ABL1500空气轴承直接驱动直线级
描述
设计特点
- 为高性能扫描和检测而设计
- 所有空气轴承表面的主动空气预紧力
- 线性编码器反馈提供亚纳米的分辨率
- 高刚度的重载和优异的几何性能
- 行程可达500毫米
领先的制造技术,特别是在半导体和数据存储行业,对定位公差的要求超过了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承平台具有充分的主动预紧力、极高的刚度和优异的几何特性,是专门为满足这些需求而设计的。
空气轴承设计,高动态性能
ABL1500在垂直和水平表面都采用了空气对空气预紧力。相反的薄膜压力保持轴承公称间隙公差。这种设计,除了在大表面积上分配负载的大型空气轴承表面,结果在一个阶段具有突出的刚度,是重型或偏置负载的理想选择。
专有的制造技术带来了无与伦比的几何特征。空气轴承有一个内在的平均效果,使性能最大化。这种薄膜将填补表面的小空隙,并允许出现其他不规则现象。这一特性产生了优越的俯仰、横摇、偏航、直线度和平整度规格。
直线电机驱动
这一舞台背后的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷直线伺服电机。Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验在这一设计中得到了体现。BLMC采用无铁的力,这意味着没有齿槽和吸引力,导致无与伦比的平滑运动。BLMC能够产生高的力和速度,代表了功率和性能的终极组合。
零维护
我们的完全非接触式空气轴承,非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置,确保多年的免维护操作,在高性能水平,航空技术设备的期望。由于移动元件之间没有机械接触,ABL1500不会随着时间的推移而磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的,因为没有润滑-只有清洁,干燥气体-空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。
有线电视管理
我们精心优化电缆弯曲半径,以确保多年无故障运行。在不太可能发生故障的情况下,Aerotech的模块化设计使电缆更换快速和容易,停机时间最小。我们将所有客户需要的电缆、空气软管等纳入CMS束中,以方便集成到最终系统中。两端完全连接,可以简单地集成到客户的机器中。
规范
机械规范
模型 | abl1500 - 050 | abl1500 - 100 | abl1500 - 200 | ||
---|---|---|---|---|---|
旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 200毫米 | ||
精度(1) | E1 | 校准 | ±0.3µm | ±0.3µm | ±0.5µm |
标准 | ±2.0µm | ±4.0µm | ±8.0µm | ||
E3 | 校准 | ±0.2µm | ±0.2µm | ±0.4µm | |
标准 | ±1.0µm | ±2.0µm | ±5.0µm | ||
可重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.1µm | ±0.2µm | ||
E3 | ±0.05µm | ±0.05µm | ±0.1µm | ||
平直度(1) | ±0.25µm | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
平面度(1) | ±0.25µm | ±0.4µm | ±0.5µm | ||
球场 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
卷 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
偏航 | ±0.5弧秒 | ±1角秒 | ±2弧秒 | ||
最大速度 | 2米/秒 | ||||
最大加速度 | 2g(空载) | ||||
最大力量(连续) | 93.6 N | ||||
负载能力(2) | 水平 | 35公斤 | |||
一边 | 25公斤 | ||||
操作压力 | 80psi±5 psig | ||||
空气消耗量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
阶段质量 | 14.7公斤 | 16.0公斤 | 18.6公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
平均故障间隔时间 | 30000小时 |
- 通过每一阶段的认证。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格为单轴系统测量在桌面上方25毫米。多轴系统的性能取决于负载和工作点。多轴或非标应用请咨询工厂。
- 为了保护空气轴承不受压力的影响,建议使用一个连接在运动控制器/放大器停止输入上的在线压力开关。亚博微信vip群
- 送风必须清洁,干燥至0°F露点,过滤至0.25µm或以上;推荐使用纯度为99.9%的氮气。
- 对于XY配置,最大上轴行程为200毫米。当上轴行程大于200mm但小于等于500mm时,需要ABL1500WB作为下轴。
模型 | abl1500 - 300 | abl1500 - 400 | abl1500 - 500 | ||
---|---|---|---|---|---|
旅行 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | ||
