MPS75SL微型机械轴承丝杠驱动的直线运动平台

描述

设计特点

  • 紧凑75mm宽旅行至100mm
  • 精密研磨滚珠丝杆传动
  • 直流伺服电机或步进电机
  • 抗蠕变交叉滚子轴承
  • 高分辨率(0.1微米),重复性(±0.75微米)和准确度(±1.0微米)
  • 高真空兼容
  • 可选波纹管waycovers
  • 紧凑多轴配置

所述MPS75SL是一个紧凑的,高性能的线性定位阶段,是完美的实验室的限制,同时提供在生产环境中所要求的高可靠性。它是用于测量,检测,精确的对准和安装件组件的理想选择。

高精确度

的精密研磨滚珠丝杠提供特殊的精度,可重复性和超精细定位分辨能力至0.1微米。的DC伺服电动机配备有旋转编码器。抗蠕变交叉滚子直线轴承提供光滑旅行和优异的有效载荷特性。

可选真空准备

所述MPS75SL是提供可选的真空制备10-6托。它是诸如半导体制造和检验,光学制造和军事/航空市场中的当今要求苛刻的真空应用的理想紧凑级的选择。

高度可配置

可选的线路板安装板提供了直接安装到英制和公制面包板。波纹管waycovers可用于在多尘的环境中使用。任何模型的可被安装在XY配置,并与直角L形托架,在XYZ配置。它也可以安装有较小MPS50SL阶段。

该MPS75SL是MPS(微型定位平台)家族线性,旋转式,测角仪和垂直升降机和Z级中的构件。两个或更多个阶段可以方便地在使用标准化安装模式和适配器板许多组合安装在一起。

产品规格

机械规格

模型 MPS75SL-025 MPS75SL-050 MPS75SL-075 MPS75SL-100
旅行 25毫米 50毫米 75毫米 100毫米
准确性 未校准 ±2.5微米 ±3.0微米 ±3.5微米 ±4.0μm的
与波纹管未校准 ±3.5微米 ±4.0μm的 ±4.5微米 ±5.0微米
校准(1) ±1.0μm的 ±1.0μm的 ±1.5微米 ±1.5微米
分辨率(最小增量运动) 0.1微米
重复性(双向)(1) ±0.75微米(标准);±1.2微米(用波纹管)
直线 ±2.0微米 ±2.0微米 ±3.0微米 ±3.0微米
平整度 ±2.0微米 ±2.0微米 ±3.0微米 ±3.0微米
最大速度 1.0毫米/转
滚珠丝杠
直流电动机(-M1) 50毫米/ s的 50毫米/ s的 50毫米/ s的 35毫米/ s的
步进电机(-M2) 30毫米/ s的 30毫米/ s的 30毫米/ s的 30毫米/ s的
装载能力(2) 15公斤
15公斤
垂直 4公斤
级质谱 1.7公斤 1.8公斤 1.9公斤 2.0公斤
材料 阳极氧化铝主体
  1. 随着艾特航空控制器。
  2. 有效载荷规范是单轴系统。
  3. 过度的占空比可能会影响舞台的准确性。
  4. 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。
  5. 联系工厂与波纹管的选择阶段的规格。

电气规格

模型 直流电动机(-M1)
(标准和VAC)
步进电机(-M2)
(标准和VAC)
驱动系统 直流无刷伺服电机 24 VDC双极步进电机
反馈 万线/转旋转编码器 N / A
电子解决方案 0.025微米 0.025微米@ 40000步/转电机分辨率
最大总线电压 48 VDC 48 VDC *
限位开关 5V,常闭
    *具有艾特航空控制系统。

推荐控制器

模型
多轴 A3200 Npaq/Npaq MR/NDRIVE MP
合奏 合奏LAB /Epaq/Epaq MR/乐团MP
单轴 独奏者 独奏MP
  • MPS75SL负荷曲线

外形尺寸

订购信息

MPS75SL微型机械轴承丝杠驱动的直线运动平台

旅游(必填)

选项 描述
-025 25毫米行驶档
-050 50毫米行程阶段
-075 75毫米行程阶段
-100 百毫米行程阶段

真空制备(可选)

选项 描述
-HV 高真空制备10-6

电机(必需)

选项 描述
-M1 直流伺服电机
-M2 步进电机

波纹管(可选)

选项 描述
-BL 波纹管waycover
      注:波纹管waycover不可用-HV真空准备。

安装板(可选)

选项 描述
-MP 光学平台安装板

计量(必需)

选项 描述
-PL0 无计量性能曲线
-PL1 计量,具有性能地块未校准
-PL2 计量,校准(HALAR)与性能曲线

集成(必需)

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。

选项 描述
μ-TAS 集成 - 测试的系统
测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。

附件(订购作为单独的行项目)

选项 描述
HDZ-MPS75SL 直角支架,MPS75SL
HDZ-MPS75SL-HV 直角支架,MPS75SL,高真空制备10-6