描述
设计特点
- 位置同步激光发射
- CNC多轴控制
- 2至32个轴轮廓
- 多维纠错
- 特殊密封连接器保持金属颗粒出
- 空气净化
- 被动空气隔离
- ALS5000XY / ATS2000LT / ASRT-245
- 450毫米×
- 1300毫米ÿ
- 300毫米ž
- ASRT-245十字轴
此高的精度,直接驱动,XY台架是用于添加制造,激光加工,或光学检查。用空气吹扫和特殊的连接器封闭阶段抗蚀剂微粒的侵入。高精度滚珠丝杠Z轴包括用于优异的精度和可重复性的线性编码器。该系统包括在花岗岩侧壁用于倾斜/旋转台架下面的部分的密封的旋转轴线。从干扰的系统性能的空气隔离的花岗岩地板最小化振动。
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