ANT95L系列单轴线性直接驱动纳米定位平台亚博微信vip群

描述

设计特点

  • 在一个大的旅游格式纳米级性能
  • 高分辨率(1个纳米),重复性(75纳米)和准确度(250 nm)的
  • 位置稳定性<1 nm
  • 抗蠕变交叉滚子轴承
  • 高动态性能

介绍

Aerotech公司的ANT95L系列阶段是世界上第一个纳米级定位系统,具有大于25毫米的行程。ANT95L和ANT95L- plus交叉滚轮级在速度、精度、分辨率、重复性、可靠性和尺寸方面都是同类产品中最好的,并有两个精度等级。这些线性级显示高达5 g的加速度,500毫米/秒的速度,增强的负载能力,并可与标准化,通用的基础安装模式,使其在广泛的配置使用。

非接触直接驱动

只有非接触直接驱动技术提供必要的大规模生产精密仪器的可靠,精确和高速的定位。ANT95L阶段使用由艾特航空率先实现定位性能最高水平的先进的直接驱动技术。这种直接驱动技术是高性能,无齿槽,非接触式,高速,高分辨率,高精确度。独特的驱动器和轴承组合,封装在一个非常小的轮廓和足迹,在许多应用,如高精度定位,磁盘驱动器制造中,纤维取向,光延迟元件致动时,传感器测试和扫描过程的需求提供有形优点平滑和精确的运动。

灵活的系统设计

ANT95L系列具有通用的安装和桌面模式,便于系统集成。两个,三个或更多的轴可以很容易地组合为灵活的系统设计和多轴配置。

系统特点:

出色的精度,重复定位精度和定位稳定性需要高系统分辨率。该ANT95L阶段业界领先的1米纳米的最小递增步长提供的性能这一高电平。Aerotech的直接驱动技术具有无磁滞或反弹,使精确和可重复的纳米级运动。

产品规格

机械规格

模型 ant95l - 025 ant95l - 050
旅行 25毫米 50毫米
精度(1) 基础 µm±2.5(±100µin) µm±2.5(±100µin)
+ ±250海里(±10µin) ±250海里(±10µin)
分辨率(最小增量运动) 1纳米(0.04微英寸) 1纳米(0.04微英寸)
重复性(双向)(1) 基础 ±100纳米(±4微英寸) ±100纳米(±4微英寸)
+ ±75纳米(±3微英寸) ±75纳米(±3微英寸)
重复性(单向) ±25纳米(±1微英寸) ±25纳米(±1微英寸)
直线(1) µm±1.0(±40µin) µm±1.0(±40µin)
平面度(1) µm±1.0(±40µin) µm±1.0(±40µin)
球场 10弧秒 10弧秒
10弧秒 10弧秒
偏航 5弧秒 5弧秒
最大速度 为500mm /秒(20英寸/秒) 为500mm /秒(20英寸/秒)
最大加速度 5克(空载) 4克(无负载)
速度稳定 典型性能见图
沉淀时间 典型性能见图
稳定的位置(2) < 1 nm(< 0.04µin) < 1 nm(< 0.04µin)
最大力量(连续) 7.75ñ 9.5ñ
装载能力(3) 水平 5.0公斤(11磅) 7.0公斤(15.4磅)
一边 5.0公斤(11磅) 5.0公斤(11磅)
移动质量 0.46公斤(1.0磅)的 0.52公斤(1.1磅)
级质谱 0.8公斤(1.8磅) 1.2公斤(2.7磅)的
材料 全铝车身/黑色硬饰面
平均故障间隔时间 30000小时
  1. 每个阶段的认证。
  2. 在位抖动上市是3西格马值。
  3. 列出了轴上加载的轴方向。
  • 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。合并的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
  • -PLUS需要使用的Aerotech控制器。
模型 ant95l - 075 ANT95L-100
旅行 75毫米 100毫米
精度(1) 基础 µm±4.0(±160µin) µm±5.0(±200µin)
+ ±275纳米(±11微英寸) ±275纳米(±11微英寸)
分辨率(最小增量运动) 1纳米(0.04微英寸) 1纳米(0.04微英寸)
重复性(双向)(1) 基础 ±100纳米(±4微英寸) ±100纳米(±4微英寸)
+ ±75纳米(±3微英寸) ±75纳米(±3微英寸)
重复性(单向) ±25纳米(±1微英寸) ±25纳米(±1微英寸)
直线(1) µm±2.0(±80µin) ±2.5微米(±80微英寸)
平面度(1) µm±2.0(±80µin) ±2.5微米(±80微英寸)
球场 10弧秒 10弧秒
10弧秒 10弧秒
偏航 5弧秒 5弧秒
最大速度 为500mm /秒(20英寸/秒) 为500mm /秒(20英寸/秒)
最大加速度 3克(空载) 3克(空载)
速度稳定 典型性能见图
沉淀时间 典型性能见图
稳定的位置(2) < 1 nm(< 0.04µin) < 1 nm(< 0.04µin)
最大力量(连续) 9.5ñ 12.9ñ
装载能力(3) 水平 7.0公斤(15.4磅) 7.0公斤(15.4磅)
一边 5.0公斤(11磅) 5.0公斤(11磅)
移动质量 0.72公斤(1.6磅)的 0.91公斤(2.0磅)的
级质谱 1.64公斤(3.6磅)的 2.1公斤(4.6磅)的
材料 全铝车身/黑色硬饰面
平均故障间隔时间 30000小时
  1. 每个阶段的认证。
  2. 在位抖动上市是3西格马值。
  3. 列出了轴上加载的轴方向。
  • 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。合并的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
  • -PLUS需要使用的Aerotech控制器。
电气规格 ANT95L
驱动系统 无刷线性伺服电机
反馈 非接触线性编码器
最大总线电压 ±40伏直流电
限位开关 5 V,常闭
家里的开关 近中心

推荐控制器 ANT95L
多轴 A3200 Npaq混频器
Npaq MR-MXH
Npaq ML-MXH
系综 Epaq MXH
Epaq MR-MXH
合奏ML-MXH
单轴 独奏者 独奏ML-MXH

  1. 线性放大器需要达到所列的规格。还有其他选择。

注意:为确保规格实现和可重复性的一段延长的时间,环境温度必须0.25℃/ 24小时内被控制。如果这是不可能的,替代的产品可供选择。请咨询艾特航空以获取更多信息。

  • 步骤图
  • 性能图

外形尺寸

订购信息

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旅游(必填)

选项 描述
-025 25毫米的旅行
-050年 50 mm旅行
-075年 75毫米旅游
-100 100毫米的旅行

安装板(可选)

选项 描述
-MP 安装板

性能等级(必需)

选项 描述
-PL1 基本性能
-PL2 高精度的性能,再加上

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望获得系统的定制集成支持,请咨询Aerotech。

选项 描述
μ-TAS 集成测试系统
测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。