精度(1) | E1 | 校准 | ±0.5µm | ±0.6µm | ±0.6µm |
标准 | ±12.0µm | ±16.0µm | ±20.0µm | ||
E3 | 校准 | ±0.4µm | ±0.5µm | ±0.5µm | |
标准 | ±5.0µm | ±5.0µm | ±5.0µm | ||
可重复性 (双向)(1) |
E1 | ±0.2µm | ±0.3µm | ||
E3 | ±0.15µm | ±0.2µm | |||
平直度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0µm | ||
平面度(1) | ±0.75µm | ±1.5µm | ±2.0µm | ||
球场 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
卷 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
偏航 | ±3弧秒 | ±4弧秒 | ±5弧秒 | ||
最大速度 | 2米/秒 | ||||
最大加速度 | 2g(空载) | ||||
最大力量(连续) | 93.6 N | ||||
负载能力(2) | 水平 | 35公斤 | |||
一边 | 25公斤 | ||||
操作压力 | 80psi±5 psig | ||||
空气消耗量 | 24-30 SLPM @ 551 kPa (0.85-1.06 SCFM @ 5.51 bar) | ||||
移动质量(空载) | 5.1公斤 | ||||
阶段质量 | 21.3公斤 | 23.9公斤 | 26.5公斤 | ||
材料 | 铝 | ||||
平均故障间隔时间 | 30000小时 |
- 通过每一阶段的认证。
- 列出了轴上加载的轴方向。
- 规格为单轴系统测量在桌面上方25毫米。多轴系统的性能取决于负载和工作点。多轴或非标应用请咨询工厂。
- 为了保护空气轴承不受压力的影响,建议使用一个连接在运动控制器/放大器停止输入上的在线压力开关。亚博微信vip群
- 送风必须清洁,干燥至0°F露点,过滤至0.25µm或以上;推荐使用纯度为99.9%的氮气。
- 对于XY配置,最大上轴行程为200毫米。当上轴行程大于200mm但小于等于500mm时,需要ABL1500WB作为下轴。
电气规格
驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
反馈 | 非接触式线性编码器(参见订单信息页上的信号周期选项) |
最大总线电压 | 高达80 VDC |
限位开关 | 5v,常闭 |
家里的开关 | 在中心附近 |
推荐的控制器
多轴 | A3200 | Ndrive议员/Ndrive CP/Ndrive对待/Npaq混频器 |
系综 | 全体议员/合奏CP/整体对待/Epaq | |
单轴 | 独奏者 | 独奏者议员/独奏者CP/独奏者对待 |
维
订购信息
ABL1500空气轴承直接驱动直线级
旅游(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-050年 | 50 mm旅行 |
-100年 | 100毫米的旅行 |
-200年 | 200毫米的旅行 |
-300年 | 300毫米的旅行 |
-400年 | 400毫米的旅行 |
-500年 | 500毫米的旅行 |
反馈(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
e1 | 增量式线性编码器,1 Vpp放大正弦输出 |
e2 | 增量式线性编码器,0.1µm TTL线驱动输出 |
e3 | 高精度增量式线性编码器,1 Vpp放大正弦输出 |
电缆管理(要求)
选项 | 描述 |
---|---|
-CMS1 | 单轴电缆管理系统 |
-CMS2 | XY装配电缆管理系统 |
-CMS3 | 电缆管理系统适用于Y轴,仅适用于上轴 |
-CMS4 | 电缆管理系统用于YZ装配,仅用于上轴 |
计量(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
pl1 | 计量,未用性能图校准 |
-PL2 | 计量,校准(HALAR)与性能图 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使您的系统全面运行。以下标准集成选项可用于该系统。如果您不确定需要哪种集成级别,或者您希望为您的系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。
选项 | 描述 |
---|---|
助教 | 集成-作为系统进行测试 对一组组件进行测试、集成和文档化,将其作为一个完整的系统一起使用(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
tac | 集成——作为组件进行测试 测试和集成单独的项目作为单独的组件一起交付。这通常用于备件、更换部件或不需要一起使用的部件。这些组件可能是也可能不是更大系统的一部分。 |
附件(需单独订购)
描述 | |
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ALIGN-NPA | Non-precision XY组装 |
ALIGN-PA10 | XY组装;10弧秒的正交度。对短旅行阶段在7微米的正交校准。 |
ALIGN-PA5 | XY组装;5弧sec正交。对短旅行阶段在3微米的正交校准。 |
沛富 | 空气轴承过滤设备 |