ABL1500空气轴承直接驱动直线级

描述

设计特点

  • 为高性能扫描和检测而设计
  • 所有空气轴承表面的主动空气预紧力
  • 线性编码器反馈提供亚纳米的分辨率
  • 高刚度的重载和优异的几何性能
  • 行程可达500毫米

领先的制造技术,特别是在半导体和数据存储行业,对定位公差的要求超过了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承平台具有充分的主动预紧力、极高的刚度和优异的几何特性,是专门为满足这些需求而设计的。

空气轴承设计,高动态性能

ABL1500在垂直和水平表面都采用了空气对空气预紧力。相反的薄膜压力保持轴承公称间隙公差。这种设计,除了在大表面积上分配负载的大型空气轴承表面,结果在一个阶段具有突出的刚度,是重型或偏置负载的理想选择。

专有的制造技术带来了无与伦比的几何特征。空气轴承有一个内在的平均效果,使性能最大化。这种薄膜将填补表面的小空隙,并允许出现其他不规则现象。这一特性产生了优越的俯仰、横摇、偏航、直线度和平整度规格。

直线电机驱动

这一舞台背后的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷直线伺服电机。Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验在这一设计中得到了体现。BLMC采用无铁的力,这意味着没有齿槽和吸引力,导致无与伦比的平滑运动。BLMC能够产生高的力和速度,代表了功率和性能的终极组合。

零维护

我们的完全非接触式空气轴承,非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置,确保多年的免维护操作,在高性能水平,航空技术设备的期望。由于移动元件之间没有机械接触,ABL1500不会随着时间的推移而磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的,因为没有润滑-只有清洁,干燥气体-空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。

有线电视管理

我们精心优化电缆弯曲半径,以确保多年无故障运行。在不太可能发生故障的情况下,Aerotech的模块化设计使电缆更换快速和容易,停机时间最小。我们将所有客户需要的电缆、空气软管等纳入CMS束中,以方便集成到最终系统中。两端完全连接,可以简单地集成到客户的机器中。

规范

机械规范

模型 abl1500 - 050 abl1500 - 100 abl1500 - 200
旅行 50毫米 100毫米 200毫米
精度(1) E1 校准 ±0.3µm ±0.3µm ±0.5µm
标准 ±2.0µm ±4.0µm ±8.0µm
E3 校准 ±0.2µm ±0.2µm ±0.4µm
标准 ±1.0µm ±2.0µm ±5.0µm
可重复性
(双向)(1)
E1 ±0.1µm ±0.2µm
E3 ±0.05µm ±0.05µm ±0.1µm
平直度(1) ±0.25µm ±0.4µm ±0.5µm
平面度(1) ±0.25µm ±0.4µm ±0.5µm
球场 ±0.5弧秒 ±1角秒 ±2弧秒
±0.5弧秒 ±1角秒 ±2弧秒
偏航 ±0.5弧秒 ±1角秒 ±2弧秒
最大速度 2米/秒
最大加速度 2g(空载)
最大力量(连续) 93.6 N
负载能力(2) 水平 35公斤
一边 25公斤
操作压力 80psi±5 psig
空气消耗量 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar)
移动质量(空载) 5.1公斤
阶段质量 14.7公斤 16.0公斤 18.6公斤
材料
平均故障间隔时间 30000小时
  1. 通过每一阶段的认证。
  2. 列出了轴上加载的轴方向。
  3. 规格为单轴系统测量在桌面上方25毫米。多轴系统的性能取决于负载和工作点。多轴或非标应用请咨询工厂。
  4. 为了保护空气轴承不受压力的影响,建议使用一个连接在运动控制器/放大器停止输入上的在线压力开关。亚博微信vip群
  5. 送风必须清洁,干燥至0°F露点,过滤至0.25µm或以上;推荐使用纯度为99.9%的氮气。
  6. 对于XY配置,最大上轴行程为200毫米。当上轴行程大于200mm但小于等于500mm时,需要ABL1500WB作为下轴。

