MPS75SLE微型机械轴承螺旋驱动线性级与线性反馈

描述

设计特点

  • 紧凑的舞台与旅行到100毫米
  • 低热膨胀玻璃刻度线性编码器
  • 精密研磨滚珠丝杆传动
  • 直流伺服或步进电机
  • 抗蠕动crossed-roller轴承
  • 高分辨率(0.025µm),重复性(±0.1µm)和准确性(±0.75µm)
  • 可选的波纹管waycovers
  • 紧凑的多轴配置

Aerotech的MPS75SLE是一种紧凑、高性能的线性定位平台,通过线性编码器提供直接的测量反馈。MPS75SLE是用于光学定位、表面测量传感器z轴定位或高精度校准的理想高精度工作台。多轴舞台配置可以很容易地组装与其他MPS线性和旋转舞台使用大量的适配器托架和安装兼容性固有的整个MPS舞台家族。

极其精确的设计

精密研磨,预加载滚珠丝杆与线性编码器相结合,提供了卓越的精度,重复性和25纳米的定位分辨率能力。防蠕变交叉滚子轴承提供了非常平稳的旅行和高负荷能力在一个紧凑的包。

与使用钢材(13ppm /˚C)或拥有8ppm /˚C热膨胀系数的玻璃秤不同,MPS75SLE拥有低热膨胀(3.3 ppm/˚C)的精密玻璃秤,可以长时间高精度、可重复定位。线性编码器可与放大正弦(1 Vpp)或50 nm TTL数字输出,便于与所有标准控制器集成。

高度可配置的

MPS75SLE电机选项包括带有高分辨率旋转编码器的直流伺服电机或步进电机。就像MPS75SL一样,SLE也有或没有可选的风箱盖。

一个可选的安装板提供直接安装到英制和米制光学实验板。所有MPS级的固有安装兼容性允许在多轴布置中进行简单安装。

规范

机械规范

模型 mps75sle - 025 mps75sle - 050 mps75sle - 075 mps75sle - 100
旅行 25毫米 50毫米 75毫米 100毫米
精度 未校准 ±1.75µm ±2.25µm ±2.75µm ±3.25µm
无标定与波纹管 ±2.75µm ±3.25µm ±3.75µm ±4.25µm
校准(1) ±0.75µm ±0.75µm ±1.0µm ±1.0µm
分辨率(最小增量运动)(2) 0.025µm
重复性(双向)(2) ±0.1µm(标准);±0.2µm(波纹管)
平直度 ±2.0µm ±2.0µm ±3.0µm ±3.0µm
平面度 ±2.0µm ±2.0µm ±3.0µm ±3.0µm
最大速度 1.0毫米/牧师
滚珠螺杆
直流电机(m1) 50毫米/秒 50毫米/秒 50毫米/秒 35毫米/秒
步进电机(平方米) 30毫米/秒 30毫米/秒 30毫米/秒 30毫米/秒
负载能力(3) 水平 15公斤
一边 15公斤
垂直 4公斤
阶段质量 2.3公斤 2.4公斤 2.5公斤 2.6公斤
材料 阳极电镀铝的身体
  1. 可与航空技术控制器。
  2. 分辨率和可重复性规范适用于在双回路模式下运行的系统,在旋转编码器和线性编码器上的反馈分辨率均为25nm。亚博登录平台
  3. 载荷规格是单轴的。
  4. 规格为单轴系统测量桌面以上25毫米。
  5. 如果需要带波纹管的工作台的规格,请与工厂联系。

电气规格

模型 直流电机 步进电机
驱动系统 直流伺服电动机刷 24 VDC双极步进电机
反馈(线性编码器) 非接触线性编码器;
放大正弦和TTL版本可用
反馈(旋转电机编码器) 10,000线/转速旋转编码器 N/A
最大总线电压 48 VDC(1)
旋转编码器的电子分辨率 0.025µm 0.025µm @ 40000步/转速电动机分辨率
线性编码器的电子分辨率 20µm基本0.05µm LTX100选项;
放大正弦(-AS)选项允许电子分辨率低于1纳米亚博登录平台(2)
限位开关 5 v,常闭
  1. 用Aerotech控制系统。
  2. 为了获得最佳性能,Aerotech建议使用0.025µm最高分辨率在使用线性编码器作为伺服反馈回路的一部分(例如,dual-loop)。

推荐的控制器

模型
多轴 A3200 Npaq/Npaq先生/Ndrive议员
系综 整体实验室/Epaq/Epaq先生/全体议员
单轴 独奏者 独奏者议员
  • MPS75SLE步骤图
  • MPS75SL负荷曲线

订购信息

MPS75SLE微型机械轴承螺旋驱动线性级与线性反馈

直接线性反馈(需要)

选项 描述
e1 增量线性编码器;1 Vpp
e2 增量线性编码器;0.05µm数字TTL输出

旅游(必需)

选项 描述
-025年 25毫米移动级
-050年 50毫米移动级
-075年 75毫米移动级
-100年 100毫米移动级

电动机(必需)

选项 描述
m1 直流伺服电动机
平方米 步进电机

波纹管(可选)

选项 描述
提单 波纹管waycover

安装板(可选)

选项 描述
国会议员 光学工作台安装板

计量(必需)

选项 描述
-PL0 无计量业绩图
pl1 计量学,未用性能图校准
-PL2 使用性能图进行计量、校准(HALAR)

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望获得系统的定制集成支持,请咨询Aerotech。

选项 描述
助教 集成测试系统
将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分,也可能不是。

附件(作为单独的行项目订购)

选项 描述
HDZ-MPS75SL 右尖括号,MPS75SL