ASR2000直接驱动主轴

描述

设计特点

  • 高速无刷伺服电动机
  • Instrument-grade精度
  • ABEC-7角接触轴承
  • 平衡到ISO 1940 G 1.0
  • 高加速能力(6000转/分钟< 1秒)
  • 可定制配置
Aerotech公司的ASR系列直接驱动主轴被设计用于提供卓越的角度定位和速度控制,应用范围包括磁盘驱动器测试、成像应用和精密晶圆检测。

优越的机械设计
匹配的角接触轴承组最大限度地减少主轴误差运动。此外,ASR2000被平衡到ISO 1940 G 1.0公差。这种独特的设计包括外部可访问的平衡螺丝,可以调整与最后的有效载荷到位。该设计还采用迷宫式密封,最大限度地减少了颗粒从主轴的迁移,从而获得了一级洁净室操作的认证。为真空供应器提供了一个完整的旋转接头。

无刷直接驱动
为了最大化定位性能,ASR系列采用了Aerotech公司的无刷电机技术。这些电机具有无刷直接驱动电机的所有优点-无刷磨损,高加速度和高速度。由于其低固有惯性和高扭矩输出,ASR能够达到极高的速度和加速度。此外,高效的电磁设计提供了高性能和较低的操作温度比同类产品。

准确的定位
具有<0.1%,共径向误差运动=5μm的速度波纹,和总的轴向误差运动<2μm时,主轴的Aerotech提供了高精确度的应用性能优越。高性能马达和旋转编码器被直接连接到公共轴上。不存在齿轮系和机械耦合的装置,所造成的滞后,卷取,或游隙没有位置误差。

灵活的配置
选项包括机械或真空卡盘配置。的Aerotech生产一系列伺服放大器和先进的控制器,以提供一个完整的,集成封装。

规范

ASR2000规范

基本模型 -60年 -100年 -130年
电动机 S-50-52-B s - 50 - 86 a BM130
连续电流,摊位 一个PK 4.6 2.1 7.5A
一个rms 3.3 1.5 5.3
反馈 直接耦合旋转编码器
解析度 256-2048行/rev -其他可用行数
额定转速(1) 6000rpm下在<1秒
最大负载 径向 89牛
轴向 89牛
惯性(卸载) 0.0002 kg-m2
总误差运动 径向 5µm
轴向 2µm
异步误差运动 径向 3.5µm
轴向 1.5微米
速度波纹 < 6000 rpm时的0.1%
平衡级(2) ISO 1940 G 1.0
轴承刚度 径向 20 N /µm
轴向 20 N /µm
主轴重量 33 N
材料
住房 铝(钢)
可提供化学镀镍或黑色硬漆
  1. 最大速度基于舞台能力;最大的应用程序速度可能受到系统数据速率和系统分辨率的限制。
  2. 根据ISO 1940,“机械振动-刚性转子的平衡质量要求”。
  • ASR2000运动误差跟踪

订购信息

排序的例子

ASR2000 -60年 -PL3 tac

ASR2000高速主轴

选项 描述
-60年 63毫米(2.48英寸)直径旋转主轴0.42纳米(59盎司英寸)电机
-100年 63毫米(2.48英寸)直径旋转主轴0.69纳米(98盎司英寸)电机
-130年 63毫米(2.48英寸)直径的旋转轴1.0 Nm(140盎司英寸)电机

性能等级(必填)

选项 描述
-PL3 标准的性能

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。

选项 描述
助教 集成 - 测试的系统
将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。