FiberMaxHP多轴光子学对准系统

描述

设计特点

  • 内置高性能ANT纳米定位第二代光子对准平台
  • 高达6轴的精密运动
  • 为24/7制造验证的可靠性
  • 非接触式,直驱式全轴实现高通量对齐
  • 最小增量运动2 nmμrad 0.05线性运动和旋转运动
  • 强大的控制与标准的扫描算法和虚拟枢轴点运动学
  • 灵活的设计与许多标准配置和选项
  • 接口行业标准电能表

艾特航空的FIBERMAX®惠普代表了在光子学元件的大批量制造和测试方面的重大突破。FiberMax棉的惠普体现了超过40年的在高科技产业设计为OEM厂商先进的定位系统和最终用户体验。FiberMax棉的惠普是建立在Aerotech蚂蚁纳米定位产品线上的第二代三至六轴光子学对准平台。亚博微信vip群它的设计是为了满足高度自动化,24/7生产环境下的关键光子学校准的要求,在速度、精度和分辨率方面不妥协。

高重复性、高精度、工业级的定位系统是光子学元件大批量生产和测试的基础。FiberMax棉惠普的高可靠,独特的传动与控制技术确保多年的免费维修服务的高通量,全天候生产环境。

超精密直驱

由于对准容差成为与新硅光子器件更小,用于高速和高精度对齐的要求是至关重要的。FiberMax棉惠普非接触式直接驱动技术可以在不牺牲生产能力的情况下实现高精度对准。FiberMax的速度可达400mm /s,并能以最小的增量移动至2nm惠普满足对准新一代光电子封装的挑战。

在FIBERMAX采用直驱技术惠普与其他对齐平台相比,提供了显著的精度和吞吐量优势。

强大的运动学和扫描例程

Aerotech的控制器与各种智能相机和机器视觉系统一起工作,以帮助实现第一道光线。我们的力量伺服扫描算法可以通过调用来优化功率耦合器件。标准扫描程序包括快速对准,爬坡,螺旋,和栅格搜索在高达运动的六个轴。

我们的先进的运动学使一个虚拟枢轴点,其中旋转可以发生在任何用户定义的点在空间,而不是物理旋转点的FiberMax惠普轴。这有助于主动对齐的速度和准确性。我们有广泛的软件和硬件选择,以满足您的具体需求。

灵活的系统配置

FiberMax棉的惠普是可用的直接驱动对准轴允许与该应用所需的轴的确切数目来指定所述平台的三至六轴。由于许多应用需要对一次性初始对准中,FIBERMAX夹具和部件的手动调节惠普带有手动角度对准轴具有运动的±2°一到三个轴。这些手动调节轴直接安装到直接驱动平台,并提供一种更经济的方法来对准当不经常需要调整。

艾特航空拥有多年的提供对光电子行业解决方案的经验。亚博登录平台我们知道您的应用程序可能是独一无二的,需要定制。FiberMax棉的惠普采用模块化设计,可与轴,夹具的特殊安排下轻松定制和安装模式,以满足您的特定应用的需求。

规范

FiberMax棉惠普规范

FiberMax棉惠普 -ZXY -ZXYT -ZXYR -ZXYP
游记 X:50毫米
Y: 3毫米
Z: 50毫米
X:50毫米
Y: 3毫米
Z: 50毫米
T: 20度
X:50毫米
Y: 3毫米
Z: 50毫米
R:20度
X:50毫米
Y: 3毫米
Z: 50毫米
警:20度
准确性(2、3) 基本性能(pl1) X:μm±3.0
Y:μm±2.0
Z:±3.5μm的
X:μm±4.2
Y:μm±2.0
Z:±4.7微米
T: 25±μrad
X:μm±4.2
Y:μm±2.0
Z:±4.7微米
接待员:±90μrad
X:μm±4.2
Y:μm±2.0
Z:±4.7微米
P:±90μrad
+性能(-PL3) X:±300nm的
Y:±200海里
Z:±300海里
X:±300nm的
Y:±200海里
Z:±300海里
T:±8μrad
X:±300nm的
Y:±200海里
Z:±300海里
R:±30微弧度
X:±300nm的
Y:±200海里
Z:±300海里
P:±30μrad
分辨率(最小增量运动) 2海里 X / Y / Z:2纳米
T: 0.05μrad
X / Y / Z:2纳米
R: 0.25μrad
X / Y / Z:2纳米
P: 0.25μrad
双向可重复性(3) ±150海里 X / Z:±175纳米
Y:±150nm的
T:±3.5微弧度
X / Z:±175纳米
Y:±150nm的
接待员:±18μrad
X / Z:±175纳米
Y:±150nm的
P:±18μrad
最大速度(4) X: 400 mm / s
Y: 75 mm / s
Z: 200 mm / s
X: 400 mm / s
Y: 75 mm / s
Z: 200 mm / s
T:120度/秒
X: 400 mm / s
Y: 75 mm / s
Z: 200 mm / s
R: 150度/秒
X: 400 mm / s
Y: 75 mm / s
Z: 200 mm / s
警:150度/秒
负载能力(5) 2公斤 1.5公斤 1.5公斤 1.5公斤
阶段质量 6.0公斤 7.5公斤 6.5公斤 6.5公斤
材料 阳极氧化铝
MTBF(平均故障间隔时间) 30000小时

