描述
设计特点
- 行程长度可达250毫米防滑交叉滚子轴承
- 可选中心安装线性编码器直接位置反馈
- 多用途的功能和选项，使方便地集成到一个更大的机器或使用作为一个独立的定位轴
- 真空和洁净室兼容的版本
- 可与ThermoComp®在不断变化的环境中可靠的性能
Aerotech的ATX165SL和ATX165SLE线性定位级结合了高精度交叉滚动轴承定位器的性能和滚珠丝杆驱动机构的方便和简单。杰出的运动性能和各种先进的选项和功能提供了卓越的价值，使ATX165SL/SLE在高性能应用中是一个优秀的选择。
卓越的运动性能
ATX165SL/SLE具有抗蠕变交叉滚子轴承和精确接地、细节距滚珠丝杆，具有优异的几何性能和最小的角误差运动。ATX165SL/SLE的公称行程可达250毫米，与使用循环球轴承的其他阶段相比，它提供了更好的最小增量步长和位置稳定性。这使得ATX165SL/SLE成为许多高精度任务的理想选择，例如传感器和相机的垂直定位，光学聚焦，以及波束测量和操作应用。
线性编码器的选择
ATX165SLE提供了一个集成的中心安装的线性编码器，在舞台的移动车厢提供直接的位置测量。当使用线性编码器作为位置反馈装置时，通常与螺杆传动有关的齿隙的典型效应实际上被消除了。需要精确的工作点性能的应用程序从ATX165SL的直接线性编码器中获益良多。可选择增量(1 Vpp和数字TTL)或绝对输出信号。
设计和集成灵活性
ATX165SL/SLE被设计成各种标准特性和可用选项，允许它很容易地集成到一个更大的子系统或机器中，或作为一个独立的定位轴。它可以安装到米制和英制光学表，并具有一个通用的客户安装界面，在移动的车厢，其他定位阶段或设备可以安装。无刷，无槽伺服电机，有或没有保持制动，以及步进电机，都是可用的选项。ATX165SL/SLE可以配备一个可选的马达折叠式组件，以减少整个工作台的长度。这在空间有限的垂直轴应用程序中特别有用。真空和洁净室兼容的变种也可提供。
使用ThermoComp减轻热误差®
在精密机械中，温度变化和热效应往往是最有害的误差来源，而螺杆传动尤其容易受到影响。所有atx系列级均可使用Aerotech公司的ThermoComp®特性，这是一种集成的温度补偿解决方案，在存在热扰动的情况下提供准确和可靠的定位性能。它保护舞台免受变温环境和摩擦引起的自热的影响，最终为用户的过程提供稳定性，即使在极端的工业环境中。
规范
ATX165SL /系统性红斑狼疮规范
| 机械规范 |
ATX165SL / ATX165SLE |
| 旅行 |
150毫米 |
200毫米 |
250毫米 |
| 精度(1) |
SL |
未校准 |
±8µm |
±8µm |
±9µm |
| 校准(2) |
±1µm |
±1µm |
±1µm |
| 系统性红斑狼疮 |
未校准 |
±4µm |
±5µm |
±6µm |
| 校准(2) |
±0.4µm |
±0.5µm |
±0.5µm |
| 分辨率(最小增量运动) |
SL |
0.05µm(3)
0.1µm(4) |
| 系统性红斑狼疮 |
0.025µm (e1反馈选项)(6)
0.1µm (e2反馈选项)
0.2µm (e3反馈选项) |
| 双向可重复性(1) |
SL |
±0.5µm |
| 系统性红斑狼疮 |
±0.15µm |
±0.2µm |
±0.25µm |
| 水平直线度(1) |
±1.75µm |
±2.0µm |
±2.25µm |
| 垂直直线度(1) |
±1.75µm |
±2.0µm |
±2.25µm |
| 球场 |
80年µrad (16 arc-sec) |
85年µrad (arc-sec 17日) |
90年µrad (18 arc-sec) |
| 偏航 |
80年µrad (16 arc-sec) |
85年µrad (arc-sec 17日) |
90年µrad (18 arc-sec) |
| 最大速度(5) |
伺服电机(-M1， -M2， -M5， -M6) |
100毫米/秒 |
| 伺服电机(-M3， -M4， -M7， -M8) |
130毫米/秒 |
| 步进电机(m9) |
25毫米/秒 |
| 负载能力 |
水平 |
40公斤 |
