描述

设计特点

• 大型旅行格式(25毫米和50毫米)中的纳米性能
• 高分辨率(2 nm)，可重复性(75 nm)，准确度(300 nm)
• 位置稳定性<2 nm
• 抗蠕动crossed-roller轴承
• 高动态性能

介绍

ANT95LZ交叉滚轮级在速度、精度、分辨率、重复性、可靠性和尺寸方面都是同类产品中最好的，并且有两个精度等级。

非接触直接传动

只有非接触式直接驱动技术才能提供稳健、准确和高速的定位，这是大规模生产精密设备所必需的。ANT95LZ平台采用了Aerotech公司首创的先进直接驱动技术，在高精度定位、磁盘驱动制造、光纤对准、光学延迟元件驱动、传感器测试和扫描等要求平滑和精确运动的过程中，实现了最高水平的定位性能。

ANT95LZ级采用一种几乎无摩擦的平衡机构来保持性能水平，同时尽量减少电机加热。配重可从0公斤到5公斤任意调整。

灵活的系统设计

ANT95LZ系列具有通用的安装和桌面模式，便于系统集成。两个，三个或更多的轴可以很容易地组合为灵活的系统设计和多轴配置。

系统特点

突出的精度、位置重复性和位置稳定性要求高的系统分辨率。ANT95LZ stage的业界领先的2nm最小步长增量提供了这种高水平的性能。高质量、抗蠕变、交叉滚子轴承，辅助优越的位置稳定性。在产品的整个生命周期中，该阶段提供几乎免费的维护操作。Aerotech的直接驱动技术没有滞后或反冲，可以实现精确和可重复的纳米级运动。

规范

机械规范

1. 每一阶段认证。
2. 位置抖动列表为3西格玛值。
3. 列出了轴上加载的轴方向。
4. 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。供给压力由阶段所携带的有效载荷决定。

•规格适用于桌面以上25毫米的单轴系统。组合多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
•-PLUS需要使用Aerotech控制器。

电气规格

推荐的控制器

1. 线性放大器需要达到所列的规格。还有其他选择。

注意:确保规范的成就和可重复性一段时间环境温度必须控制在0.25ºC / 24小时。如果这是不可能的，替代产品是可用的。更多信息请咨询Aerotech。

维

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订购信息

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旅游(必需)

电缆导向(必需)

性能等级(必需)

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望获得系统的定制集成支持，请咨询Aerotech。