QNP3三轴，平行运动，XYZ压电纳米定位阶段亚博微信vip群

描述

设计特点

  • 前往240μm x 240 x 25μmμm
  • 大的方形清晰孔径可达66毫米x66毫米
  • 优越的多轴精度通过并行运动设计
  • 高刚度和动力学导致高的过程吞吐量
  • 高精度无摩擦挠性制导
  • 正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能
  • 长设备生命周期
  • 优越的定位分辨率和线性与直接计量电容传感器的选择
  • 开环式和真空式

Aerotech的QNP3系列的XYZ并联运动压电定位阶段，在一个紧凑的低姿态封装中，结合了亚纳米分辨率、高动力学和优异的几何性能。QNP3系列压电阶段标准配备一个大的光圈与闭环旅行200µm x 200µm x 20µm(开环前往240µm x 240µm x 25µm)。该设计是理想的光学和扫描探针显微镜或其他检查或制造应用的双边部分访问需要与三个自由度的操作。

精密并行结构设计

QNP3压电级采用了平行运动弯曲和计量设计，确保最高水平的多轴精度。QNP3采用有限元优化的精密挠曲，以确保高刚度和长设备寿命，QNP3级提供一流的刚度和谐振频率，从而实现高工艺吞吐量和快速闭环响应。

使用正在申请专利的驱动设计，X和Y偏航误差最小化，同时仍然保持abbe兼容的计量系统。这种设计的结果，在整个XY旅行空间的定位性能无与伦比。z轴驱动器和电容传感器的设计是为了在垂直方向上以最小的几何误差提供符合abbe的反馈。

事实上性能

所有QNP3压电级均可采用闭环反馈(-C)或开环反馈(无反馈)。独特的电容式传感器平行计量设计，测量定位架的输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.01%，个位数纳米重复性。

超精密控制

当与Aerotech的q系列控制器和驱动器相结合时，QNP3级显示出亚纳米级的定位分辨率、位置稳定性(抖动)和高定位带宽。Aerotech的动态控制工具箱和运动设计包等软件选项提供了大量先进但易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，提供了改进的跟踪错误和更快的步进稳定时间。OEM驱动选项也可用。Aerotech的控制器架构很容易实现高速、严格控制的压电级、伺服、步进器和galvos之间的协调运动。

