QNP-XY系列二轴,XY,压电纳米阶段亚博微信vip群

描述

设计特点

  • 旅游范围为100微米至600微米的可
  • 元件寿命长
  • 高精度,无摩擦的弯曲引导系统
  • 优越的定位分辨率和线性0.007%与直接计量电容传感器的选择
  • 与其他qnp系列压电纳米点定位器的安装兼容性
  • 开环式和真空式

Aerotech的QNP™-系列压电纳米定位级提供了紧凑、高刚度亚博微信vip群封装的纳米级性能。各种旅行(100μm 600μm)和反馈选项使这个理想解决方案应用程序从显微镜光学对齐。

高品质在一个紧凑的封装

QNP压电级是由精密挠曲引导,优化使用有限元分析,以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了突出的刚度和共振频率,使高处理吞吐量和快速闭环响应。此外,集成的XY封装使级栈高度和移动质量最小化,从而获得优异的静态和动态多轴性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电级均可选择闭环反馈,采用独特的电容式传感器设计,允许亚纳米级分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位架的输出,具有较高的精度和可重复性。

超精密控制

当与Aerotech的q系列控制器和驱动器相结合时,QNP压电纳米定位阶段显示出亚纳米定位分辨率和位置稳定性(抖动),以及高定位带宽。亚博微信vip群如Aerotech的动态控制工具箱和运动设计器包等软件选项提供了大量先进但易于使用的工具,如学习控制、谐波消除和命令整形,提供改进的跟踪错误和更快的步进和稳定时间。

自动参数校准鉴定是使用Aerotech的FlashConfig功能来完成。该级被自动识别和所有的操作参数,包括轴的校准数据被上传到控制器确保安全,准确和真正的“插头和播放”操作。

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设计灵活性

Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。开环为那些需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率,但不需要绝对定位精度和可重复性的应用程序提供了一种经济有效的选择。开环设计也可用于通过外部反馈源(干涉仪、视觉系统、光电探测器等)控制压电位置的场合。

一个可选的安装板提供直接安装到英制或公制试验板的光学表。所述QNP系列还包括-L并且其中共同行进与转接板一起安装-Z阶段。

所有QNP压电级可在真空制备版本的要求。

产品规格

机械规格

模型 qnp40xy - 100 QNP50XY-250 qnp60xy - 500
闭环旅行 100微米 250年µm 500微米
开环行程,-30到+ 150v(1) 120年µm 300年µm 600微米
决议(2) 闭环 0.30纳米 0.50纳米 0.90纳米
开环 0.15纳米 0.20纳米 0.40纳米
线性(3,4) 0.01% 0.01% 0.007%
双向重复性(5) 2纳米 2纳米 5海里
俯仰/偏航 6µrad(1.2弧秒) 6µrad(1.2弧秒) 12微弧度(2.5弧秒)
刚度(运动方向)(6) 1.05 N /微米 0.36 N /微米 0.24 N /µm
卸载共振频率(6) 顶部轴 885赫兹 445赫兹 315赫兹
底部轴 635赫兹 295赫兹 200赫兹
共振频率
(50克载荷)(6)
顶部轴 495赫兹 305赫兹 240赫兹
底部轴 335赫兹 240赫兹 170赫兹
最大加速度
(卸载)(7)
顶部轴 600米/秒2 370米/ s的2 210米/秒2
底部轴 320米/秒2 160米/ s的2 90米/ s的2
移动质量(空载) 顶部轴 42克 56克 98克
底部轴 79克 126克 217克
最大有效载荷(8) 1公斤 1公斤 1公斤
级质谱 0.11公斤 0.17公斤 0.27公斤
材料 阳极电镀铝(9)
平均故障间隔时间 30000小时
  1. 值±10%。
  2. 看到压电工程参考第4.2节对于分辨率的说明。
  3. 每个阶段(闭环反馈仅模型)认证。
  4. 由外部测量装置测得的滑架之上约15毫米。看到压电技术参考4.1节用于描述线性度规范。
  5. 指定为1个西格玛(标准偏差)的值(闭环反馈仅型号)。看到压电技术参考4.3节双向重复性的描述。
  6. 值的±20%。
  7. 轴上加载上市。
  8. 需要合适的放大器来实现列出的值的选择。
  9. 外部元件被阳极化的铝。一些不锈钢组件在内部结构中使用。根据要求的其他材料。
  10. 规格测量居中并在输出台车的上方大约15毫米的高度。

电气规格

模型 qnp40xy - 100 QNP50XY-250 qnp60xy - 500
驱动系统 压电多层堆叠致动器
反馈 闭环:电容式传感器(-C)
开环:无( - )
电压范围 -30 V至+ 150V
压电堆叠电容(1) 1.6µF 2.3μF 6.4μF

笔记:
1.值±20%

推荐控制器

系综 乐团QLAB
乐团QDE
乐团QLE
合奏QL
A3200 Ndrive QLe
Ndrive QL

笔记:
1.除非指出,需要QLAB,QDE或QLE驱动器来实现所列出的规格。联系艾特航空的规格与QL驱动器使用时。

  • QNP-XY情节
    QNP-XY线性误差图

外形尺寸

订购信息

QNP-XY系列单轴高动态压电纳米定位台亚博微信vip群

选项 描述
qnp40xy - 100 QNP40XY-100两轴XY压电纳米级,100×100微米亚博微信vip群CL旅行
QNP50XY-250 QNP50XY-250两轴XY压电纳米级,250×250微米亚博微信vip群CL旅行
qnp60xy - 500 qnp60xy - 500双轴XY压电nanopositio亚博微信vip群ning阶段,500 x 500µm CL旅行

反馈(可选)

选项 描述
- c 电容传感器的反馈

安装板(可选)

选项 描述
-MP 为英制和公制光学平台表安装板

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望获得系统的定制集成支持,请咨询Aerotech。
μ-TAS 集成测试系统
测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。

适配器板(被排序为一个独立的项目)

选项 描述
AP-QNP250XY-100Z 转接板,低级:QNP250XY,上部:QNP100Z
AP-QNP500XY-100Z,250Z 转接板,低级:QNP500XY,上部:QNP100Z / 250Z