ANT95L系列单轴线性直接驱动纳米定位阶段亚博微信vip群
描述
设计特点
- 纳米级性能以大型旅行格式
- 高分辨率(1nm),可重复性(75nm)和精度(250nm)
- 在1nm的位置稳定性
- 防蠕变交叉滚子轴承
- 高动态性能
介绍
Aerotech的Ant95L系列阶段是世界上第一个大于25毫米的纳米级定位系统。ANT95L和ANT95L-PLUS交叉滚子级是组合速度,精度,分辨率,可重复性,可靠性和尺寸的最佳级别,并以两个精度等级提供。这些线性级呈现出高达5克的加速度,500 mm / s的速度,增强的负载能力,可提供标准化的通用底座安装图案,可在各种配置中使用它们。
非接触式直接驱动
只有NonContact Direct-Drive技术只提供精密器件的大规模生产所需的坚固,准确和高速定位。Ant95L阶段利用Aerotech开创先进的直接驱动技术,实现最高水平的定位性能。这种直接驱动技术是高性能,非齿槽,非接触,高速,高分辨率和高精度。包装在极小尺寸和占地面积中的独特驱动和轴承组合,在许多应用中提供有形的优势,如高精度定位,磁盘驱动制造,光纤对准,光学延迟元件致动,传感器测试和扫描过程的要求平滑和精确的运动。
灵活的系统设计
ANT95L系列具有通用安装和桌面模式,可容易地进行系统集成。两个,三个或更多轴可以很容易地组合,以实现灵活的系统设计和多轴配置。
系统特征
出色的准确性,位置可重复性和位置稳定性需要高系统分辨率。ANT95L阶段的行业领先的1nm最小增量步长提供了这种高水平的性能。Aerotech的直接驱动技术没有滞后或间隙,实现精确和可重复的纳米级运动。
规格
机械规格
模型 | ANT95L-025 | ANT95L-050 | |
---|---|---|---|
旅行 | 25毫米 | 50毫米 | |
准确性(1) | 基础 | ±2.5μm(±100μIN) | ±2.5μm(±100μIN) |
加 | ±250nm(±10μin) | ±250nm(±10μin) | |
分辨率(最小增量运动) | 1nm(0.04μIN) | 1nm(0.04μIN) | |
重复性(双向)(1) | 基础 | ±100nm(±4μin) | ±100nm(±4μin) |
加 | ±75 nm(±3μin) | ±75 nm(±3μin) | |
重复性(单向) | ±25nm(±1μin) | ±25nm(±1μin) | |
直线度(1) | ±1.0μm(±40μIN) | ±1.0μm(±40μIN) | |
平坦(1) | ±1.0μm(±40μIN) | ±1.0μm(±40μIN) | |
沥青 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
滚 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
偏航 | 5弧秒 | 5弧秒 | |
最大速度 | 500 mm / s(20英寸) | 500 mm / s(20英寸) | |
最大加速度 | 5克(无负载) | 4克(无负载) | |
速度稳定性 | 查看典型性能的图表 | ||
建立时间 | 查看典型性能的图表 | ||
在适当的稳定性(2) | <1nm(<0.04μIN) | <1nm(<0.04μIN) | |
最大力(连续) | 7.75 N. | 9.5 N. | |
装载能力(3) | 水平 | 5.0千克(11磅) | 7.0千克(15.4磅) |
侧 | 5.0千克(11磅) | 5.0千克(11磅) | |
移动质量 | 0.46千克(1.0磅) | 0.52千克(1.1磅) | |
舞台质量 | 0.8千克(1.8磅) | 1.2千克(2.7磅) | |
材料 | 铝合金/黑色硬涂层 | ||
MTBF(失败之间的平均时间) | 30,000小时 |
- 通过每个阶段认证。
- 在位置抖动列表是3个Σ值。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格适用于桌面上方25毫米的单轴系统。组合的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖。查阅工厂以进行多轴或非标准应用。
- -plus需要使用Aerotech控制器。
模型 | ANT95L-075. | ANT95L-100. | |
---|---|---|---|
旅行 | 75毫米 | 100毫米 | |
准确性(1) | 基础 | ±4.0μm(±160μIN) | ±5.0μm(±200μIN) |
加 | ±275 nm(±11μin) | ±275 nm(±11μin) | |
分辨率(最小增量运动) | 1nm(0.04μIN) | 1nm(0.04μIN) | |