设计选项

一个可选的安装板提供直接安装英文或米制面包板光学表。一个坚实的桌面选项也是可用的。压电级可根据客户要求提供定制材料和真空制备的版本。


QNP3图1
QNP3图2
QNP3图3
QNP3图4
QNP3结算表

规范

机械规范

模型 qnp3 - 100 xyaz - 030 - 10 qnp3 - 100 xyaz - 100 - 10 qnp3 - 150 xyaz - 200 - 20
闭环行程(X X Y X Z) 30μm x 30μm x 10μm 100µm x 100 x 10µmµm 200乘以200乘以20
开环行程，-30到+ 150v(1) 36μm 36μm x 12μm 120µm x 120 x 12µmµm 240，嗯，240，嗯，25，嗯
决议(2) 闭环 0.1 nm (XY);0.15 nm (Z) 0.30 nm (XY);0.15 nm (Z) 0.4 nm (XY)， 0.15 nm (Z)
开环 0.03 nm (XY);0.05 nm (Z) 0.15 nm (XY);0.05 nm (Z) 0.2 nm (XY)， 0.1 nm (Z)
线性(3、4) 0.02% (XY);0.04% (Z) 0.01% (XY);0.02% (Z) 0.01% (XY);0.02% (Z)
双向可重复性(5) 4纳米(XY);3 nm (Z) 2 nm (XY);1纳米(Z) 2 nm (XY);2 nm (Z)
平直度 25 nm (XY);50海里(Z) < 10 nm (XY);< 20 nm (Z) 10 nm (XY);40 nm (Z)
平面度(超过XY行程) 10纳米 < 5海里 小于10纳米
球场 10μrad(2.1弧秒)(XY)
6μrad(1.2弧秒)(Z)		 2µrad(0.4弧秒)(XY);6µrad(1.2弧秒)(Z) 2 urad (0.4 arcsec) (XY);6 urad (1.2 arcsec) (Z)
偏航 5μrad(1角秒)(XY)
5μrad(1角秒)(Z)		 10µrad(2.1弧秒)(XY);5µrad(1角秒)(Z) 20个urad(4个arcsec) (XY);6 urad (1.2 arcsec) (Z)
刚度(运动方向)(6) 10 N /μm (XY);25 N /μm (Z) 1.9 N /µm (XY);13 N /µm (Z) 1.3 N /µm (XY);8.7 N /嗯(Z)
卸载共振频率(6) 1850赫兹(XY);2200赫兹(Z) 490赫兹(XY);1425赫兹(Z) 330赫兹(XY);910赫兹(Z)
谐振频率(200克负载)(6) 950赫兹(XY);1390赫兹(Z) 350赫兹(XY);910赫兹(Z) 260赫兹(XY);670赫兹(Z)
最大有效载荷(7) 1公斤 1公斤 3公斤
最大加速度(卸载)(8) 400米/秒2(XY);2000米/秒2(Z) 115米/秒2(XY);2000米/秒2(Z) 35米/ s2 (XY);1000米/ s2
移动质量(卸载) 0.24公斤(XY);0.05公斤(Z) 0.21公斤(XY);0.05公斤(Z) 0.58公斤(XY);0.10公斤
阶段质量 0.53公斤 0.56公斤 1.3公斤
材料 阳极电镀铝(9) 阳极电镀铝(9) 阳极电镀铝(9)
平均故障间隔时间 30000小时 30000小时 30000小时
  1. 值的±10%。
  2. 有关分辨率的描述，请参阅Piezo工程参考部分4.2。
  3. 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
  4. 用外部计量装置在车厢上方约15毫米处测量。有关线性和精度规范的描述，请参阅压电工程参考部分4.1。
  5. 指定为1西格玛(标准差)值(仅闭环反馈模型)。双向重复性的描述见Piezo工程参考部分4.3。
  6. 值的±20%。
  7. 轴上加载上市。
  8. 列出的最大加速度是阶段机械限制。可实现的加速是放大器选择和运动参数的函数。
  9. 外部元件为阳极化铝。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。
  10. 除非特别说明，否则列出的规格是按轴排列的。

电气规格

模型 qnp3 - 100 xyaz - 030 - 10 qnp3 - 100 xyaz - 100 - 10 qnp3 - 150 xyaz - 200 - 20
驱动系统 压电多层堆叠致动器
反馈 闭环:电容式传感器(-C)
开环:None (-)
最大电压 -30 V to + 150 V
压电堆栈电容(1) 每轴4.6μF () (XY);2μF (Z) 每轴3.2µF (XY);2µF (Z) 6.4 uF (XY，每轴);4.8超滤(Z)
  1. 值的±20%

推荐的控制器

系综 合奏QLAB
合奏QDe
合奏QLe
合奏QL(1)
A3200 Ndrive QLe
Ndrive QL(1)
  1. 除非注明，否则QLAB、QDe或QLe驱动器都需要达到所列规格。与QL驱动器一起使用时，请与Aerotech联系以了解具体规格。

维

订购信息

QNP3系列双轴XYZ压电纳米定位台亚博微信vip群

选项 描述
qnp3 - 100 xyaz - 030 - 10 QNP3 XYZ三轴压电nanopositionin亚博微信vip群g阶段,30μm x 30μm x 10μm闭环旅行
qnp3 - 100 xyaz - 100 - 10 QNP3 XYZ三轴压电nanopositionin亚博微信vip群g阶段,100年µm x 100µm x 10µm闭环旅行
qnp3 - 150 xyaz - 200 - 20 QNP3 XYZ三轴压电nanopositionin亚博微信vip群g阶段,200年µm x 200µm x 20µm闭环旅行

反馈(可选)

选项 描述
- c 电容传感器的反馈

安装板(可选)

选项 描述
国会议员 安装板适用于英制和米制的光学实验板

桌面(可选)

选项 描述
-TT1 实心米制台面，盖上光圈

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。

助教 集成—作为系统进行测试
将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是，也可能不是更大系统的一部分。