描述

设计特点

• 在一个大的旅游格式纳米级性能
• 高分辨率（1个纳米），重复性（75纳米）和准确度（250 nm）的
• 位置稳定性<1 nm
• 抗蠕变交叉滚子轴承
• 高动态性能
• 大选择- 8个模型在旅行和准确性

该ANT130L系列平台提供的旅行纳米级性能可达160毫米。凭借其低轮廓和优异的性能特性，该ANT130L为高精度对准，检查，定位和测量站的最终解决方案。

非接触直接驱动

直线电机驱动器还提供更高的速度和加速度的优势。紧凑且功能强大的直线电动机驱动ANT130L至1g的峰值加速度卸载和350毫米的最大速度/秒。其结果是在其类显著优于可比高精度螺杆驱动的或其它阶段优秀吞吐量的高精度装置。

出色的分辨率

对于校准应用，杰出的阶对阶的分辨率，是至关重要的。所述ANT130L会见的时的Aerotech驱动和控制耦合1nm的递增步长这一需求。直接驱动线性马达允许ANT130L作出精确，小分辨率的步骤。这是在对准应用，其中步骤准确性是至关重要的特别重要的。

专为长寿命

与Aerotech产品系列的所有阶段一样，ANT130L的设计是为了突出的长期性能。直线电机和直线编码器都是非接触器件，这意味着它们不仅寿命长，而且完全不需要维护。

精密定位

ANT130L系列工作台很容易配置为XY组件。选项包括精确的正交对准到5角秒和垂直轴的解决方案。亚博登录平台

产品规格

机械规格

1. 每个阶段的认证。
2. 在位抖动上市是3西格马值。
3. 列出了轴上加载的轴方向。

• 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。合并的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
• -PLUS需要使用的Aerotech控制器。

1. 每个阶段的认证。
2. 在位抖动上市是3西格马值。
3. 列出了轴上加载的轴方向。

• 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。合并的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
• -PLUS需要使用的Aerotech控制器。

电气规格

推荐控制器

1. 线性放大器需要达到所列的规格。还有其他选择。

注意：为确保规格实现和可重复性的一段延长的时间，环境温度必须0.25℃/ 24小时内被控制。如果这是不可能的，替代的产品可供选择。请咨询艾特航空以获取更多信息。

外形尺寸

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订购信息

ANT130L单轴直接驱动纳米定位台亚博微信vip群

旅游（必填）

连接器(必需)

注意:CN1选项不适用于使用大于80v的总线电压的系统

安装板（可选）

性能等级(必需)

集成（必需）

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望获得系统的定制集成支持，请咨询Aerotech。