注:

  1. 列出的值是每轴测量20毫米的顶部安装平台。
  2. 需要Aerotech控制器。
  3. 每个体系认证。
  4. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
  5. 同轴的装载。

FiberMax棉惠普 -ZXYTR -ZXYTP -ZXYTPR
游记 X:50毫米
Y: 3毫米
Z: 50毫米
T: 20度
R:20度
X:50毫米
Y: 3毫米
Z: 50毫米
T: 20度
警:20度
X:50毫米
Y: 3毫米
Z: 50毫米
T: 20度
警:20度
R:20度
准确性(2、3) 标准 X:±5.5μm的
Y:μm±2.0
Z:μm±6.0
T: 25±μrad
接待员:±90μrad
X:±5.5μm的
Y:μm±2.0
Z:μm±6.0
T: 25±μrad
P:±90μrad
X:±6.5微米
Y:μm±2.0
Z:±7.0μm的
T: 25±μrad
P / R:±90μrad
X:±350nm的
Y:±200海里
Z:±350海里
T:±8μrad
R:±30微弧度
X:±350nm的
Y:±200海里
Z:±350海里
T:±8μrad
P:±30μrad
X:±400nm的
Y:±200海里
Z:±400海里
T:±8μrad
P / R:±30μrad
分辨率(最小增量运动) X / Z: 3海里
Y: 2海里
T: 0.05μrad
R: 0.25μrad
X / Z: 3海里
Y: 2海里
T: 0.05μrad
P: 0.25μrad
X / Z: 4海里
Y: 2海里
T: 0.05μrad
P / R:0.25微弧度
双向可重复性(3) X / Z:±200海里
Y:±150nm的
T:±3.5微弧度
接待员:±18μrad
X / Z:±200海里
Y:±150nm的
T:±3.5微弧度
P:±18μrad
X / Z:±250nm的
Y:±150nm的
T:±3.5微弧度
P / R:±18微弧度
最大速度(4) X: 400 mm / s
Y: 75 mm / s
Z: 200 mm / s
T:120度/秒
R: 150度/秒
X: 400 mm / s
Y: 75 mm / s
Z: 200 mm / s
T:120度/秒
警:150度/秒
X: 400 mm / s
Y: 75 mm / s
Z: 200 mm / s
T:120度/秒
P / R: 150度/秒
负载能力(5) 1公斤 1公斤 1公斤
阶段质量 8.0公斤 8.0公斤 9.0公斤
材料 阳极氧化铝
MTBF(平均故障间隔时间) 30000小时

    注:

    1. 列出的值是每轴测量20毫米的顶部安装平台。
    2. 需要Aerotech控制器。
    3. 每个体系认证。
    4. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
    5. 同轴的装载。

    电气规格

    驱动系统 无刷伺服电动机
    反馈 非接触式线性编码器
    最大总线电压 80 VDC
    限位开关 5v,常闭
    首页开关 近行程中心

    推荐的控制器

    A3200 Npaq MXR
    Npaq MR-MXH
    Ndrive ML-MXH

    注:线性放大器需要达到所列规格。还有其他选择。

    • 模块化设计
      模块化设计
    • 随着ANT-95
      with_ant95

    订购信息

    FiberMax棉惠普多轴光电定位系统

    轴配置(必需)

    选项 描述
    -ZXY 3轴平台(Z,X,Y)
    -ZXYT 4轴平台(Z,X,Y,θ-)
    -ZXYP 四轴平台(Z、X、Y、俯仰)
    -ZXYR 四轴平台(Z, X, Y, Roll)
    -ZXYTP 五轴平台(Z、X、Y、Theta、Pitch)
    -ZXYTR 5轴平台(Z,X,Y,θ,辊)
    -ZXYTPR 六轴平台(Z, X, Y, Theta,俯仰,横摇)

    手动调整(可选)

    选项 描述
    -ADJ1 3轴手动角度调节(±2度),偏航/俯仰/滚动
    -ADJ2 2轴手动角度调节(±2度),俯仰/横滚
    -ADJ3 2轴手动角度调节(±2度),偏航/音高
    -ADJ4 2轴手动角度调节(±2度),偏航/滚动
    -ADJ5 1轴手动角度调节(±2度),俯仰
    -ADJ6 一轴手动角度调节(±2度),滚动

    安装板(可选)

    选项 描述
    -MP1 光学工作台安装板

    性能等级(必填)

    选项 描述
    pl1 基本性能
    -PL3 高精度性能,PLUS

    集成(必需)

    以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。

    选项 描述
    助教 集成 - 测试的系统
    测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。
    tac 集成——作为组件进行测试
    将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。

    配件(单独订购)

    选项 描述
    AP-ANT95R-ANT20G-50 适配器板,ANT95R到ANT20G-50
    AP-ANT95R-ANT20G-90 适配器板,ANT95R到ANT20G-90
    手动角度调整阶段
    MADJ-AT1 1轴,俯仰或滚转(±2度)
    MADJ-AT2 2轴,俯仰/滚动(±2度)
    MADJ-AT3 2轴,偏航/俯仰或偏航/横摇(±2度)
    MADJ-AT4 三轴,偏航/俯仰/横摇(±2度)