ABL1500WB空气轴承直接驱动线性阶段

描述

设计特点

  • 对于大的偏移负载宽基
  • 强大的双线性电机驱动
  • 为高性能扫描和检测而设计
  • 所有空气轴承表面上主动式空气预紧
  • 线性编码器反馈提供了亚纳米级分辨率
  • 高刚度重载荷以及优良的几何性能
  • 四种型号为200mm至500mm行程

ABL1500WB是ABL1500系列空气轴承级的宽底座版本。更宽的底座使ABL1500WB非常适合于大偏置负载的应用,它也非常适合作为XY级大行程系统的下轴。ABL1500WB采用了双线性电机,有效地将标准ABL1500级的输出功率提高了一倍。

前沿行业,特别是在半导体和高性能的测试和测量领域,需求定位公差超出现有技术的滚珠螺杆和机械轴承定位系统的能力。的ABL1500WB,其完全活性预紧力,异常高的刚度,以及优良的几何特征是专门设计来满足这些需求。

空气轴承设计,高动态性能

在ABL1500WB结合两者上垂直和水平表面的空气在空气上的预载荷。相对的薄膜压力维持轴承标称间隙公差。这样的设计,除了可在一较大的表面积分配负载大空气支承面,导致具有优异的硬度的阶段,是理想的重或偏载。

Aerotech的专有制造技术使其产品具有无与伦比的几何特性,通过提供卓越的俯仰、滚转、偏航、直线度和平直度指标,使性能最大化。

直线电机驱动

这一阶段背后的驱动力是Aerotech公司的BLMC系列无刷直线伺服电机。BLMC采用无铁forcer,这意味着没有齿轮和吸引力,导致无与伦比的流畅的运动。

零维护

我们完全非接触式空气轴承,非接触式直线电机驱动器和非接触反馈装置确保年内免维护操作在预期的艾特航空设备的卓越性能。因为活动元件之间没有机械接触,所以ABL1500WB经历随时间的性能没有磨损或减少。使用寿命几乎是无限的,因为没有润滑性 - 只有清洁,干燥气体的空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。

电缆管理

我们仔细优化了电缆的弯曲半径,以保证多年无故障运行。在出现故障的异常情况下,艾特航空的模块化设计使得电缆更换快捷方便用最少的停机时间。

我们包括所有客户所需的电缆,空气软管等,在我们的CMS束,以便于融入最终的系统。两端都完全连接器连接于简单地集成到客户的机器。

产品规格

机械规格

模型 ABL1500WB-200 ABL1500WB-300 abl1500wb - 400 abl1500wb - 500
旅行 200毫米 300毫米 400毫米 500毫米
精度(1) E1 校准 ±0.5微米 ±0.5微米 ±0.6微米 ±0.6微米
标准 ±8.0µm ±12.0微米 ±16.0µm ±20.0微米
E3 校准 ±0.4微米 ±0.4微米 ±0.5微米 ±0.5微米
标准 ±5.0微米 ±5.0微米 ±5.0微米 ±5.0微米
重复性(双向)(1) E1 ±0.2微米 ±0.3µm
E3 ±0.1μm的 ±0.15µm ±0.2微米
直线(1) ±0.5微米 ±0.75微米 ±1.5微米 ±2.0µm
平面度(1) ±0.5微米 ±0.75微米 ±1.5微米 ±2.0µm
球场 ±2弧秒 ±3弧秒 ±4弧秒 ±5弧秒
±2弧秒 ±3弧秒 ±4弧秒 ±5弧秒
偏航 ±2弧秒 ±3弧秒 ±4弧秒 ±5弧秒
最大速度 2米/秒
最大加速度 将2g(无负载)
最大力量(连续) 187.2 N
装载能力(2) 水平 60公斤
一边 25公斤
运营压力 80psi的±5磅
空气消耗量 32-40 SLPM @ 552千帕(1.13-1.4 SCFM @ 5.52巴)
移动质量(空载) 11.5公斤
级质谱 39.8公斤 45.0公斤 50.3公斤 55.5公斤
材料
平均故障间隔时间 30000小时
  1. 每个阶段的认证。
  2. 列出了轴上加载的轴方向。
  3. 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
  4. 为了保护空气轴承不受压力影响,建议在运动控制器/放大器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。亚博微信vip群
  5. 空气供应必须保持清洁,干燥至0°F露点,并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9%的氮气推荐。
  6. 对于XY配置,最大上轴行程为500毫米。

电气规格

驱动系统 无刷线性伺服电机
反馈 非接触式线性编码器(订单信息页面上看到的信号周期选项)
最大总线电压 高达80 VDC
限位开关 5 V,常闭
家里的开关 近中心

推荐控制器

多轴 A3200 Ndrive议员/NDRIVE CP/Ndrive对待/Npaq混频器
系综 乐团MP/合奏CP/乐团HLE/Epaq
单轴 独奏者 独奏MP/独奏者CP/独奏者对待
  • ABL1500WB

外形尺寸

订购信息

ABL1500WB空气轴承直接驱动线性阶段

旅游(必填)

选项 描述
-200 200毫米旅游
-300 300毫米的旅行
-400年 400毫米旅游
-500年 500毫米的旅行

反馈(必填)

选项 描述
e1 增量式线性编码器,1 Vpp放大正弦输出
e2 增量线性编码器,0.1μm的TTL线路驱动器输出
e3 高精度增量线性编码器,1 VPP放大正弦输出

电缆管理(必需)

选项 描述
-CMS1 单轴电缆管理系统
-CMS2 XY装配电缆管理系统
-CMS3 XYZ轴电缆管理系统

计量(必需)

选项 描述
-PL1 计量学,未用性能图校准
-PL2 使用性能图进行计量、校准(HALAR)

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望获得系统的定制集成支持,请咨询Aerotech。

选项 描述
μ-TAS 集成测试系统
将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。

附件(排序为一个独立的项目)

选项 描述
ALIGN-NPA Non-precision XY组装
ALIGN-PA10 XY组装;10弧秒正交性。短行程级对准到7微米内的正交角。
ALIGN-PA5 XY组装;5弧秒正交性。短行程级对准到3微米内的正交性。
ABF 空气轴承过滤试剂盒