ABL1500空气轴承直接驱动直线工作台
描述
设计特点
- 设计用于高性能扫描和检查
- 所有空气轴承表面的主动空气预紧力
- 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
- 高刚度的重载和优良的几何性能
- 行程可达500毫米
尖端制造业，特别是半导体和数据存储行业，要求定位公差超过传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承平台具有完全主动预紧力、超高刚度和优异的几何特性，是专门为满足这些需求而设计的。
高动态性能的空气轴承设计
ABL1500在垂直和水平表面都有空气对空气预紧力。相反的薄膜压力保持轴承公称间隙公差。这种设计，除了大的空气轴承表面分布在一个大的表面积上的负载，结果具有卓越的刚度，是重型或偏置负载的理想选择。
专有的制造技术使舞台具有无与伦比的几何特征。空气轴承具有固有的平均效应，使性能最大化。这种薄膜将填充表面的小空隙，并允许其他不规则的现象发生。这种特性产生优越的俯仰、横摇、偏航、直线度和平整度规格。
直线电机驱动
这一阶段背后的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。Aerotech作为发动机制造商的悠久历史和经验在这个设计中得到了体现。BLMC采用了一种无铁锻造器，这意味着零齿槽和没有吸引力，导致了无与伦比的运动平稳性。BLMC能够产生高强度和高速度，代表了功率和性能的最终结合。
零维护
我们的完全非接触式空气轴承，非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置确保多年的免维护运行在高性能水平，这是对航空技术设备的期望。由于运动元件之间没有机械接触，ABL1500不会随着时间的推移而出现磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的，由于没有润滑-只有清洁，干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。
有线电视管理
我们精心优化电缆弯曲半径，确保多年无故障运行。在不太可能发生故障的情况下，Aerotech的模块化设计使电缆更换快速和容易，停机时间最小。我们将所有客户需要的电缆、空气软管等包含在CMS包中，以便于集成到最终系统中。两端完全连接，以便简单地集成到客户的机器中。
规范
机械规范
| 模型 | abl1500 - 050 | abl1500 - 100 | abl1500 - 200 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
| 精度(1) | E1 | 校准 | ±0.3µm | ±0.3µm | ±0.5µm |
| 标准 | ±2.0µm | ±4.0µm | ±8.0µm | ||
| E3 | 校准 | ±0.2µm | ±0.2µm | ±0.4µm | |
| 标准 | ±1.0µm | ±2.0µm | ±5.0µm | ||
| 可重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.1µm | ±0.2µm | ||
| E3 | ±0.05µm | ±0.05µm | ±0.1µm | ||
| 平直度(1) | ±0.25µm | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
| 平面度(1) | ±0.25µm | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
| 球场 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
| 卷 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
| 偏航 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
| 最大速度 | 2米/秒 | ||||
| 最大加速度 | 2g(空载) | ||||
| 最大力量(连续) | 93.6 N | ||||
| 负载能力(2) | 水平 | 35公斤 | |||
| 一边 | 25公斤 | ||||
| 操作压力 | 80 psi±5 psig | ||||
| 空气消耗量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
| 移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
| 阶段质量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
| 材料 | 铝 | ||||
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | ||||
- 每个阶段都有认证。
- 轴上加载的轴方向被列出。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。如果需要多轴或非标准应用，请咨询工厂。
- 为了保护空气轴承免受欠压，建议将在线压力开关连接到运动控制器/放大器的ESTOP输入端。亚博微信vip群
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;推荐使用纯度为99.9%的氮气。
- 对于XY配置，最大上轴行程是200毫米。上轴行程大于200mm，等于或小于500mm时，需要ABL1500WB作为下轴。
| 模型 | abl1500 - 300 | abl1500 - 400 | abl1500 - 500 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
| 精度(1) | E1 | 校准 | ±0.5µm | ±0.6µm | ±0.6µm |
| 标准 | ±12.0µm | ±16.0µm | ±20.0µm | ||
| E3 | 校准 | ±0.4µm | ±0.5µm | ±0.5µm | |
| 标准 | ±5.0µm | ±5.0µm | ±5.0µm | ||
