使得ATX115SL / SLE适合于许多高精度的任务,如传感器和照相机,光学聚焦的垂直定位,并且束线测量和操纵的应用程序。线性编码器选项
ATX115SLE提供了一个集成的中心安装的线性编码器,以提供直接的位置测量在阶段的移动车厢。当使用线性编码器作为位置反馈装置时,通常与螺杆传动有关的齿隙的典型效应实际上被消除了。要求严格的工作点性能的应用程序大大受益于ATX115SLE的直接线性编码器。可选择增量(1 Vpp和数字TTL)或绝对输出信号。设计和集成的灵活性
所述ATX115SL / SLE被设计为具有各种标准的功能和可用的选项,允许其被容易地集成到一个更大的子系统或机,或用作独立的定位轴。它安装到两个公制和英制光学平台,并设有在移动台车到其它定位阶段或设备可安装在通用的客户安装接口。无刷无槽伺服电机,具有或不具有保持制动,以及步进马达,是可用的选项。所述ATX115SL / SLE可以以减少的阶段的总长度被配备有可选马达折返套件。这是在垂直轴应用中的空间是有限的特别有用的。真空成型和洁净室兼容型号也可提供。与ThermoComp®减少温度误差
在精密机械中,温度变化和热效应往往是最有害的误差来源,而螺杆传动尤其容易受到影响。所有atx系列级均可使用Aerotech公司的ThermoComp®特性,这是一种集成的温度补偿解决方案,在存在热扰动的情况下提供准确和可靠的定位性能。它保护舞台免受变温环境和摩擦引起的自热的影响,最终为用户的过程提供稳定性,即使在极端的工业环境中。产品规格
ATX115SL /系统性红斑狼疮规范
机械规格 | ATX115SL / ATX115SLE | |||||
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旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 150毫米 | |||
精度(1) | SL | 未校准 | ±6µm | ±6µm | ±7微米 | |
校准(2) | ±0.75微米 | ±1微米 | ±1微米 | |||
SLE | 未校准 | ±2微米 | ±3微米 | ±4微米 | ||
校准(2) | ±0.5微米 | ±0.6微米 | ±0.6微米 | |||
分辨率(最小增量运动) | SL | 0.05µm(3) |
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SLE | 0.025微米(-E1反馈选项)(6) 为0.1μm(-E2反馈选项) 0.2µm (e3反馈选项) |
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双向重复性(1) | SL | ±0.5微米 | ||||
SLE | ±0.15µm | ±0.2微米 | ±0.2微米 | |||
水平直线度(1) | ±1.25µm | ±1.5微米 | ±1.75µm | |||
垂直直线(1) | ±1.25µm | ±1.5微米 | ±1.75µm | |||
球场 | 60微弧度(12弧秒) | 70年µrad (arc-sec 14日) | 80年µrad (16 arc-sec) | |||
偏航 | 40µrad (8 arc-sec) | 50µrad (10 arc-sec) | 60微弧度(12弧秒) | |||
最大速度(5) | 2.0毫米/转滚珠丝杠 | 直流电动机(-M1, -M2) | 100毫米/秒 | 100毫米/秒 | 100毫米/秒 | |
直流电机(-M3, -M4) | 220毫米/ s的 | 220毫米/ s的 | 220毫米/ s的 | |||
步进电机(m5) | 60毫米/ s的 | 60毫米/ s的 | 60毫米/ s的 | |||
装载能力 | 水平 | 14公斤 | ||||
一边 | 10公斤 | |||||
纵向(轴向) | 7公斤 | |||||
移动质量 | 0.8公斤 | 1.0公斤 | 1.3公斤 | |||
级质谱 | 3.2公斤 | 3.8公斤 | 4.5公斤 | |||
材料 | 阳极氧化铝 |
- 每个阶段的认证。
- 可与航空技术控制器。
- 实现与Aerotech旋转电机放大正弦编码器。规范是单向的。
- 实现与Aerotech旋转电机与10,000线/转速数字编码器。规范是单向的。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
- 需要电机与1 Vpp放大正弦编码器(-M3, -M4电机选项)和线性放大器。
- 上市规格适用于非折返套件可供选择。当折返套件选件(-FBx)订购请联系工厂规范。
电气规格 | ATX115SL / ATX115SLE |
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驱动系统 | 无刷旋转型伺服电动机(-M1通过-M4) 步进电机(m5) |
反馈(线性编码器 - SLE版本) | 增量:1 Vpp (e1反馈选项)或0.05μm TTL (e2反馈选项) 绝对:2.2的EnDat(-E3反馈选项) |
反馈(旋转编码器) | 增量:10,000线TTL(-M1,-M2电机选项) |
最大总线电压 | 48 VDC |
限位开关 | 5 V,常闭 |
外形尺寸
订购信息
ATX115SL / SLE系列机械轴承,丝杠驱动的直线运动平台
直接线性反馈(必填)
选项 | 描述 |
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SL | 无直接线性反馈 |
SLE-E1 | 增量线性编码器,1 Vpp |
SLE-E2 | 增量线性编码器,0.05µm数字TTL输出 |
SLE-E3 | 绝对线性编码器 |
旅游(必填)
选项 | 描述 |
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-050年 | 50 mm旅行 |
-100 | 100毫米的旅行 |
-150年 | 150毫米行程 |
电动机(必需)
选项 | 描述 |
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-M1 | 带有10000线TTL编码器的直流伺服电机 |
-M2 | 带有10000线TTL编码器和制动器的直流伺服电机 |
-M3 | DC伺服电动机以1000行的1 VPP编码器 |
-M4 | 直流伺服马达与1000线1 Vpp编码器和制动器 |
-M5 | 步进电机 |
返送设备(可选)
选项 | 描述 |
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-FB1 | ATX115电机的折叠式组件 |
ThermoComp(可选)
选项 | 描述 |
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tcmp | 型Thermocomp集成热补偿 |
计量(必需)
选项 | 描述 |
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-PL1 | 计量学,未用性能图校准 |
-PL2 | 使用性能图进行计量、校准(HALAR) |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望获得系统的定制集成支持,请咨询Aerotech。
选项 | 描述 |
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μ-TAS | 集成测试系统 测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。 |
-TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |
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注:HDZ托架需要桌面时,安装到专业阶段。