ANT95L系列单轴线性直接驱动纳米定位阶段亚博微信vip群

描述

设计特点

  • 纳米级性能以大型旅行格式
  • 高分辨率(1nm),可重复性(75nm)和精度(250nm)
  • 在1nm的位置稳定性
  • 防蠕变交叉滚子轴承
  • 高动态性能

介绍

Aerotech的Ant95L系列阶段是世界上第一个大于25毫米的纳米级定位系统。ANT95L和ANT95L-PLUS交叉滚子级是组合速度,精度,分辨率,可重复性,可靠性和尺寸的最佳级别,并以两个精度等级提供。这些线性级呈现出高达5克的加速度,500 mm / s的速度,增强的负载能力,可提供标准化的通用底座安装图案,可在各种配置中使用它们。

非接触式直接驱动

只有NonContact Direct-Drive技术只提供精密器件的大规模生产所需的坚固,准确和高速定位。Ant95L阶段利用Aerotech开创先进的直接驱动技术,实现最高水平的定位性能。这种直接驱动技术是高性能,非齿槽,非接触,高速,高分辨率和高精度。包装在极小尺寸和占地面积中的独特驱动和轴承组合,在许多应用中提供有形的优势,如高精度定位,磁盘驱动制造,光纤对准,光学延迟元件致动,传感器测试和扫描过程的要求平滑和精确的运动。

灵活的系统设计

ANT95L系列具有通用安装和桌面模式,可容易地进行系统集成。两个,三个或更多轴可以很容易地组合,以实现灵活的系统设计和多轴配置。

系统特征

出色的准确性,位置可重复性和位置稳定性需要高系统分辨率。ANT95L阶段的行业领先的1nm最小增量步长提供了这种高水平的性能。Aerotech的直接驱动技术没有滞后或间隙,实现精确和可重复的纳米级运动。

规格

机械规格

模型 ANT95L-025 ANT95L-050
旅行 25毫米 50毫米
准确性(1) 基础 ±2.5μm(±100μIN) ±2.5μm(±100μIN)
±250nm(±10μin) ±250nm(±10μin)
分辨率(最小增量运动) 1nm(0.04μIN) 1nm(0.04μIN)
重复性(双向)(1) 基础 ±100nm(±4μin) ±100nm(±4μin)
±75 nm(±3μin) ±75 nm(±3μin)
重复性(单向) ±25nm(±1μin) ±25nm(±1μin)
直线度(1) ±1.0μm(±40μIN) ±1.0μm(±40μIN)
平坦(1) ±1.0μm(±40μIN) ±1.0μm(±40μIN)
沥青 10弧秒 10弧秒
10弧秒 10弧秒
偏航 5弧秒 5弧秒
最大速度 500 mm / s(20英寸) 500 mm / s(20英寸)
最大加速度 5克(无负载) 4克(无负载)
速度稳定性 查看典型性能的图表
建立时间 查看典型性能的图表
在适当的稳定性(2) <1nm(<0.04μIN) <1nm(<0.04μIN)
最大力(连续) 7.75 N. 9.5 N.
装载能力(3) 水平 5.0千克(11磅) 7.0千克(15.4磅)
5.0千克(11磅) 5.0千克(11磅)
移动质量 0.46千克(1.0磅) 0.52千克(1.1磅)
舞台质量 0.8千克(1.8磅) 1.2千克(2.7磅)
材料 铝合金/黑色硬涂层
MTBF(失败之间的平均时间) 30,000小时
  1. 通过每个阶段认证。
  2. 在位置抖动列表是3个Σ值。
  3. 列出了轴上加载的轴方向。
  • 规格适用于桌面上方25毫米的单轴系统。组合的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖。查阅工厂以进行多轴或非标准应用。
  • -plus需要使用Aerotech控制器。
模型 ANT95L-075. ANT95L-100.
旅行 75毫米 100毫米
准确性(1) 基础 ±4.0μm(±160μIN) ±5.0μm(±200μIN)
±275 nm(±11μin) ±275 nm(±11μin)
分辨率(最小增量运动) 1nm(0.04μIN) 1nm(0.04μIN)
重复性(双向)(1) 基础 ±100nm(±4μin) ±100nm(±4μin)
±75 nm(±3μin) ±75 nm(±3μin)
重复性(单向) ±25nm(±1μin) ±25nm(±1μin)
直线度(1) ±2.0μm(±80μIN) ±2.5μm(±80μIN)
平坦(1) ±2.0μm(±80μIN) ±2.5μm(±80μIN)
沥青 10弧秒 10弧秒
10弧秒 10弧秒
偏航 5弧秒 5弧秒
最大速度 500 mm / s(20英寸) 500 mm / s(20英寸)
最大加速度 3克(无负载) 3克(无负载)
速度稳定性 查看典型性能的图表
建立时间 查看典型性能的图表
在适当的稳定性(2) <1nm(<0.04μIN) <1nm(<0.04μIN)
最大力(连续) 9.5 N. 12.9 N.
装载能力(3) 水平 7.0千克(15.4磅) 7.0千克(15.4磅)
5.0千克(11磅) 5.0千克(11磅)
移动质量 0.72千克(1.6磅) 0.91千克(2.0磅)
舞台质量 1.64千克(3.6磅) 2.1千克(4.6磅)
材料 铝合金/黑色硬涂层
MTBF(失败之间的平均时间) 30,000小时
  1. 通过每个阶段认证。
  2. 在位置抖动列表是3个Σ值。
  3. 列出了轴上加载的轴方向。
  • 规格适用于桌面上方25毫米的单轴系统。组合的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖。查阅工厂以进行多轴或非标准应用。
  • -plus需要使用Aerotech控制器。
电气规格 ANT95L.
驱动系统 无刷线性伺服电动机
反馈 非接触线性编码器
最大总线电压 ±40 VDC.
限制开关 5 V,常闭
主页开关 靠近中心

推荐控制器 ANT95L.
多轴 A3200. NPAQ MXR.
NPAQ MR-MXH
NPAQ ML-MXH
合奏 EPAQ MXH.
EPAQ MR-MXH
合奏ML-MXH
单轴 独奏者 单独的ML-MXH

  1. 线性放大器需要实现所列规格。其他选择可供选择。

注意:为确保在延长的时间段内规格的成就和可重复性,环境温度必须控制在0.25°C / 24小时内。如果无法实现这一点,则可用备用产品。请咨询Aerotech以获取更多信息。

  • 平板图
  • 性能图形

尺寸

订购信息

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旅行(必填)

选项 描述
-025 旅行25毫米
-050 旅行50毫米
-075 75毫米旅行
-100 旅行100毫米

安装板(可选)

选项 描述
-mp. 安装板

性能等级(必填)

选项 描述
-PL1 基础性能
-PL2 高精度性能,加上

集成(必填)

Aerotech提供标准和自定义集成服务,可以帮助您尽快全面运行。此系统可使用以下标准集成选项。请咨询Aerotech,如果您不确定需要哪种集成程度,或者您希望使用系统的自定义集成支持。

选项 描述
- 塔斯 集成 - 作为系统测试
将一组组件的测试,集成和文档作为将一起使用的完整系统(例如:驱动器,控制器和舞台)。这包括参数文件生成,系统调整和系统配置的文档。
-TAC. 集成 - 作为组件测试
作为分离在一起的离散组件的单个物品的测试和整合。这通常用于备件,替换部件或不会一起使用的物品。这些组件可以是或可能不是更大系统的一部分。