单轴QFOCUS QF46Z,显微镜物镜,压电纳米定位阶段亚博微信vip群
描述
设计特点
- 从100年300年μmμm旅行
- 高刚度和动力学导致杰出的步进定位和扫描性能
- 高精度无摩擦挠性制导
- 长设备生命周期
- 优越的定位分辨率和线性与直接计量电容传感器的选择
- 安装灵活性与各种螺纹适配器或安装孔自定义安装安排
- 清除孔径至29毫米直径
Aerotech的QFOCUS®QF46Z压电纳米定位台亚博微信vip群系列使显微镜物镜和光学定位具有纳米级的高速性能。在闭环旅行100μm和250μm(120μm和300μm开环),QF46Z提供长期旅行不牺牲和纳米精度动态操作。
QF46的设计考虑了下一代光学仪器和激光机器。例如,QF46Z由于其较高的固有刚度,在更大、更重、更高数值孔径(NA)的目标下可以比竞争产品表现得更好。QF46Z是完美的任何要求高的光学应用要求高精度和吞吐量与长途旅行。
精密机械结构
QFOCUS QF46Z压电级由精密挠曲引导,通过有限元分析优化,以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了突出的刚度和谐振频率,使高处理吞吐量和快速闭环响应。
此外,QF46Z已被设计为提供良好的几何性能(直线度和角度误差)的关键显微镜和光学定位应用。
高分辨率和定位精度
QF46Z压电级具有闭环反馈(-C)选项,采用独特的电容传感器设计,亚纳米级分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位架的输出,使其具有更高的精度和可重复性。
超精密控制
当与Aerotech的q系列控制器和驱动器相结合时,QF46Z显示出亚纳米级的定位分辨率、位置稳定性(抖动)和高定位带宽。Aerotech的动态控制工具箱和运动设计包等软件选项提供了大量先进但易于使用的工具,如学习控制、谐波消除和命令整形,提供了改进的跟踪错误和更快的步进稳定时间。OEM驱动选项也可用。
灵活性
QFOCUS QF46Z配有螺纹适配器,适用于大多数显微镜和物镜。该显微镜炮塔安装允许方便和快速定位的QF46Z在所需的方向。此外,在舞台主体上的攻丝孔为机器或其他光学仪器的自定义接口提供了替代安装。QF46Z的清晰光圈可达29毫米。可提供定制的舞台设计、旅行和螺纹适配器。
规范
机械规范
模型 | qf46z - 100 | qf46z - 250 | |
---|---|---|---|
闭环旅行 | 100年μm | 250年μm | |
开环行程,-30到+ 150v(1) | 120年μm | 300年µm | |
决议(2) | 闭环 | 0.30纳米 | 0.50纳米 |
开环 | 0.15纳米 | 0.2纳米 | |
线性(3、4) | 0.01% | 0.01% | |
双向可重复性(5) | 2.5纳米 | 3海里 | |
俯仰/偏航 | 10μrad(2.1弧秒) | 10μrad(2.1弧秒) | |
平直度(XY) | 15海里 | 15海里 | |
刚度(运动方向)(6) | 1.20 N /μm | 0.41 N /μm | |
卸载共振频率(6) | 750赫兹 | 430赫兹 | |
谐振频率(150克负载)(6、7) | 260赫兹 | 180赫兹 | |
最大有效载荷(8) | 1公斤 | 1公斤 | |
最大加速度(卸载)(9) | 350米/秒2 | 275米/秒2 | |
移动物体(无目标) | 56克 | 61克 | |
阶段质量(10) | 0.21公斤 | 0.21公斤 | |
材料 | 阳极电镀铝(11) | ||
平均故障间隔时间 | 30000小时 |
- 值的±10%。
- 有关分辨率的描述,请参阅Piezo工程参考部分4.2。
- 通过各阶段的验证(仅适用于闭环反馈模型)。
- 有关线性和精度规范的描述,请参阅压电工程参考部分4.1。
- 指定为1西格玛(标准差)值(仅闭环反馈模型)。双向重复性的描述见Piezo工程参考部分4.3。
- 值的±20%。
- 负载共振可以随着目标尺寸/几何形状的变化而变化。
- 轴上加载上市。
- 列出的最大加速度是阶段机械限制。可实现的加速度是放大器选择和运动参数的函数。
- 阶段性肿块包括显微镜适配器(-MA1)和客观适配器(-OA1)。
- 外部元件为阳极化铝。用于螺纹适配器的黄铜。一些不锈钢部件用于内部结构。其他要求提供的材料。
电气规格
模型 | qf46z - 100 | qf46z - 250 | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
驱动系统 | 压电多层堆叠致动器 | |||||||
反馈 | 闭环:电容式传感器(-C) 开环:None (-) |
|||||||
最大电压 | - 30v到+ 150v | |||||||
压电堆栈电容(1) | 1.6µF | 2.3µF |
- 值的±20%
推荐的控制器
系综 | 合奏QLAB 合奏QDe 合奏QLe 合奏QL |
A3200 | Ndrive QLe Ndrive QL |
- 除非注明,否则QLAB、QDe或QLe驱动器必须符合所列规格。与QL驱动器一起使用时,请与Aerotech联系以了解具体规格。
维
订购信息
QFOCUS™QF46Z压电纳米定位阶段亚博微信vip群
旅游(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-100年 | 100年µm闭环旅行,120年µm开环旅行 |
-250年 | 250年µm闭环旅行,300年µm开环旅行 |
反馈(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
- c | 电容传感器的反馈 |
显微镜适配器(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
-MA1 | W0.8 x 1/36 "显微镜适配器 |
-MA2 | M19 x 0.75显微镜适配器 |
马 | M25 x 0.75显微镜适配器 |
-MA4 | M26 x 0.75显微镜适配器 |
-MA5 | M27 x 0.75显微镜适配器 |
-MA6 | M28 x 0.75显微镜适配器 |
-MA7 | M32 x 0.75显微镜适配器 |
-MA8 | M26 x 1/36 "显微镜适配器 |
客观的适配器(可选)
选项 | 描述 |
---|---|
-OA1 | W0.8 x 1/36 "目标适配器 |
-OA2 | M19 x 0.75目标适配器 |
-OA3 | M25 x 0.75目标适配器 |
-OA4 | M26 x 0.75目标适配器 |
-OA5 | M27 x 0.75目标适配器 |
-OA6 | M28 x 0.75目标适配器 |
-OA7 | M32 x 0.75目标适配器 |
-OA8 | M26 x 1/36 "客观适配器 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。 | |
助教 | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是,也可能不是更大系统的一部分。 |