| 可重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.2µm | ±0.3µm | ||
| E3 | ±0.15µm | ±0.2µm | |||
| 平直度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0µm | ||
| 平面度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0µm | ||
| 球场 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
| 卷 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
| 偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
| 最大速度 | 2米/秒 | ||||
| 最大加速度 | 2g(空载) | ||||
| 最大力量(连续) | 93.6 N | ||||
| 负载能力(2) | 水平 | 35公斤 | |||
| 一边 | 25公斤 | ||||
| 操作压力 | 80 psi±5 psig | ||||
| 空气消耗量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
| 移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
| 阶段质量 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
| 材料 | 铝 | ||||
| 平均故障间隔时间 | 30000小时 | ||||
- 每个阶段都有认证。
- 轴上加载的轴方向被列出。
- 规格为单轴系统测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。如果需要多轴或非标准应用，请咨询工厂。
- 为了保护空气轴承免受欠压，建议将在线压力开关连接到运动控制器/放大器的ESTOP输入端。亚博微信vip群
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;推荐使用纯度为99.9%的氮气。
- 对于XY配置，最大上轴行程是200毫米。上轴行程大于200mm，等于或小于500mm时，需要ABL1500WB作为下轴。
电气规格
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
| 反馈 | 非接触式线性编码器(请参阅订单信息页面上的信号周期选项) |
| 最大总线电压 | 高达80伏直流 |
| 限位开关 | 5v，常闭 |
| 家里的开关 | 在中心附近 |
推荐的控制器
| 多轴 | A3200 | Ndrive议员/Ndrive CP/Ndrive对待/Npaq混频器 |
| 系综 | 全体议员/合奏CP/整体对待/Epaq | |
| 单轴 | 独奏者 | 独奏者议员/独奏者CP/独奏者对待 |
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ABL1500Spec 
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ABL1500Spec-2 
维
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ABL1500 
放大的图像
订购信息
ABL1500空气轴承直接驱动直线工作台
旅游(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -050年 | 50 mm旅行 |
| -100年 | 100毫米的旅行 |
| -200年 | 200毫米的旅行 |
| -300年 | 300毫米的旅行 |
| -400年 | 400毫米的旅行 |
| -500年 | 500毫米的旅行 |
反馈(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| e1 | 增量式线性编码器，1 Vpp放大正弦输出 |
| e2 | 增量线性编码器,0.1µm TTL线路驱动器输出 |
| e3 | 高精度增量式线性编码器，1 Vpp放大正弦输出 |
电缆管理(要求)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMS1 | 单轴电缆管理系统 |
| -CMS2 | XY装配电缆管理系统 |
| -CMS3 | 电缆管理系统为Y轴，仅供上轴使用 |
| -CMS4 | 电缆管理系统为YZ组件，仅上轴 |
计量(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| pl1 | 计量学，未用性能图校准 |
| -PL2 | 用性能图校准的计量学(哈拉) |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务，以帮助您使您的系统尽可能快地完全运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要何种级别的集成，或者您希望与您的系统自定义集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成-作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和记录(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 测试和集成单独的项目作为离散的组成部分，一起运输。这通常用于备件、替换部件或将不一起使用的项目。这些组件可能是，也可能不是更大系统的一部分。 |
附件(作为单独的线项目订购)
| 描述 | |
|---|---|
| ALIGN-NPA | Non-precision XY组装 |
| ALIGN-PA10 | XY组装;10弧秒正交。校准到7微米以内的短旅行阶段正交性。 |
| ALIGN-PA5 | XY组装;5弧秒正交。对准在3微米以内的短旅行阶段正交性。 |
| 沛富 | 空气轴承过滤设备 |