单轴QFOCUS QF50Z，显微镜物镜，压电纳米定位阶段亚博微信vip群

描述

设计特点

  • 400年μm闭环旅行;450年μm开环旅行
  • 杰出的步进定位和扫描性能
  • 设计用于更大，高钠目标
  • 优越的定位分辨率和线性度
  • 越来越多的灵活性
  • 直径29毫米清晰的孔径

Aerotech的QFOCUS®QF-50压电nanop亚博微信vip群ositioning阶段使显微镜物镜和光学定位在一个大的旅行(400μm CL 450μm OL)不牺牲速度或纳米级性能。

QF-50的设计是为了适应新的光学仪器和下一代激光微加工应用。由于高刚度机械设计，QF-50可以超越竞争的压电扫描仪提供更大，更高的数值孔径(NA)的目标。QF-50是高要求光学定位应用的理想选择，该应用要求高精度和高通量，并具有长行程。

精密的设计

QFOCUS QF-50压电级是由精确挠曲，优化使用有限元分析。由此产生的设计提供了突出的刚度和谐振频率，使高处理吞吐量和快速闭环响应。

除了设计为高动态，精心照顾的QF-50弯曲轴承的设计允许无与伦比的几何性能与直线度误差40纳米在整个旅行范围。

直接计量的反馈

QF-50压电级具有闭环反馈(-C)选项，采用独特的电容传感器设计，允许亚纳米级分辨率和高线性度。与箔应变计或压阻传感器不同，电容传感器提供了定位架的直接测量，具有较高的精度和可重复性。

灵活精密控制

当与Aerotech的q系列控制器和驱动器相结合时，QF-50显示出亚纳米级的定位分辨率和位置稳定性(jitter)，同时保持高定位带宽。大量的软件选项(Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer)提供了许多先进但易于使用的工具，比如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改进了跟踪错误和更快的步进稳定时间。OEM驱动选项也可用。

越来越多的灵活性

QFOCUS QF-50配有螺纹适配器，适用于大多数显微镜和物镜。显微镜炮塔安装允许快速和简单的定位QF-50在任何想要的方向。此外，在舞台主体上的攻丝孔为机器或其他光学仪器的自定义接口提供了替代安装。QF-50的标准光圈为29毫米。可提供定制的舞台设计、旅行和螺纹适配器。

QFOCUS-QF-50-1

规范

机械规范

模型 qf50z - 400
闭环旅行 400年μm
开环行程，-30到+ 150v(1) 450年μm
决议(2) 闭环 0.9纳米
开环 0.4纳米
线性(3、4) 0.01%
双向可重复性(5) 4纳米
球场 15μrad(3弧秒)
偏航 15μrad(3弧秒)
平直度(X, Y) 40海里
刚度(运动方向)(6) 0.41 N /μm
卸载共振频率(6) 400赫兹
谐振频率(150克负载)(6、7) 180赫兹
最大有效载荷(8) 1公斤
最大加速度(卸载)(9) 235米/秒2
移动物体(无目标) 75克
阶段质量(10) 0.21公斤
材料 阳极电镀铝/铜(11)
平均故障间隔时间 30000小时
  1. 值的±10%。
  2. 有关分辨率的描述，请参阅Piezo工程参考部分4.2。
  3. 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
  4. 有关线性和精度规范的描述，请参阅压电工程参考部分4.1。
  5. 指定为1西格玛(标准差)值(仅闭环反馈模型)。双向重复性的描述见Piezo工程参考部分4.3。
  6. 值的±20%。
  7. 负载共振可以随着目标尺寸/几何形状的变化而变化。
  8. 轴上加载上市。
  9. 列出的最大加速度是阶段机械限制。可实现的加速度是放大器选择和运动参数的函数。
  10. 阶段性肿块包括显微镜适配器(-MA1)和客观适配器(-OA1)。
  11. 外部元件为阳极化铝。用于螺纹适配器的黄铜。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。

电气规格

模型 qf50z - 400
驱动系统 压电多层堆叠致动器
反馈 闭环:电容式传感器(-C)
开环:None (-)
最大电压 - 30v到+ 150v
压电堆栈电容(1) 6.8µF
  1. 值的±20%

推荐的控制器

    系综 合奏QLAB
    合奏QDe
    合奏QLe
    合奏QL
    A3200 Ndrive QLe
    Ndrive QL
    1. 除非注明，否则QLAB、QDe或QLe驱动器必须符合所列规格。与QL驱动器一起使用时，请与Aerotech联系以了解具体规格。

    维

    订购信息

    QFOCUS™QF-50压电纳米定位阶段亚博微信vip群

    旅游(必需)

    选项 描述
    -400年 400年µm闭环旅行,460年µm开环旅行

    反馈(可选)

    选项 描述
    - c 电容传感器的反馈

    显微镜适配器(可选)

    选项 描述
    -MA1 W0.8 x 1/36"显微镜适配器
    -MA2 M19 x 0.75显微镜适配器
    马 M25 x 0.75显微镜适配器
    -MA4 M26 x 0.75显微镜适配器
    -MA5 M27 x 0.75显微镜适配器
    -MA6 M28 x 0.75显微镜适配器
    -MA7 M32 x 0.75显微镜适配器
    -MA8 M26 x 1/36"显微镜适配器

    客观的适配器(可选)

    选项 描述
    -OA1 W0.8 x 1/36"目标适配器
    -OA2 M19 x 0.75目标适配器
    -OA3 M25 x 0.75目标适配器
    -OA4 M26 x 0.75目标适配器
    -OA5 M27 x 0.75目标适配器
    -OA6 M28 x 0.75目标适配器
    -OA7 M32 x 0.75目标适配器
    -OA8 M26 x 1/36"客观适配器

    集成(必需)

    Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
    助教 集成—作为系统进行测试
    将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
    tac 集成——作为组件进行测试
    将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是，也可能不是更大系统的一部分。