| 一边 |
25公斤 |
| 纵向(轴向) |
20公斤 |
| 移动质量 |
3.4公斤 |
3.8公斤 |
4.1公斤 |
| 级质量(无电机) |
12.3公斤 |
13.7公斤 |
15.0公斤 |
| 材料 |
阳极电镀铝 |
| 电气规格 |
ATX165SL / ATX165SLE |
| 驱动系统 |
无刷旋转伺服电机(-M1至-M8)
步进电机(m9) |
| 反馈(线性编码器-只有SLE版本) |
增量:1 Vpp (e1反馈选项)或0.05μm TTL (e2反馈选项)
绝对:EnDat 2.2 (-E3反馈选项) |
| 反馈(旋转编码器) |
增量式:10000线TTL (-M1， -M2， -M5， -M6电机选项)
或1000线1 Vpp (-M3， -M4， -M7， -M8电机选项) |
| 最大总线电压 |
320 VDC |
| 限位开关 |
5v，常闭 |
-
ATX165SL图表
维
订购信息
ATX165SL/SLE系列机械轴承，螺杆驱动直线工作台
直接线性反馈(需要)
| 选项 |
描述 |
| SL |
没有直接的线性反馈 |
| SLE-E1 |
增量线性编码器，1 Vpp |
| SLE-E2 |
增量线性编码器,0.05µm数字TTL输出 |
| SLE-E3 |
绝对线性编码器 |
旅游(必需)
| 选项 |
描述 |
| -150年 |
150毫米的旅行 |
| -200年 |
200毫米的旅行 |
| -250年 |
250毫米的旅行 |
电动机(可选)
| 选项 |
描述 |
| m1 |
BMS60无刷伺服电机和10000线TTL编码器 |
| 平方米 |
BMS60无刷伺服电机，10000线TTL编码器，刹车 |
| m3 |
BMS60无刷伺服电机和1000线1 Vpp编码器 |
| m4 |
BMS60无刷伺服电机，1000line 1 Vpp编码器，刹车 |
| m5 |
BM75无刷伺服电机和10000线TTL编码器 |
| m6 |
BM75无刷伺服电机，10000线TTL编码器，刹车 |
| m7 |
BM75无刷伺服电机和1000线1 Vpp编码器 |
| m8 |
BM75无刷伺服电机，1000线1 Vpp编码器，刹车 |
| m9 |
SM60步进电机，高压 |
返送设备(可选)
| 选项 |
描述 |
| -FB1 |
250英寸直径轴NEMA 23电机用折叠式组件(标准) |
| -FB2 |
折叠式组件，适用于直径为0.375英寸的轴NEMA 23电机 |
运动方向(可选)
| 选项 |
描述 |
| 2 |
底部电缆出口，可选方向 |
| 3 |
左侧电缆出口，标准方向 |
| 5 |
右侧电缆出口，可选方向 |
| -8 |
右侧折叠，标准朝向 |
| 9 |
右侧可折叠，带底部电缆出口，可选方向 |
| -12年 |
左侧可折叠，可选方向 |
| -13年 |
左侧可折叠，带底部电缆出口，可选方向 |
连接器（可选）
| 选项 |
描述 |
| cp1 |
0.250英寸直径轴的联轴节 |
| -CP2 |
用于直径0.375英寸轴的联轴器，用于BMS100/BM130电机 |
提升硬件(可选)
| 选项 |
描述 |
| -LF1 |
提升处理 |
| -LF2 |
起重机环 |
ThermoComp(可选)
| 选项 |
描述 |
| tcmp |
ThermoComp集成热补偿 |
计量(必需)
| 选项 |
描述 |
| pl1 |
计量学，未用性能图校准 |
| -PL2 |
使用性能图进行计量、校准(HALAR) |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望获得系统的定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 |
描述 |
| 助教 |
集成测试系统
将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac |
集成——作为组件进行测试
将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。 |
