描述

设计特点

• 集成低轮廓XY线性电动机阶段
• 在一个大的旅游格式纳米级性能
• 高分辨率(1 nm)，重复性(75 nm)，准确度(250 nm)
• 在位<1个纳米稳定性
• 抗蠕动crossed-roller轴承
• 高动态性能与直接驱动技术
• 超性能等级选项

介绍

ANT130XY系列的级提供了纳米级的性能，在XY旅行高达160毫米。一体化，时尚的设计提供了一个只有85毫米的极低的轮廓。该阶段拥有专有的直接驱动电机技术，非接触式线性编码器，限制，综合电缆管理系统，和三个性能等级。

极其精确的舞台设计

ANT130XY的设计允许关键元素，如正交性，直线度和平直度进行优化，导致阶段具有特殊的几何公差。Aerotech的直接驱动技术没有迟滞或反冲，能够在X和Y维度上实现精确和可重复的纳米级运动。所有的行程选项(60毫米x60毫米，110毫米x110毫米，160毫米x160毫米)来与85毫米的轮廓高度。综合电缆管理系统设计使用寿命长，阻力小。

非接触直接驱动

只有非接触直接驱动技术提供必要的大规模生产精密仪器的可靠，精确和高速的定位。ANT130XY阶段使用由艾特航空率先实现定位性能最高水平的先进的直接驱动技术。这种直接驱动技术是高性能，无齿槽，非接触，速度快，分辨率高，精度高。这种独特的驱动器和轴承组合，封装在一个非常小的轮廓和足迹，在许多应用，如高精度定位，磁盘驱动器制造中，纤维取向，光延迟元件致动时，传感器检测，并扫描过程提供有形优点要求平滑和精确的运动。

多轴配置

ANT130XY可以与其他Aerotech ANT系列产品(垂直升降台、直接驱动旋转台和角度计)相结合，以创建独特的、高性能的多轴系统。

超性能等级选项

为了实现我们的多轴纳米定位系统尽可能高的系统精度，艾特已研制出一种先进的，动态轨迹校正系统。亚博微信vip群借此复杂的校准系统的优点，机械系统必须完全组装，功能测试，并在我们的最好的一流的计量实验室校准。纳米级系统的精度只能严格的环境条件下实现，用最好的测试设备校准，使用最高精度机械元件，并利用艾特航空业界领先的控制的ULTRA软件功能。通过实现与ANT130XY ULTRA动态轨迹校准，我们能够产生的±250纳米或更好保证二维精度。

规格中提供的图表说明了标准ANT130XY和ULTRA版本之间的性能差异。直线度误差、正交度误差和阶差引起的精度误差几乎都被消除了。

规范

机械规格

1. 规格为-基地和-加选项是每个轴测量25毫米以上的桌面。-ULTRA的规格是XY测量在桌面上方25毫米。
2. 每一阶段认证。
3. 需要使用Aerotech控制器。
4. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
5. 在位置抖动列表3西格马值
6. 对于轴上载荷轴方向列出。

1. 规格为-基地和-加选项是每个轴测量25毫米以上的桌面。-ULTRA的规格是XY测量在桌面上方25毫米。
2. 每一阶段认证。
3. 需要使用Aerotech控制器。
4. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
5. 在位置抖动列表3西格马值。
6. 对于轴上载荷轴方向列出。

1. 规格为-基地和-加选项是每个轴测量25毫米以上的桌面。-ULTRA的规格是XY测量在桌面上方25毫米。
2. 每一阶段认证。
3. 需要使用Aerotech控制器。
4. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
5. 在位置抖动列表3西格马值。
6. 对于轴上载荷轴方向列出。

电气规格

推荐的控制器

注:线性放大器需要达到所列规格。还有其他选择。

注:为确保在较长时间内达到和重复规范，环境温度必须控制在0.25°C/24小时内。如果这是不可能的，替代产品是可用的。更多信息请咨询航空技术应用工程。

维

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订购信息

ANT130XY二轴XY直接驱动纳米定位台亚博微信vip群

旅游(必需)

连接器（必需）

注：-CN，选项不适用于使用总线系统电压超过80伏

电缆管理(必需)

安装板(可选)

性能等级（必填）

集成(必需)