重复性(双向)(1) | 基础 | ±100nm(±4μin) | ±100nm(±4μin) |
加 | ±75 nm(±3μin) | ±75 nm(±3μin) | |
重复性(单向) | ±25nm(±1μin) | ±25nm(±1μin) | |
直线度(1) | ±2.0μm(±80μIN) | ±2.5μm(±80μIN) | |
平坦(1) | ±2.0μm(±80μIN) | ±2.5μm(±80μIN) | |
沥青 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
滚 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
偏航 | 5弧秒 | 5弧秒 | |
最大速度 | 500 mm / s(20英寸) | 500 mm / s(20英寸) | |
最大加速度 | 3克(无负载) | 3克(无负载) | |
速度稳定性 | 查看典型性能的图表 | ||
建立时间 | 查看典型性能的图表 | ||
在适当的稳定性(2) | <1nm(<0.04μIN) | <1nm(<0.04μIN) | |
最大力(连续) | 9.5 N. | 12.9 N. | |
装载能力(3) | 水平 | 7.0千克(15.4磅) | 7.0千克(15.4磅) |
侧 | 5.0千克(11磅) | 5.0千克(11磅) | |
移动质量 | 0.72千克(1.6磅) | 0.91千克(2.0磅) | |
舞台质量 | 1.64千克(3.6磅) | 2.1千克(4.6磅) | |
材料 | 铝合金/黑色硬涂层 | ||
MTBF(失败之间的平均时间) | 30,000小时 |
- 通过每个阶段认证。
- 在位置抖动列表是3个Σ值。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格适用于桌面上方25毫米的单轴系统。组合的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖。查阅工厂以进行多轴或非标准应用。
- -plus需要使用Aerotech控制器。
电气规格 | ANT95L. |
---|---|
驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
反馈 | 非接触线性编码器 |
最大总线电压 | ±40 VDC. |
限制开关 | 5 V,常闭 |
主页开关 | 靠近中心 |
推荐控制器 | ANT95L. | |
---|---|---|
多轴 | A3200. | NPAQ MXR. NPAQ MR-MXH NPAQ ML-MXH |
合奏 | EPAQ MXH. EPAQ MR-MXH 合奏ML-MXH |
|
单轴 | 独奏者 | 单独的ML-MXH |
- 线性放大器需要实现所列规格。其他选择可供选择。
注意:为确保在延长的时间段内规格的成就和可重复性,环境温度必须控制在0.25°C / 24小时内。如果无法实现这一点,则可用备用产品。请咨询Aerotech以获取更多信息。
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平板图 -
性能图形
![](http://www.sdystv.com/images/third_angle_projection.png)
尺寸
订购信息
ANT95L单轴线性直接驱动纳米定位阶段亚博微信vip群
旅行(必填)
选项 | 描述 |
---|---|
-025 | 旅行25毫米 |
-050 | 旅行50毫米 |
-075 | 75毫米旅行 |
-100 | 旅行100毫米 |
安装板(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
-mp. | 安装板 |
性能等级(必填)
选项 | 描述 |
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-PL1 | 基础性能 |
-PL2 | 高精度性能,加上 |
集成(必填)
Aerotech提供标准和自定义集成服务,可以帮助您尽快全面运行。此系统可使用以下标准集成选项。请咨询Aerotech,如果您不确定需要哪种集成程度,或者您希望使用系统的自定义集成支持。
选项 | 描述 |
---|---|
- 塔斯 | 集成 - 作为系统测试 将一组组件的测试,集成和文档作为将一起使用的完整系统(例如:驱动器,控制器和舞台)。这包括参数文件生成,系统调整和系统配置的文档。 |
-TAC. | 集成 - 作为组件测试 作为分离在一起的离散组件的单个物品的测试和整合。这通常用于备件,替换部件或不会一起使用的物品。这些组件可以是或可能不是更大系统的一部分。 |