描述

设计特点

• 在大型旅行格式(35毫米至160毫米)下的纳米性能
• Dual-counterbalance,低调的设计
• 高动态、无触点直接传动
• 抗蠕动crossed-roller轴承
• 灵活的桌面和安装模式
• 高分辨率(2 nm)，重复性(75 nm)，准确度(275 nm)
• 位置稳定性<2 nm

介绍

Aerotech的ANT系列阶段是世界上第一个纳米级定位系统，具有大于25毫米的行程。ANT130LZS系列交叉滚轮工作台是专为垂直轴应用而设计的，在速度、分辨率、精度、可重复性、可靠性和尺寸方面都是同类产品中最好的，并且有两个精度等级。

ANT130LZS级采用一种几乎无摩擦的双平衡机构来保持性能水平，同时尽量减少电机加热。配重可在0 ~ 14公斤范围内调节。双平衡设计最大限度地降低了整体工作台的高度，防止了平衡设计应用的偏离轴力矩对直线度和角度误差产生不利影响。结果是定位和几何性能几乎相当于一个非平衡蚂蚁阶段。

非接触直接传动

只有非接触式直接驱动技术才能提供稳健、准确、高速的定位，这是大规模生产精密设备所必需的。ANT130LZS级采用了Aerotech公司首创的先进直接驱动技术，在高精度定位、磁盘驱动制造、光纤对准、光学延迟元件驱动、传感器测试和扫描过程中实现了最高水平的性能，要求平滑和精确的运动。

灵活的系统设计

ANT130LZS系列具有通用的安装和桌面模式，便于系统集成。两个、三个或更多轴可以很容易地组合在一起，以实现灵活的系统设计和多轴配置。

系统特点

杰出的精度、位置重复性和位置稳定性要求小的最小增量运动(机械分辨率)。ANT130LZS stage的业界领先的2nm最小步长增量使其具有如此高的性能水平。高质量、抗蠕变、交叉滚子轴承，辅助优越的位置稳定性。在产品的整个生命周期中，该阶段提供几乎免费的维护操作。Aerotech的直接驱动技术没有滞后或反冲，可以实现精确和可重复的纳米级运动。

规范

ANT130LZS系列规范

1. 每一阶段认证。
2. 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
3. 位置抖动列表为3西格玛值。
4. 列出了轴上加载的轴方向。
5. 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。供给压力由阶段所携带的有效载荷决定。
6. 规格为单轴系统测量桌面以上25毫米。组合多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
7. -PLUS需要使用Aerotech控制器

1. 每一阶段认证
2. 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
3. 位置抖动列表为3西格玛值。
4. 列出了轴上加载的轴方向。
5. 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。供给压力由阶段所携带的有效载荷决定。
6. 规格为单轴系统测量桌面以上25毫米。组合多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
7. -PLUS需要使用Aerotech控制器。

电气规格

推荐的控制器

维

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订购信息

ANT130LZS单轴Z低轮廓直接驱动纳米定位台亚博微信vip群

旅游(必需)

连接器(必需)

注意:-CN1选项不适用于使用总线电压大于80v的系统。

安装板(可选)

性能等级(必需)

集成(必需)