空气轴承直接驱动线性级
描述
设计特点
- 为高性能扫描和检测而设计
- 所有空气轴承表面的主动空气预紧力
- 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
- 高刚度的重型负荷和优良的几何性能
- 行程可达500毫米
领先的制造业，特别是在半导体和数据存储行业，要求定位公差超过传统的滚珠丝杆和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承阶段，其充分主动预载，特别高的刚度和优良的几何特性是专门为满足这些要求。
空气轴承设计，高动态性能
ABL1500在垂直和水平表面都采用了空气对空气的预紧力。相反的薄膜压力保持轴承的公称间隙公差。这种设计，除了大的空气轴承表面，将负载分布在一个大的表面积，结果在一个突出的刚度阶段，是理想的重型或偏置负载。
专有的制造技术导致了一个无与伦比的几何特征的阶段。空气轴承有一个固有的平均效应，使性能最大化。该薄膜将填补小的表面空隙，并允许其他不规则。这一特点产生优越的俯仰，滚，偏航，直线度和平面规格。
直线电机驱动
这一阶段背后的驱动力是Aerotech公司的BLMC系列无刷直线伺服电机。Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验在本次设计中得到了体现。BLMC使用了一种无铁的力量，这意味着没有齿轮和吸引力，导致无与伦比的平滑的运动。能够产生高的力量和速度，BLMC代表的权力和性能的最终组合。
零维护
我们的全非接触式空气轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置确保了多年的免维护运行，达到了航空技术设备所期望的高性能水平。由于在移动的元件之间没有机械接触，ABL1500不会随着时间的推移而磨损或降低性能。使用寿命几乎是无限的，因为没有润滑-只有清洁，干燥气体-空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。
有线电视管理
我们精心优化电缆弯曲半径，确保多年无故障运行。在不太可能发生的故障情况下，Aerotech的模块化设计使电缆更换快速、简单，停机时间最短。我们在CMS包中包含所有客户需要的电缆、空气软管等，以方便集成到最终系统中。两端完全连接，以便简单地集成到客户的机器中。
规范
机械规范
| 模型 | abl1500 - 050 | abl1500 - 100 | abl1500 - 200 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
| 精度(1) | E1 | 校准 | ±0.3µm | ±0.3µm | ±0.5µm |
| 标准 | ±2.0µm | ±4.0µm | ±8.0µm | ||
| E3 | 校准 | ±0.2µm | ±0.2µm | ±0.4µm | |
| 标准 | ±1.0µm | ±2.0µm | ±5.0µm | ||
| 可重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.1µm | ±0.2µm | ||
| E3 | ±0.05µm | ±0.05µm | ±0.1µm | ||
| 平直度(1) | ±0.25µm | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
| 平面度(1) | ±0.25µm | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
| 球场 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
| 卷 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
| 偏航 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
| 最大速度 | 2米/秒 | ||||
| 最大加速度 | 2g(空载) | ||||
| 最大力量(连续) | 93.6 N | ||||
| 负载能力(2) | 水平 | 35公斤 | |||
| 一边 | 25公斤 | ||||
| 操作压力 | 80psi±5psig | ||||
| 空气消耗量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
| 移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
| 阶段质量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
| 材料 | 铝 | ||||
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | ||||
- 每一阶段认证。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
- 为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器/放大器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。亚博微信vip群
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
- 对于XY配置，最大上轴行程是200毫米。如果上轴的行程大于200毫米，但等于或小于500毫米，则需要一个ABL1500WB作为下轴。
| 模型 | abl1500 - 300 | abl1500 - 400 | abl1500 - 500 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
| 精度(1) | E1 | 校准 | ±0.5µm | ±0.6µm | ±0.6µm |
| 标准 | ±12.0µm | ±16.0µm | ±20.0µm | ||
| E3 | 校准 | ±0.4µm | ±0.5µm | ±0.5µm | |
| 标准 | ±5.0µm | ±5.0µm | ±5.0µm | ||
| 可重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.2µm | ±0.3µm | ||
| E3 | ±0.15µm | ±0.2µm | |||
| 平直度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0µm | ||
| 平面度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0µm | ||
| 球场 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
| 卷 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
| 偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
| 最大速度 | 2米/秒 | ||||
| 最大加速度 | 2g(空载) | ||||
| 最大力量(连续) | 93.6 N | ||||
| 负载能力(2) | 水平 | 35公斤 | |||
| 一边 | 25公斤 | ||||
| 操作压力 | 80psi±5psig | ||||
| 空气消耗量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
| 移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
| 阶段质量 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
| 材料 | 铝 | ||||
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | ||||
- 每一阶段认证。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
- 为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器/放大器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。亚博微信vip群
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
- 对于XY配置，最大上轴行程是200毫米。如果上轴的行程大于200毫米，但等于或小于500毫米，则需要一个ABL1500WB作为下轴。
电气规格
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
| 反馈 | 非接触式线性编码器(参见订单信息页面上的信号周期选项) |
| 最大总线电压 | 高达80伏直流电 |
| 限位开关 | 5v，常闭 |
| 家里的开关 | 在中心附近 |
推荐的控制器
| 多轴 | A3200 | Ndrive议员/Ndrive CP/Ndrive对待/Npaq混频器 |
| 系综 | 全体议员/合奏CP/整体对待/Epaq | |
| 单轴 | 独奏者 | 独奏者议员/独奏者CP/独奏者对待 |
-
ABL1500Spec 
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ABL1500Spec-2 
维
-
ABL1500 
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订购信息
空气轴承直接驱动线性级
旅游(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -050年 | 50 mm旅行 |
| -100年 | 100毫米的旅行 |
| -200年 | 200毫米的旅行 |
| -300年 | 300毫米的旅行 |
| -400年 | 400毫米的旅行 |
| -500年 | 500毫米的旅行 |
反馈(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| e1 | 增量式线性编码器，1 Vpp放大正弦输出 |
| e2 | 增量线性编码器,0.1µm TTL线路驱动器输出 |
| e3 | 高精度增量式线性编码器，1 Vpp放大正弦输出 |
电缆管理(要求)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMS1 | 单轴电缆管理系统 |
| -CMS2 | XY总装电缆管理系统 |
| -CMS3 | 电缆管理系统为Y轴，仅上轴 |
| -CMS4 | 电缆管理系统为YZ组装，上轴只 |
计量(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| pl1 | 计量学，未用性能图校准 |
| -PL2 | 用性能图校准(HALAR)的计量学 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是，也可能不是更大系统的一部分。 |
附件(作为单独的行项目订购)
| 描述 | |
|---|---|
| ALIGN-NPA | Non-precision XY组装 |
| ALIGN-PA10 | XY组装;10弧秒正交性。短行程级校正至7微米内的正交性。 |
| ALIGN-PA5 | XY组装;5弧秒正交性。在短行程阶段对准到3微米内的正交性。 |
| 沛富 | 空气轴承过滤设备 |