模型 abl1500 - 300 abl1500 - 400 abl1500 - 500
旅行 300毫米 400毫米 500毫米
精度(1) E1 校准 ±0.5µm ±0.6µm ±0.6µm
标准 ±12.0µm ±16.0µm ±20.0µm
E3 校准 ±0.4µm ±0.5µm ±0.5µm
标准 ±5.0µm ±5.0µm ±5.0µm
可重复性
(双向)(1)
E1 ±0.2µm ±0.3µm
E3 ±0.15µm ±0.2µm
平直度(1) ±0.75µm ±1.5µm ±2.0µm
平面度(1) ±0.75µm ±1.5µm ±2.0µm
球场 ±3弧秒 ±4弧秒 ±5弧秒
±3弧秒 ±4弧秒 ±5弧秒
偏航 ±3弧秒 ±4弧秒 ±5弧秒
最大速度 2米/秒
最大加速度 2g(空载)
最大力量(连续) 93.6 N
负载能力(2) 水平 35公斤
一边 25公斤
操作压力 80psi±5 psig
空气消耗量 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar)
移动质量(空载) 5.1公斤
阶段质量 21.3公斤 23.9公斤 26.5公斤
材料
平均故障间隔时间 30000小时
  1. 通过每一阶段的认证。
  2. 列出了轴上加载的轴方向。
  3. 规格为单轴系统测量在桌面上方25毫米。多轴系统的性能取决于负载和工作点。多轴或非标应用请咨询工厂。
  4. 为了保护空气轴承不受压力的影响,建议使用一个连接在运动控制器/放大器停止输入上的在线压力开关。亚博微信vip群
  5. 送风必须清洁,干燥至0°F露点,过滤至0.25µm或以上;推荐使用纯度为99.9%的氮气。
  6. 对于XY配置,最大上轴行程为200毫米。当上轴行程大于200mm但小于等于500mm时,需要ABL1500WB作为下轴。

电气规格

驱动系统 无刷线性伺服电动机
反馈 非接触式线性编码器(参见订单信息页上的信号周期选项)
最大总线电压 高达80 VDC
限位开关 5v,常闭
家里的开关 在中心附近

推荐的控制器

多轴 A3200 Ndrive议员/Ndrive CP/Ndrive对待/Npaq混频器
系综 全体议员/合奏CP/整体对待/Epaq
单轴 独奏者 独奏者议员/独奏者CP/独奏者对待
  • ABL1500Spec
  • ABL1500Spec-2

订购信息

ABL1500空气轴承直接驱动直线级

旅游(必需)

选项 描述
-050年 50 mm旅行
-100年 100毫米的旅行
-200年 200毫米的旅行
-300年 300毫米的旅行
-400年 400毫米的旅行
-500年 500毫米的旅行

反馈(必需)

选项 描述
e1 增量式线性编码器,1 Vpp放大正弦输出
e2 增量式线性编码器,0.1µm TTL线驱动输出
e3 高精度增量式线性编码器,1 Vpp放大正弦输出

电缆管理(要求)

选项 描述
-CMS1 单轴电缆管理系统
-CMS2 XY装配电缆管理系统
-CMS3 电缆管理系统适用于Y轴,仅适用于上轴
-CMS4 电缆管理系统用于YZ装配,仅用于上轴

计量(必需)

选项 描述
pl1 计量,未用性能图校准
-PL2 计量,校准(HALAR)与性能图

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使您的系统全面运行。以下标准集成选项可用于该系统。如果您不确定需要哪种集成级别,或者您希望为您的系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。

选项 描述
助教 集成-作为系统进行测试
对一组组件进行测试、集成和文档化,将其作为一个完整的系统一起使用(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
测试和集成单独的项目作为单独的组件一起交付。这通常用于备件、更换部件或不需要一起使用的部件。这些组件可能是也可能不是更大系统的一部分。

附件(需单独订购)

描述
ALIGN-NPA Non-precision XY组装
ALIGN-PA10 XY组装;10弧秒的正交度。对短旅行阶段在7微米的正交校准。
ALIGN-PA5 XY组装;5弧sec正交。对短旅行阶段在3微米的正交校准。
沛富 空气轴承过滤设备